「Stage Direction」に関連した英語例文の一覧と使い方(35ページ目) - Weblio英語例文検索

This procedure is to reduce the draft of a formed material 10' in the fiber longitudinal direction from an elevated value to the set value in a starting stage of a spinning process in order to form the fiber mass increasing in adaptation to a tapered part of a yarn terminal end region 1 in a fiber bundle starting end region 2.例文帳に追加

糸終端領域１の先細り部に適合されて増加する繊維質量を繊維束始端領域２に形成するために、繊維長手方向形成物１０′のドラフトを、紡績プロセスの開始段階において、高められた値から、設定された値に減少させるようにした。 - 特許庁

When the voltage of a focus drive signal is increased gradually and outputted, the optical pickup is moved in the direction of approaching to the optical disk, in the movement stage, an S type signal 33 by reflection at a surface of the optical disk and an S type signal 34 by reflection at a reflection plane of the optical disk are detected.例文帳に追加

フォーカス駆動信号の電圧を徐々に増加させて出力すると、光ピックアップは光ディスクに近づく方向に移動し、その移動過程において、光ディスクの表面での反射によるＳ字信号３３、光ディスクの反射面での反射によるＳ字信号３４が検出される。 - 特許庁

Each of output bits which are successively bit-shifted in the shift direction in individual stages R0 to R13 of a 14-stage shift register 101 selects an M sequence, which is generated by a prescribed primitive polynomial corresponding to a scramble number based on position information of a disk, from a selection table in a feedback bit selector 102.例文帳に追加

１４段のシフトレジスタ１０１の各段Ｒ_0〜Ｒ_13で順次シフト方向にビットシフトされた各出力ビットは、フィードバックビットセレクタ１０２において、ディスクの位置情報に基づくスクランブル番号に対応する所定の原始多項式により生成されるＭ系列を選択テーブルから選び出す。 - 特許庁

In the latter period of the plating stage, by stepwise moving the electric field shielding board 8 in the right direction and stepwise relaxing the concentration of the electric field to the center part of the semiconductor substrate 100, the plating copper film 112 is deposited over the whole face of the semiconductor substrate 100.例文帳に追加

メッキ工程の後期において、電界遮蔽板８を段階的に右方に移動して半導体基板１００の中央部に対する電界の集中を段階的に緩和することにより、半導体基板１００の全面に亘ってメッキ銅膜１１２を堆積する。 - 特許庁

Sieves 11, 12 and 13 are arranged in a stepwise shifting state so as to become lower in a particle moving direction and the mesh sizes of the sieves are arranged so as to become large toward a rear stage to sieve particles present in the state of mixture with a fluid.例文帳に追加

ふるい１１、１２、１３は、粒子が移動する方向に低くなるように階段状にずらして配置され、かつ、ふるいの目が後段に行くにしたがって大きくなるように配置されて、流体中に混合している、あるいは混合した状態にある粒子をふるい分ける。 - 特許庁

Each of light strength of the images of the space image marks is measured through each space image openings 6a-6c, thereby, a focus curve can be obtained by an exposing without moving the wafer stage 15 in the direction of optical axis, and the best focusing position can be calculated.例文帳に追加

各空間像開口６ａ〜６ｃを通じて各空間像マークの像の光強度をそれぞれ計測することで、ウエーハステージ１５を光軸方向に移動させることなく一度の露光でフォーカス曲線を取得することができ、ベストフォーカス位置を算出することができる。 - 特許庁

A coating stage 32 of a resist coating apparatus 30 is rotated according to a posture of a substrate 1 detected by a pair of detection sensors 50 provided in a transportation hand 40, and the posture of the substrate 1 is corrected to the posture in the moving direction of a washing nozzle for washing the resist on the end surface of the substrate 1.例文帳に追加

搬送ハンド４０に設けた一対の検知センサ５０で検知した基板１の姿勢に基づいてレジスト塗布装置３０の塗布ステージ３２を回転させ、基板１の姿勢を、基板１の端面のレジストを洗浄するための洗浄ノズルが移動する方向の姿勢へ修正するものである。 - 特許庁

