「surface temperature」に関連した英語例文の一覧と使い方(181ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a manufacturing method of a magnetic recording medium which can increase magnetic anisotropy of magnetic nanoparticles without reduction of regulating temperature by adding a third element i.e., orientation property along a vertical direction to a substrate surface is increased in a vertical magnetic recording medium.例文帳に追加

本発明は、第３元素の添加により規則化温度の低減をせず、磁性ナノ粒子の磁気異方性を高めること、即ち垂直磁気記録媒体において基板面に対して垂直方向への配向性を高めることができる磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

A low temperature test device has two CCD cameras 10a, 10b not having a zoom mechanism installed at a different planar position, and a prism mechanism 11 capable of at least a part of the surface of a semiconductor wafer and/or probe needle 52 from any one of the CCD cameras 10a, 10b.例文帳に追加

異なる平面位置に設置したズーム機構を有さない２台のＣＣＤカメラ１０ａ，１０ｂと、いずれのＣＣＤカメラ１０ａ，１０ｂからも半導体ウエハの表面及び／又はプローブ針５２の少なくとも一部を撮影させることが可能なプリズム機構１１とを有している。 - 特許庁

To provide a safe and highly efficient method for removing contaminants to clean the surface of a substrate of an electronic device, such as a semiconductor wafer, a glass substrate for LCD, and various goods, at room temperature in a short period of time.例文帳に追加

半導体基板、液晶用ガラス基板などの電子デバイス用基板を初めとして種々の物品の表面付着汚染物質を室温での短時間処理で除去し、清浄化することができる、安全で効率のよい表面付着汚染物質除去方法を提供すること。 - 特許庁

In the electrophotographic photoreceptor wherein an organic photosensitive layer and a cured surface layer are layered on an electrically-conductive substrate, an antioxidant having a weight reduction start temperature of 200°C or more by thermogravimetric analysis (TGA) in a nitrogen atmosphere is contained in the organic photosensitive layer.例文帳に追加

導電性基体上に有機感光層と硬化型表面層を積層した電子写真感光体において、窒素雰囲気下、熱重量分析（ＴＧＡ）での減量開始温度が２００℃以上である酸化防止剤が、有機感光層中に含まれていることを特徴とする電子写真感光体。 - 特許庁

Two or more kinds of coating materials having substantially the same coating color and the same solid content after dilution but different in the evaporation speed of an aqueous medium used in dilution are continuously supplied while mixed in the ratio corresponding to the surface temperature of an object to be coated and the coating atmosphere condition.例文帳に追加

希釈後の固形分が同程度であって、希釈に用いた水性媒体の蒸発速度が異なる２種以上の実質的に同一塗色の塗料を、被塗物表面温度、さらには塗装雰囲気条件に応じた比率で混合しながら連続的に供給する。 - 特許庁

The underground heat exchanger buried under ground for adjusting temperature of a heat medium flowing inside by subterranean heat is equipped with a resin supply pipe part 1 through which the heat medium spirally flows down near an earth surface and a return pipe part 2 for returning the heat medium to above the ground.例文帳に追加

地中に埋設されると共に内部を流れる熱媒を地中熱で温度調節する地中熱交換器であって、地表近くで熱媒が渦巻き状に下りながら流れる樹脂製の往路管部１と、往路管部１から出た熱媒を地上へ戻す復路管部２と、を備える。 - 特許庁

A titanium layer 4 is formed on the surface of an alumina board 2 through sputtering method, a platinum thin film 6 is formed on the titanium layer 4 through sputtering method, and then the platinum thin film 6 is regulated or increased in its temperature coefficient of resistance by annealing for the formation of a platinum thin-film resistor.例文帳に追加

アルミナ基板２の表面上にスパッタリングによるチタン層４の形成を行い、チタン層４上にスパッタリングによる白金薄膜６の形成を行った後に、白金薄膜６の抵抗温度係数を調整あるいは増大させるアニールを行って白金薄膜抵抗体を製造する。 - 特許庁

To provide a thermocouple having an insulated and waterproof surface and a diameter not larger than 0.014 mm for measuring a temperature by being inserted into a cell of a fuel cell, and to set a voltage rise per cell in the target fuel cell to be about 5V or less.例文帳に追加

