「Rate Control」に関連した英語例文の一覧と使い方(127ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a direct liquid type writing implement which can enough control the discharge of ink from the pen point side even when an outside air pressure is changed abruptly, or the abrupt change of expansion and contraction of an ink tank is repeated and secure an enough writing supply flow rate during writing.例文帳に追加

外気圧の急激な変化、或いはインキタンク内の急激な膨張、収縮変化の繰り返しに対してもペン先側からのインキ吹き出しを十分に抑制すると同時に筆記時においても十分な筆記供給流量を確保できる直液式筆記具を提供すること。 - 特許庁

The limitation degree of a charge power upper limit value when limiting the charge power upper limit value for suppressing Li precipitation is variably set according to a detection value of a hydraulic response rate at a brake liquid pressure circuit 80 for supplying liquid pressure to the control device 10.例文帳に追加

Ｌｉ析出を抑制するために充電電力上限値を制限する際における充電電力上限値の制限度合は、制動装置１０に液圧を供給するためのブレーキ液圧回路８０での液圧応答レートの検出値に応じて可変に設定される。 - 特許庁

A packet transmission control section 105 sets on standby in accordance with standby conditions calculated based on error information generated in last transmission while a packet decomposing transmission data is transmitted at a fixed transmission rate, and when error information is further received, an error generating packet is retransmitted.例文帳に追加

パケット送信制御部１０５は、送信データを分解したパケットを一定の伝送レートで送信する間に、前の送信で生じたエラー情報に基づいて算出した待機条件に従って待機し、更にエラー情報を受信した場合には、エラーが生じたパケットを再送する。 - 特許庁

When the abnormality of the steering torque sensor is detected, motor torque equivalent to an assist force target value based on an axial force operated from lateral G and a yaw rate in place of the steering torque sensor is generated, and assist control is continued by executing the supply of drive power.例文帳に追加

操舵トルクセンサの異常が検出された場合には、操舵トルクセンサに替えて、横Ｇ及びヨーレートから演算される軸力に基づくアシスト力目標値に相当するモータトルクを発生させ、駆動電力の供給を実行することによりアシスト制御を継続する。 - 特許庁

To provide a battery simultaneously satisfying high capacity characteristics capable of continuously discharging for long hours with a single nonaqueous electrolyte battery and high output characteristics capable of conducting high rate pulse discharge without using a hybrid power supply comprising several kinds of batteries requiring a complicated control system.例文帳に追加

複雑な制御システムを必要とする複数種の電池からなるハイブリッド電源を用いることなく、単一の非水電解質電池で長時間の連続放電が可能な高容量特性と大電流のパルス放電が可能な高出力特性を同時に満足する電池を提供する。 - 特許庁

To facilitate feed-rate control of reactive molecular gas in polymer chain/thin film growth, to improve growth controllability by excluding byproducts from a growth region, to increase utilization efficiency of the reactive molecule, and to attain the high speed of molecular switching speed.例文帳に追加

ポリマ鎖／薄膜成長において，反応性分子ガスの供給レート制御の容易化，副生成物の成長領域からの排除により，成長制御性を向上させること，反応性分子の利用効率を向上させること，および分子切り替え速度を高速化することである。 - 特許庁

In the method for transmitting data from a wireless network subsystem to user equipment (UE) in the mobile telephone system, the wireless network subsystem and the UE, the wireless network subsystem transmits a dedicated control channel to the UE and transmits a dedicated traffic channel of a variable data transmission rate to the UE.例文帳に追加

移動電話システムにおいて無線ネットワークサブシステムからユーザ装置へデータを送信するための方法、無線ネットワークサブシステム及びユーザ装置において、無線ネットワークサブシステムは、専用制御チャンネルをユーザ装置へ送信し、そして可変データ送信レートの専用トラフィックチャンネルをユーザ装置(UE)へ送信する。 - 特許庁

To control an internal combustion engine mounted with a variable turbo-supercharger and an EGR (Exhaust Gas Recirculation) device while suppressing the undershooting/overshooting of an EGR rate or an EGR amount during finishing acceleration to avoid the temporary worsening of exhaust gas.例文帳に追加

可変ターボ過給機及び排気ガス再循環（Ｅｘｈａｕｓｔ Ｇａｓ Ｒｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ）装置が付帯した内燃機関を制御するにあたり、加速終了時等におけるＥＧＲ率若しくはＥＧＲ量のアンダーシュートやオーバーシュートの抑制を図り、排気ガスの一時的悪化を回避する。 - 特許庁