燃料電池のセル内に挿入して温度を測定するための、表面が絶縁及び防水された径が０．０１４ｍｍ以下の熱電対を提供し、対象とする燃料電池のセル１枚当たりの電圧上昇が５Ｖ程度以下とすることを目的とする。 - 特許庁

The problem is solved utilizing a negative electrode active material having a peculiar top surface structure that is obtained by performing heat treatment (graphitization treatment) to spherical natural graphite and carbonization material precursor as a raw material in a specific temperature range and further grinding and performing re-heat treatment to the material subjected to the heat treatment.例文帳に追加

球状天然黒鉛及び炭素化物前駆体を原料に、一定の温度範囲で熱処理（黒鉛化処理）し、該熱処理体を更に粉砕、再熱処理することで得られる、特異な最表面構造を持つ負極活物質材料により、課題を解決する。 - 特許庁

To prevent an Al whisker from being generated from the side surface, which is exposed when a through hole is opened, of an Al film under a high- temperature environment in the deposition of a tungsten film and to prevent raw gas at the growth of the tungsten film from reacting with the Al film to enhance the yield of the manufacture of a semiconductor device and the reliability of the device.例文帳に追加

スルーホール開口時に露出するＡｌ側面から、タングステン成膜時の高温環境下にてＡｌウィスカーが発生することを防止し、また、タングステン成長時の原料ガスとＡｌが反応するのを防止して、製造歩留まりと信頼性の向上を図る。 - 特許庁

A transparent conductive coating film layer formed of a composition including components (a)-(c) is laminated on at least one side of a base material film to obtain a transparent conductive film of which the surface resistance change ratio after the transparent conductive film is treated for 240 hr under a condition of a temperature of 60°C and a humidity of 90% is 150% or below.例文帳に追加

基材フィルムの少なくとも片面に、下記（ａ）〜（ｃ）を含有する組成物から形成される透明導電塗膜層を積層して、温度６０℃湿度９０％で２４０時間処理した後の表面抵抗変化率が１５０％以下である透明導電性フィルムを得る。 - 特許庁

An upward flow is generated from near the high-temperature part 10b along the growing surface 5a (or 5b) of the seed crystal substrate as is shown by arrow 6, then it flows near the gas/liquid interface toward the outside of the growing vessel, then a downward flow is generated along the inner wall of the growing vessel as shown by arrow 8.例文帳に追加

高温部１０ｂ付近から矢印６のように種結晶基板の育成面５ａ（あるいは５ｂ）に添って上昇流が生じ、次いで気液界面の近くでは育成容器の外側へと向かって流れ、次いで矢印８のように育成容器の内壁面に添って下降流が生じる。 - 特許庁

To keep an explosion-proof structure in which an abnormal rise of surface temperature is refrained from in a short circuit test, a distance of the longitudinal discharge and of separation for a constitutional rod battery is secured and an inflammable gas generated at the short circuit accident of the rod battery, is not emitted at a stroke out of a portable machine.例文帳に追加

ショート試験時に表面温度が異常に上昇せず、構成棒電池の沿面放電距離及び離隔距離を充分に確保できるばかりでなく、棒電池のショート時に発生する引火性ガスが一挙に携帯機器の外部に流出しない防爆構造を得る。 - 特許庁

A specified type and amount of an ether ester plasticizer is added to a methacrylate resin composition having a specified constitution for the preparation of a resin composition suitable for the fabrication of a film, a sheet, or the like, improved in low-temperature processability, in abrasion resistance, and well-balanced in surface nature.例文帳に追加

特定の組成を有するメタクリル系樹脂組成物に、特定の種類および量のエーテルエステル系可塑剤を配合することにより、低温加工特性、耐擦り傷性および表面性のバランスが改善されたフィルム、シート等を得るための樹脂組成物を得ることができる。 - 特許庁

Subsequently, second heat treatment is applied in the reducing gas atmosphere at a temperature higher than that in the preheat treatment and that does not cause an adverse effect to the impurity concentration distribution of the other element on the semiconductor substrate 1, and an oxide film on the hetero epitaxial growth surface is removed by a reduction reaction.例文帳に追加

続いて、還元性ガス雰囲気中において上記プレ加熱処理よりも高温で、かつ、半導体基板１の他の素子の不純物濃度分布に悪影響を与えない温度で第２加熱処理を施して、上記異種結晶成長面上の酸化膜を還元反応によって除去する。 - 特許庁

A cross-sectional area of a ring-shaped combustion gas passage formed between a top face of a trivet ring 21 and a bottom surface of a cooking container P, is formed in a state of being gradually narrowed according to a distance from a center of the trivet ring 21, to prevent diffusion of high-temperature combustion gas.例文帳に追加

五徳リング２１の上面と調理容器Ｐ底面との間に形成されるリング状の燃焼ガス通路の通路断面積を、五徳リング２１の中心からの距離が遠くなるほど狭くなるように形成することにより、高温の燃焼ガスが拡散しないようにした。 - 特許庁

To provide a fluorine-containing copolymer which can be melt-processed at a relatively low processing temperature, has a high light transmittance and a low refractive index, and exhibits by itself good adhesive properties to various substrates without requiring a surface treatment, the use of adhesives, or the like.例文帳に追加

比較的低い加工温度で溶融加工することができ、高光透過率かつ低屈折率であり、しかも表面処理や接着剤の使用などを必要とはせず、それ自体各種基材に対して良好な接着性を有する含フッ素共重合体を提供する。 - 特許庁

A GaN nanostructure having a good surface configuration is grown on the LiAlO_2 substrate by CVD at a high temperature in a first stage and then, a GaN having a thick film is grown by HVPE while utilizing the GaN nanostructure as a new nucleus formation point in a second stage.例文帳に追加

CVDとHVPEが直列配列された２段式反応炉本体を利用して、その１段目の高温CVDにより、LiAlO_2基板上に、表面形態が良好であるGaNのナノ構造を生長させ、また、GaNのナノ構造を、新規の核形成点として、２段目のHVPEにより、厚い膜であるGaNを生長させる。 - 特許庁

The fixing device, which has an electromagnetic radiation member for radiating electromagnetic waves disposed in an internal space of a hollow pipe-shaped outer cylinder member 611 of the heating roller, is provided with an inner cylinder member 612 whose shape changes with temperature on the inner surface of the outer cylinder member 611.例文帳に追加

加熱ローラの中空のパイプ状の外筒部材６１１の内部空間に，電磁波を放射することにより電磁波放射部材が配置されている定着装置において，外筒部材６１１の内面に，温度により形状を変える内筒部材６１２を配置した。 - 特許庁

Even when a resin poor in adhesion to the coating is used as a base material, the temperature is raised by the adiabatic compression of the gas injected into the mold cavity increase the reactivity of the surface of the base material resin, and adhesion to the coating can be improved.例文帳に追加

本発明であれば、例え、塗料の付着性が良くない樹脂を基材として使用した場合においても、金型キャビティ内に注入したガスを断熱圧縮することで温度を上昇させ、基材樹脂の表面の反応性を高めて塗料の付着性を向上させることが可能である。 - 特許庁

A step structure is formed on lens surface 11 of the objective lens 10, the action of the step structure and arrangement of satisfying a predetermined magnification correct a spherical aberration that occurs due to a wavelength difference and a change in the thickness of a protective layer, and suppress the amount of a spherical aberration due to a temperature change.例文帳に追加

対物レンズ１０のレンズ面１１には段差構造が形成され、その作用と所定の倍率を満たす配置とにより、波長の違いと保護層の厚さの違いにより生じる球面収差を補正すると共に、温度変化による球面収差の発生量を小さく抑える。 - 特許庁

In this pattern-forming apparatus 10B, ultrasonic vibration is applied to a form 100 using an ultrasonic horn 72 when releasing the form 100 from a substrate after forming a pattern on the substrate by pressing the form 100 heated by a heater block 41 at a temperature equal to or higher than the glass transition point of a substrate surface layer.例文帳に追加

パターン形成装置１０Ｂでは、ヒータブロック４１で、基板表層部のガラス転移温度以上に加熱した型１００を押し付けて基板にパターンを形成した後、型１００を基板から離型させるに際し、超音波ホーン７２で型１００に超音波振動を加えるようにした。 - 特許庁

In a snow-melting panel 14 with a heat-generating plate 16 conducting heat generation by a heating means 13, a protective member 15 protecting the heating means 13 is mounted, the snow-melting panel 14 is installed on a ground surface, the temperature is elevated rapidly, a snow- melting effect is displayed and snow is melted in a short time.例文帳に追加