The differential feed sewing machine 1 has a sewing drive portion 2 for performing a gather stitch, an EEPROM 10d for storing a set sewing length set at every sewing step and a set feeding rate per stitch, and a control section 10 for making the sewing drive portion 2 sequentially perform a plurality of sewing steps.例文帳に追加

差動送りミシン１は、いせ込み縫いを行う縫製駆動部２と、縫製ステップ毎に設定された設定縫製長さ及び一針当たりの設定送り量を記憶するＥＥＰＲＯＭ１０ｄと、複数の縫製ステップを縫製駆動部２に順次行わせる制御部１０とを有する。 - 特許庁

The ECU 50 presumes the rate of vapor flow Fvpall of the vapor discharged to the engine intake system in conformity to a physical model prepared based upon these physical conditional amounts and corrects the fuel supply amount from a fuel supply device so as to establish the adaption of the vapor purge processing to the air-fuel ratio feedback control.例文帳に追加

そしてＥＣＵ５０は、それら各物理状態量に基づく物理モデルに従い、エンジン吸気系に放出されるベーパの流量Fvpallを推定して、燃料供給装置からの燃料供給量を補正することで、空燃比フィードバック制御へのベーパパージ処理の適合を図っている。 - 特許庁

The moving picture processing camera is provided with a data processing section 20 that detects the state of an object based on a moving picture from an image sensor 10 and with a control means 11 that changes a frame rate denoting the number of frames per unit time outputted from the image sensor 10 based on the detection result by the data processing section 20.例文帳に追加

イメージセンサ１０からの動画像に基づいて被写体の状態を検知するデータ処理部２０と、このデータ処理部２０での検知結果に基づいて、イメージセンサ１０から単位時間に出力されるフレーム数を表すフレームレートを変更する制御手段１１、とを備えている。 - 特許庁

In accordance with the reduced generation amount ratio R=Lp/Lm of the product gas flow rate Lp to the maximum generation amount Lm set as the maximum value, the adsorption and desorption cycle T, which is the continued duration of one cycle of the adsorption and desorption actions, is changed step by step to control the adsorption and desorption actions.例文帳に追加

製品ガス流量Ｌｐの最大値として設定された最大発生量Ｌｍに対する低減された発生量比率Ｒ＝Ｌｐ／Ｌｍに応じて、吸脱着動作の一サイクルを継続させる時間である吸脱着周期Ｔを段階的に切換えて吸脱着動作を制御する。 - 特許庁

A polishing pressure corresponding to the depth of a recess is calculated by a polishing pressure calculating device 17 so as to obtain a constant polishing rate, a polishing pressure control 18 gives a polishing pressure to a carrier pressing mechanism 12, and a polishing operation is carried out with a calculated polishing pressure.例文帳に追加

一定の研磨速度が得られるように、凹部深さに応じた研磨圧力を研磨圧力演算装置１７にて算出し、研磨圧力制御部１８が、キャリア加圧機構１２に加えるべき研磨圧力を伝え、算出された研磨圧力にて研磨加工を行う。 - 特許庁

The temperature at the outlet 6 of the desuperheater is fixed in such a way that a detector 18 detects the gas temperature at the outlet 6 and the flow rate of the liquid refrigerant supplied to a liquid refrigerant atomizing nozzle 9 is controlled by controlling the valve travel of a flow control valve 2 by transmitting the detected temperature to the valve 21.例文帳に追加

減温器出口温度は一定温度となるように減温器出口ガス温度を検知器１８で検出し、電気的信号として液冷媒流量制御弁２１に伝え、弁開度の制御により液冷媒微粒化ノズル９に供給する液流量を制御する。 - 特許庁

A time detecting means 15 detects the time and if the detected time belongs to a midnight time band for which a lowest power rate is specified, an operation control means 16 controls the operation to heat supply hot water with refrigerant using the heat of bathtub water as the heat source of heat pump cycle.例文帳に追加

時刻検知手段１５で時刻を検知し、この検知時刻が電気料金が最も安価に指定されている深夜時間帯であるときに、運転制御手段１６で浴槽水の温熱をヒートポンプサイクルの熱源とし、給湯水を冷媒で加熱する運転を行う。 - 特許庁