加熱手段１３によって発熱する発熱プレート１６を有する融雪パネル１４において、加熱手段１３を保護する保護部材１５を設けたものであり、融雪パネル１４は、地表面に設置され、温度が速やかに上昇し、融雪効果を発揮し、短時間に融雪が行える。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a reinforced concrete member, which can minimize the binding force of reinforcing bars in contraction of concrete and also the temperature difference between the inside and surface of a member in hardening of concrete, and is thus advantageous for prevention of crack with a reduced cost.例文帳に追加

コンクリート収縮時の鉄筋の拘束力を極力低減でき、また、コンクリート硬化時における部材の内部と表面との温度差が極力小さくでき、コストを低減しつつひび割れを防止する上で有利な鉄筋コンクリート部材の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a conductive film which exhibits sufficient electroconductivity by heating at low temperature in a short time, forms a conductive film having good adhesiveness with a base material and good surface smoothness, and does not contain a layer with a possibility to deteriorate durability, at low costs.例文帳に追加

低温短時間での加熱により十分な導電性が発現し、基材との密着性や表面平滑性が良好で、かつ耐久性を損なう恐れのある層を含まない導電性被膜を低コストで形成できる導電性被膜の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To prevent dew condensation due to lowering of a temperature inside of an electric component box by cooling water, even when a capacity of a cooling water tank is reduced to miniaturize a beer dispenser, and a lower face of a bottom wall of the electric component box is close to a water surface of the cooling water of the cooling water tank.例文帳に追加

ビールディスペンサを小型化するにあたって冷却水槽の容量を小さくして、電装部品収容箱の底壁下面が冷却水槽の冷却水の水面に近くなっても、電装部品収容箱内が冷却水により低温となって結露することのないようにする。 - 特許庁

To provide a molded material suitable as an electromagnetic induction type heating element and a method for manufacturing the same, and a high temperature superheated steam generating system which is equipped with a plurality of the same, suppresses the occurrence of defects at the surface of heating element even if its use is repeated and can stably produce superheated steam.例文帳に追加

電磁誘導型発熱体として好適な成形材料及びその製造方法、並びに、これを複数備え、使用を重ねても発熱体表面における欠陥の発生が抑制され、過熱蒸気を安定製造することができる高温過熱蒸気生成システムを提供する。 - 特許庁

To provide a far-infrared electric heater which prevents temperature rise of an armoring member by guiding natural convection by air from an air inlet and hot convection rising along a heat radiation surface of a heat generation part by a canopy member to separate from the armoring member, has a simple structure, and is reduced in cost.例文帳に追加

空気取入口からの空気による自然対流及び庇部材によって発熱部の放熱面に沿って上昇する熱い対流を外装部材から離れるように導いて、外装部材の温度上昇を防止し、簡単な構造で、コストを低くした遠赤外線電気ヒータを提供する。 - 特許庁

The reactor has a reaction furnace in which at least a reactive gas and a metal powder or an inorganic compound powder are reacted by flowing in the cylindrical inside from one end to the other, wherein temperature control means are disposed at least doubly in the radially inward direction of the reaction furnace along an inner wall surface of the furnace.例文帳に追加

筒状の内部を一方から他方へ流動させることで少なくとも反応性ガスと金属粉体または無機化合物粉体とを反応させる反応炉を有する反応器であって、温度制御手段を、反応炉の内壁面に沿って、径内方向へ少なくとも二重に設ける。 - 特許庁

Coating, which is composed of an electron donating coloration compound, an acidic compound solid at a normal temperature, a deliquescent substance, porous particles with a BET specific surface area of 50-400 m^2/g and an aqueous resin emulsion, is attached to a carrier and dried under heating to provide the humidity indicator.例文帳に追加

電子供与性呈色化合物と、常温において固体である酸性化合物と、潮解物質と、ＢＥＴ比表面積が５０〜４００ｍ^2／ｇである多孔性粒子と、水系樹脂エマルジョンとからなる塗料を、担持体に付着させ、加熱乾燥させることにより得る。 - 特許庁

To provide a highly durable structure having a small rate of a dimensional change and a small adiabatic temperature rise in a setting process, excellent in resistance to crazing, excellent in defoaming properties, and having an excellent surface state without generation of skinning, and to provide a hydraulic mortar for obtaining the structure.例文帳に追加