The control device computes combustion characteristics of a cylinder (e.g., an ignition delay time and a combustion rate) based on both of a cylinder internal pressure detection value and a fuel pressure detection value (S90), and corrects an EGR quantity, supercharging pressure and injection start timing in accordance with the computed combustion characteristics (S110, S120, S130).例文帳に追加

そして、筒内圧検出値及び燃圧検出値の両検出値に基づき、気筒の燃焼特性（例えば、着火遅れ時間や燃焼割合）を算出し（Ｓ９０）、算出した燃焼特性に応じてＥＧＲ量、過給圧及び噴射開始時期を補正する（Ｓ１１０，Ｓ１２０，Ｓ１３０）。 - 特許庁

The control section 144 increases the air distribution amount by the fan 141 for transporting heated air, and rises a flow rate (flow speed) of the air passing through the solar heat collector 101 when the temperature measured by the temperature sensor 143 is higher than a set temperature determined in advance.例文帳に追加

制御部１４４は、温度センサ１４３が測定した温度が予め設定されている設定温度より高い場合、加熱空気輸送用ファン１４１による空気の送風量を増加させ、太陽光集熱器１０１を通過する空気の流量（流速）を上昇させる。 - 特許庁

A control means is mounted for switching the operation of a magnetron 8, a sheathed heater 3, an air flow circulating means 2 and a pump 6 when a predetermined rate of change of weight is achieved on the basis of a signal of a weight sensor 11 detecting the weight of the food during heating.例文帳に追加

加熱中の食品の重量を検知する重量センサ１１の信号を基に、予め設定された重量変化率に到達した時にマグネトロン８とシーズヒータを供３、気流循環手段２およびポンプ６の作動を切り換える制御手段を設けたものである。 - 特許庁

The maximum outer peripheral diameter of the upper part sealing member 48, the lower part sealing member 50, and the float rod 38 is formed as substantially the same diameter, and the float rod 38 is displaced under energization action of a step motor 12 to control flow rate of fluid by distance of separation of the valve element 40 from a valve seat 30.例文帳に追加

この上部シール部材４８、下部シール部材５０及びフロートロッド３８の最大外周径が略同一に形成され、ステップモータ１２の付勢作用下にフロートロッド３８が変位して弁体４０の弁座３０に対する離間距離により流体の流量が制御される。 - 特許庁

At the first period t1-t2 large in flow rate and high in pressure, high pressure off-gas from a PSA device 19 is stored at a second tank T2 by opening a second stop valve V2 while closing a first stop valve V1 and supplied to the load from a pressure control valve V3 through a first tank T1.例文帳に追加

ＰＳＡ装置１９からのオフガスを、大流量、高圧力の第１期間ｔ１〜ｔ２では、第１開閉弁Ｖ１を閉じたままで、第２開閉弁Ｖ２を開き、高圧力オフガスを第２タンクＴ２に貯留し、圧力制御弁Ｖ３から第１タンクＴ１を経て負荷に供給する。 - 特許庁

The repeating device 3 once receiving the notice command from the ticket issuing machine 1 gives a control command to the ticket issuing machine 1 according to the rate of the reading devices 2 in use and controls the ticket issuing machine 1 into the single-ticket-kind issue mode or multiple-ticket-kind issue mode.例文帳に追加

中継装置３は、発券機１から通知コマンドを受信すると、そのときの配下の全読書装置２における使用中の読書装置２の割合に応じて、制御コマンドを発券機１に与えて、発券機１を単一券種発券モード又は複数券種発券モードに制御する。 - 特許庁

To prevent deterioration of exhaust gas by rapidly detecting abnormality when the abnormality occurs in an amplification circuit or an offset circuit in a control device for an exhaust gas sensor for outputting a detection signal of the exhaust gas sensor after changing over an amplification rate or an offset voltage.例文帳に追加

排気ガスセンサによる検出信号を増幅率あるいはオフセット電圧を切り換えて出力する排気ガスセンサの制御装置において、増幅回路あるいはオフセット回路に異常が発生した場合には、それを速やかに検出することにより、排気ガスの悪化を防止する。 - 特許庁

A change control unit 34 directs to the output 32 that transmitting of important data out of the data which should be transmitted is performed preferentially, when data rate shown by the information acquired by the acquisition 38 is lower than threshold established based on the data which should be transmitted.例文帳に追加

変更制御部３４は、取得部３８において取得した情報によって示されるデータレートが、転送すべきデータをもとに設定されるしきい値より低ければ、出力部３２に対して、転送すべきデータのうちの重要なデータを優先的に転送することを指示する。 - 特許庁

The device manufacturing apparatus having a cooling water piping system for cooling the temperature control air in the apparatus comprises means for measuring at least either the pressure or flow rate of the cooling water in the cooling water piping system in order to detect the condition of the cooling water piping system.例文帳に追加

装置の温調エアを冷却する冷却水配管系を有するデバイス製造装置において、前記冷却水配管系の状態を検知するために該冷却水配管系における冷却水の圧力および流速のうち少なくとも一方を計測する手段を設ける。 - 特許庁

In a driving force distribution control part 40, an input torque sensitive transfer torque is calculated by a first transfer torque calculation part 43, a steering angle/yaw rate sensitive transfer torque is calculated by a second transfer torque calculation 44, and a tack-in prevention transfer toque is calculated by a third transfer torque calculation part 45.例文帳に追加

駆動力配分制御部４０では、第１のトランスファトルク演算部４３で入力トルク感応トランスファトルクを演算し、第２のトランスファトルク演算部４４で舵角／ヨーレート感応トランスファトルクを演算し、第３のトランスファトルク演算部４５でタックイン防止トランスファトルクを演算する。 - 特許庁

This device comprises a plurality of contant rate pumps 1, 2 of a constant rotating speed, a common load generation part 9 is connected to the delivery ports of the pumps 1, 2, and the primary side pressure constant control type two-way valves 11, 12 for constantly controlling the output of the delivery ports are mounted on the delivery ports of thepumps 1, 2.例文帳に追加

回転速度が一定に固定された定速型ポンプ１，２を複数台備え、各ポンプ１，２の吐出部に共通の負荷発生部９を接続し、ポンプ１，２の吐出部に、吐出部の圧力を一定圧に制御する一次側圧力一定制御型の二方弁１１，１２を設けている。 - 特許庁

To obtain a soil-preventing coating composition applied to a ship body, structured material under or on water, fishery material, etc., to be more in detail, enabling the control of dissolution rate of the coating film and capable of exhibiting a soft coating film structure and soil-preventing performance for a long period of time.例文帳に追加

船体、水中・水上構造物、漁業資材などに適用される防汚塗料組成物に関し、詳しくは塗膜の溶出速度の制御を可能として長期にわたって柔軟な塗膜構造と防汚性能を発揮できる防汚塗料組成物を提供する。 - 特許庁

Further, the ferritic stainless steel sheet is subjected to heating treatment at 800 to 1,000°C, is thereafter cooled in the temperature range from 800 to 400°C at a cooling rate of at least, ≥10°C/sec and is descaled with sulfuric acid to control the concentration of P in the grain boundaries to ≤5 at.% by atomic concentration.例文帳に追加

また、フェライト系ステンレス鋼板を８００℃以上１０００℃以下で加熱処理後、８００℃から４００℃の温度範囲で少なくとも１０℃／sec 以上の冷却速度で冷却し、硫酸によりデスケールすることにより、結晶粒界のＰ濃度が原子濃度にて５ａｔ％以下とする。 - 特許庁

To provide a compact of a temperature self-controlling nature useful as a planar or film-like temperature self-controlling heater etc. with a sharp resistance variation in the course of temperature control and a small rate of change in a resistance value (return characteristics) in repeated use, i.e., a small-retrogradation characteristic, at a high temperature.例文帳に追加

面状やフィルム状の温度自己制御ヒーター等として有用で、温度制御時の抵抗値の変化がシャープで、かつ、高温度での繰り返し使用における抵抗値の変化率（戻り特性）が小さい自己温度制御性成形体とその製造方法を提供することを課題とする。 - 特許庁

The supercharging system for an internal combustion engine includes a valve control means which controls a valve 72 so that, if a required load is increased, a flow rate of gas flowing from a pressure accumulation vessel 70 to an exhaust passage K on an upstream side of a turbine wheel 48 based on a transmission gear ratio of a transmission 86.例文帳に追加