硬化過程での寸法変化率や断熱温度上昇が小さく、ひび割れ抵抗性に優れ、さらに消泡性に優れ、かわばりの発生が無く優れた表面状態を有する高耐久な構造体を提供すること及びその構造体を得るための水硬性モルタルを提供する。 - 特許庁

To provide a surface treatment method of a semiconductor-mounting conductive base material excelling in adhesiveness to a sealing material or the like, capable of suppressing degradation of an electric characteristic and heat radiation capability, allowing low-temperature treatment, and hardly damaged such as a blemish or scrape.例文帳に追加

封止材等との接着性が良好であり、電気特性及び放熱性の低下を抑制することができ、低温処理可能であって、生産性に優れ、キズやコスレなどの痕が付きにくい、半導体実装用導電基材の表面処理方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

When the temperature of water is raised by heating by a heater 9 in a preheating layer 6, since a gap 6c is present between the inside surface of a vessel 2 and the side face of the preheating layer 6, the water is not heated directly by the heater 9 but heated indirectly via a gaseous raw material having comparatively lower thermal conductivity.例文帳に追加

水は、予熱層６内においてヒータ９からの加熱により昇温するが、容器２内面と予熱層６側面の間に空隙６ｃが存在するため、ヒータ９から直接ではなく、熱伝導率の比較的小さい原料ガスを介して間接的な加熱される。 - 特許庁

According to the heat resistant alloy, a dense chromium oxide film is formed on the surface even when used for a long time in a high temperature atmosphere, thus the internal diffusion of oxygen can be cut off, the oxidative consumption of W can be suppressed, the mass change rate in the heat resistant alloy is extremely low, and further, collapse is not caused therein.例文帳に追加

本発明の耐熱合金によれば、高温大気中で長時間使用しても、表面に緻密な酸化クロム被膜を形成するため、酸素の内方拡散を遮断し、Wの酸化消耗を抑えることができ、耐熱合金の質量変化率がごく小さく、しかも崩壊することがない。 - 特許庁

To provide an optical scanner which can reduce the influence on an image forming spot diameter on a surface to be scanned due to arrangement errors of a plurality of anamorphic elements and the influence on intervals of scanning lines to be formed, and which can suppress deterioration of image quality incidental to change in temperature, and to provide an image forming apparatus equipped with the optical scanner.例文帳に追加

複数のアナモフィック素子の配置誤差による被走査面上の結像スポット径、及び形成される走査線の間隔に対する影響を低減し、温度変化に伴う画像品質の劣化を抑制可能な光走査装置、該光走査装置を備えた画像形成装置を提供する。 - 特許庁

In the coated metal plate, the surface to be outdoor of a metal plate is coated with an organic coating layer which contains 3-30 mass% of molybdenum disulfide of 0.01-10 μm mean particle size and 0.5-10 mass% of silica of 0.05-5 μm mean particle size and has a glass transition temperature of 10-60°C.例文帳に追加

有機被覆層中に平均粒径０．０１〜１０μｍの二硫化モリブデンを３〜３０質量％、平均粒径０．０５〜５μｍのシリカを０．５〜１０質量％含有し、ガラス転移温度が１０〜６０℃となる有機被覆層を、金属板の屋外となる面に塗装した塗装金属板。 - 特許庁

In the case the HC adhesion amount is larger than a predetermined value S1 (S5), opening of an intake throttle installed in an intake passage is made smaller (S7) for raising the exhaust temperature by lowering the excess air ratio so as to promote oxidation removal of the HC adhered on the DOC surface.例文帳に追加

そして、ＨＣ付着量が所定値Ｓ1より大きければ（Ｓ５）、吸気通路に配設された吸気スロットルの開度を小さくし（Ｓ７）、空気過剰率の低下を通して排気温度を上昇させることで、ＤＯＣの表面に付着したＨＣの酸化除去を促進させる。 - 特許庁

To provide a dense, low-resistive metal film having a smooth film surface at a low temperature in such a manner that its quality is made better compared with a titanium nitride film formed by a CVD method and the film deposition rate is made higher compared with a titanium nitride film formed by an ALD method, i.e., at high productivity.例文帳に追加