本発明に係る内燃機関用過給システムは、要求負荷が増加したとき、変速機８６の変速比に基づいて蓄圧容器７０内からタービンホイール４８上流側の排気通路Ｋへのガス流量を調整するように弁７２を制御する弁制御手段を備える。 - 特許庁

Control duty dn is increased (steps 107 to 113) along a curve for increasing change rate gradually by monotonous increase expressed by dn = k Mn + d0 after performing rapid filling treatment (step 101), computation of an initial value d0 (step 103), and computation of coefficient k (step 105).例文帳に追加

急速充填処理（ステッフ゜１０１）、初期値ｄ０の演算（ステッフ゜１０３）、係数ｋの演算（ステッフ゜１０５）を実行した後、ｄｎ＝ｋ・Ｍｎ＋ｄ０で表される単調増加で徐々に変化率が増加する曲線に沿って、制御デューティｄｎを増加させる（ステッフ゜１０７〜１１３）。 - 特許庁

An evaluating part 17 evaluates a bit error rate in the judgment output, and when the value is equal to or higher than reference, a control part 8 stops operations of the radio part and the path selecting part in order of an antenna branch in which the maximum value or average value of a signal to interference ratio is small.例文帳に追加

評価部１７はその判定出力におけるビット誤り率を評価し、その値が基準以上であるときに、制御部１８が信号対干渉比の最大値又は平均値が小であるアンテナブランチから順に無線部及びパス選択部の動作を停止させる。 - 特許庁

When receiving an emergency earthquake prompt report and performing earthquake corresponding control, when gas pedal operation amounts AP are increased, the gas pedal operation amounts AP are corrected so that the change amounts of the increase direction decreases (rate of increase is reduced), and corrected gas pedal operation amounts APC are calculated.例文帳に追加

緊急地震速報を受信し、地震対応制御を行う場合において、アクセルペダル操作量ＡＰが増加するときは、その増加方向の変化量が減少する（増加速度が減少する）ようにアクセルペダル操作量ＡＰが補正され、補正アクセルペダル操作量ＡＰＣが算出される。 - 特許庁

When a state signal S2 which indicates the operation start of the dry pump 11 is outputted from a dry pump controller 24 for controlling the operation of the dry pump 11, a valve controller 22 controls the opening of the flow rate continuous control valve 23 in response to a predetermined program.例文帳に追加

バルブコントローラ２２は、ドライポンプ１１の動作を制御するドライポンプコントローラ２４からドライポンプ１１の動作開始を示す旨の状態信号Ｓ２が出力された場合に、予め設定されたプログラムに従って流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。 - 特許庁

To provide a braking control device for a vehicle executing pressure-reduction treatment and pressure-increase treatment such that difference of sufficient left and right wheels for denying an excessive yaw rate during braking of the vehicle can be suitably generated in a short time in a braking system in which a wheel cylinder pressure cannot be accurately monitored.例文帳に追加

ホイールシリンダ圧が精度よく監視可能でない制動系に於いて車両の制動中過大なヨーレートを打ち消すのに十分な左右輪の制動力差を短期間で適切に発生できるよう減圧処理及び増圧処理を実行する車両の制動制御装置を提供すること。 - 特許庁

A control circuit 60 calculates a drop rate of laser output on the basis of a detection result detected by the first photosensor 54, the second photosensor 56, and the color sensor 58; judges a cause of the output drop of the laser light on the basis of the calculated result; and announces the judged cause thereof.例文帳に追加

制御回路６０は、第１のフォトセンサ５４、第２のフォトセンサ５６、カラーセンサ５８により検出された検出結果からレーザ出力の低下率を演算し、演算結果に基づいてレーザ光の出力低下の原因を判定し、判定されたレーザ光の出力低下の原因を報知する。 - 特許庁

Also, the I picture 101 and the I picture 102 are encoded at a quantization value smaller than at least a quantization value to be assigned in usual rate control which is a quantization value as small as possible, and are discarded at the time of connection to compressed image data of a portion which is not re-encoded.例文帳に追加

また、Ｉピクチャ１０１およびＩピクチャ１０２は、少なくとも通常のレート制御において割り当てられる量子化値より小さな量子化値であって、できる限り小さな量子化値でエンコードされ、再エンコードされない部分の圧縮映像データとの接続時に破棄される。 - 特許庁

To optimize the fuel cut release timing and the intake flow rate to prevent engine failure during the deceleration in an internal combustion engine of a vehicle having a means to set the target throttle opening according to the operational quantity of an accelerator and a means to control the opening of a throttle valve to the target value.例文帳に追加

アクセル操作量に応じた目標スロットル開度を設定する手段、スロットル弁の開度を目標スロットル開度に制御する手段、を備える車両の内燃機関において、減速時のエンストを防止するため、燃料カット解除タイミングおよび吸気流量の最適化を実現する。 - 特許庁

The coating method for supplying a coating agent by a spray nozzle comprises a step to control the flow rate of the coating agent to be sent forcibly to the spray nozzle by feeding back the thickness of the coating film measured by quartz crystal microbalance (QCM).例文帳に追加

スプレーノズルによってコーティング剤が供給されるコーティング方法において、ノズルに圧送するコーティング剤の流量を、水晶振動子マイクロバランス（Quartz Crystal Microbalance：ＱＣＭ）によって測定したコーティングの膜厚によってフィードバック制御することを特徴とする方法、およびそのための装置。 - 特許庁

The fuel cell uses liquid containing water and alcohol as fuel and is constituted with an electrolyte membrane interposed between the anode and a cathode, and a diffusion control layer, in which the diffusion rate of alcohol is lower than that of water is installed on the upstream side in the fuel supply direction of the anode.例文帳に追加

水とアルコールを含む液体を燃料として用い、アノード極とカソード極とで電解質膜を挟んで構成される燃料電池であって、前記アノード極の燃料供給方向上流側に、アルコールの拡散速度が水の拡散速度よりも遅い拡散制御層を設ける。 - 特許庁

Engines ECU280 and HV_ECU320 control a throttle motor 296 so that a throttle opening does not exceed a limit value and the increase rate of the throttle opening per unit time remains at a prescribed value or smaller during a specified period after a time when an engine 120 has started.例文帳に追加

エンジンＥＣＵ２８０およびＨＶ＿ＥＣＵ３２０はエンジン１２０の始動開始時点からの所定期間において、スロットル開度が制限値を超えず、かつ、単位時間あたりのスロットル開度の上昇率が所定の開度上昇率以下となるように、スロットルモータ２９６を制御する。 - 特許庁

An electronic money settlement control device 1 for performing electronic money settlement processing to and from an electronic money storage device through an electronic money communication device provides information about settlement service information of point grant and discount rate and about communication state information to a user in accordance with a display form on an LED 27.例文帳に追加

電子マネー通信装置を介して電子マネー記憶装置との電子マネー決済処理を行う電子マネー決済制御装置１は、ポイント付与や割引率等の決済サービス情報や通信状態情報等の情報をＬＥＤ２７の表示形態により使用者に知らせる。 - 特許庁

To provide an exhaust emission control system capable of sufficiently possessing a fuel consumption effect by an oxygen-excess traveling, remarkably reducing unpurified HC and CO, having an excellent purification rate at low temperature, in particular, and performing purification of NOx with high efficiency just after the starting up to the steady traveling time.例文帳に追加

酸素過剰走行による燃費向上効果を十分に享有でき、未浄化のＨＣ及びＣＯを著しく低減し、特に低温時の浄化率に優れ、始動直後から定常走行時まで高効率でＮＯｘを浄化処理できる排気ガス浄化システムを提供すること。 - 特許庁

To provide a control method for mixing multiple liquids, which is used for mixing multiple fluids in a mixing room while weighing them alternately and supplying the mixture to a spray gun, by which the error of the mixing ratio is reduced and kept within tolerance even when the mixture is intermittently supplied or the flow rate is extremely changed.例文帳に追加

複数の流体を交互に計量しながら混合室で混合して、スプレーガンへ供給する多液の混合制御方法において、供給の断続と流量の変化が激しい場合でも、混合率誤差が小さくて許容範囲に維持できる混合制御方法を提供する。 - 特許庁

To provide an exposure system capable of effectively cooling an optical material without vibration, a detrerioration in positional stability, response to a positional control, or the like to decrease a failure rate of the wafer by precisely exposure transcribing a circuit pattern, which manufactures a high performance device.例文帳に追加

光学部材を、振動・位置安定性・位置制御の応答性の悪化等を伴わずに効果的に冷却することができ、その結果、高精度に回路パターンを露光転写することができてウエハの不良率を低減し、また高性能のデバイスを作成することができる露光装置を提供すること。 - 特許庁