低温にて膜表面が滑らかであって緻密な抵抗率の低い金属膜を、ＣＶＤ法で形成された窒化チタン膜と比較して良質とし、ＡＬＤ法で形成された窒化チタン膜と比較して速い成膜速度で、すなわち高い生産性で提供する。 - 特許庁

Then, in a state where the temperature of the laser light source module is adjusted by the cooling mechanism part 102, a laser optical system unit is adjusted based on image information to be outputted by the imaging apparatus 106, so that a beam emission position on an incidence surface of the optical integrator is set to a prescribed position.例文帳に追加

そして、冷却機構部１０２によりレーザ光源モジュールが温度調整された状態で、撮像装置１０６の出力する画像情報に基づいてレーザ光学系ユニットが調整され光インテグレータの入射面におけるビーム出射位置を所定の位置に設定できる。 - 特許庁

To provide a toner that has high low-temperature fixability and high blocking resistance (heat resistant storage property), suppresses the exposure of a crystalline organic compound to a toner surface, prevents the burying of an external additive, carrier contamination or the like, and stabilizes the amount of an electrostatic charge for a long time, and a method of producing the toner.例文帳に追加

低温定着性及び耐ブロッキング性（耐熱保管性）に優れ、また、結晶性有機化合物のトナー表面への露出が抑制され、外添剤埋没、キャリア汚染等を防止でき、長期にわたり帯電量が安定化するトナー及びトナーの製造方法を提供する。 - 特許庁

According to the heat resistant alloy, since a dense chromium oxide film is formed on the surface even when being used in high temperature atmosphere for a long period of time, inner diffusion of oxygen is cut off, the oxidative consumption of W and Mo can be suppressed, and the mass change rate of the heat resistant alloy is reduced as well.例文帳に追加

本発明の耐熱合金によれば、高温大気中で長時間使用しても、表面に緻密な酸化クロム被膜を形成するため、酸素の内方拡散を遮断し、W及びMoの酸化消耗を抑えることができ、耐熱合金の質量変化率も小さくなる。 - 特許庁

To provide a heating device configured to control a temperature distribution on a ceramic surface heat generation heater so that it may have a heat generation ratio set according to the resistance values of heat generating bodies, also, perform an accurate control, and also, achieve a reduction in harmonic current and improvement of flicker.例文帳に追加

セラミック面発ヒータ上の温度分布が発熱体の抵抗値で設定された発熱比率になるように制御し、かつ、精度のよい制御をするとともに、高調波電流の低減とフリッカの向上を図ることのできる加熱装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

A heat sensor 1 includes: a body 3; a heat absorbing plate 11 provided on the body 3 and is formed of carbon; and a non-contact temperature sensor 7 which is provided in a position facing an inner surface 11a of the heat absorbing plate 11 and apart from the heat absorbing plate 11.例文帳に追加

熱感知器１において、本体３と、該本体３に設けられたカーボン製吸熱板１１と、該カーボン製吸熱板１１の内面１１ａと対向する位置であって、該カーボン製吸熱板１１と離して設けられた非接触温度センサ７とを有することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a semiconductive endless belt including an ion conductive material, which does not have a risk of contaminating the surface of a photoreceptor, because even when the semiconductive endless belt is left, as it is, under high temperature and high humidity environment for a long time, a bleed-out material is not generated and can be used for an electrophotographic image forming apparatus.例文帳に追加

イオン伝導性材料を含む半導電性エンドレスベルトにおいて、特に、高温高湿下へ長時間放置してもブリードアウト物がなく感光体表面を汚染する恐れがない、電子写真方式の画像形成装置へ用いることができる半導電性エンドレスベルトを提供する。 - 特許庁

To provide an alignment method for precisely aligning each one of shots S1 to S32 a substrate P with a pattern image of a mask M by obtaining an array of the shots S1 to S32 based on the condition of a temperature distribution on upper surface of a first holding section 26 of a substrate table PT.例文帳に追加

基板テーブルＰＴの第１保持部２６上面の温度分布に基づいた条件で、ショットＳ１〜Ｓ３２の配列を求めることで、基板ＰのショットＳ１〜Ｓ３２の各ショットと、マスクＭのパターン像とを高精度に位置合わせする位置合わせ方法を提供する。 - 特許庁