When the substrate is supported on the stage 111 in an attitude that the long side is parallel to the sub-scanning direction, the approximate positioning of the substrate is carried out by allowing the a second limit part 1812 of each corner part position limiting part 181 to be close or in contact with two side of the each corner of the substrate.例文帳に追加

また、長辺が副走査方向に平行となる姿勢にて基板がステージ１１１上に支持されている場合には、各角部位置制限部１８１の第２制限部１８１２が、基板の各角部の２辺に近接または当接することにより、基板のおよその位置調整が行われる。 - 特許庁

A fourth subtracter 107, a fifth subtracter 108, a third divider 109, and a sixth subtracter 110 calculate a movement distance in the height direction of the image area from the height of the page and the width of the head before conversion, and the height of the page and the width of the head at the intermediate stage.例文帳に追加

第４減算器１０７、第５減算器１０８、第３除算器１０９及び第６減算器１１０は、変換前のページの高さ及び天の幅並びに中間段階のページの高さ及び天の幅を基に、版面の高さ方向の移動量を算出する。 - 特許庁

To provide a chucking device for properly retaining the chucking device for retaining the circumference in the peripheral direction with even force to an inner peripheral edge of the central through hole of a disc at an installation stage and successfully retaining a retaining part of the disk even in high speed rotation.例文帳に追加

ディスクの中心貫通孔の内周縁に対して周方向全周を均等な力にて保持するチャッキング装置を装着段階にて適正に保持することができ、そして高速回転時においても良好にディスクの保持位置を維持することができるチャッキング装置を提供すること - 特許庁

The moire determining part 5 compares the pattern periodicity and direction in the image signal with the number of screen lines and the screen angle of a screen usually used by a screen processing part 7, determines the presence of moire appearance and transmits the result as a TAG signal to a color correcting part 6 at a post stage and the screen processing part 7.例文帳に追加

そして、その画像信号中のパターン周期及び方向と、スクリーン処理部７で通常使用するスクリーンのスクリーン線数及びスクリーン角度とを比較して、モアレの出現の有無を判定し、その結果をＴＡＧ信号として後段色補正部６及びスクリーン処理部７に伝える。 - 特許庁

In the average zero dispersion wavelength λ_0 in the overall length of the optical fiber 10, the absolute value of the fourth-stage derivative value β_4 of the propagation constant β by the frequency ω is 5×10^-56s^4/m or smaller, and the dispersion of the zero dispersion wavelength along the longitudinal direction is ±0.6 nm or smaller in the overall length.例文帳に追加

光ファイバ１０は、全長での平均零分散波長λ_０において、周波数ωによる伝搬定数βの４階微分値β_４の絶対値が５×１０^−５６ｓ^４／ｍ以下であり、長手方向に沿った零分散波長の変動が全長で±０.６ｎｍ以下である。 - 特許庁

Further, the stage 10 comprises a base 11, a table 15 which moves parallel to the base 11, guide members 13, 14 and 17 which guide the table 15 in the direction of X and Y, and a noncontact bearing which supports the guide member 17 without making contact with the table 15 and the guide members 13, 14.例文帳に追加

ステージ装置１０は、ベース１１と、ベース１１に平行に移動するテーブル１５と、テーブル１５をＸ方向およびＹ方向に案内するガイド部材１３、１４、１７と、ガイド部材１７をベース１１、テーブル１５およびガイド部材１３、１４から非接触支持する非接触軸受とを備える。 - 特許庁

In the second stage, when forming the bearing face by promoting plastic flow inward in the radial direction from the inner periphery of the intermediate base stock by ironing the outer periphery of the intermediate base stock, the plastic flow to the open side of the intermediate base stock and the bottom part side of the intermediate base stock is controlled.例文帳に追加

第２工程は、前記中間素材の外周をしごき、前記中間素材の内周から径方向内方への塑性流動を促進させて前記座面を成形するにあたり、前記中間素材の開口側及び前記中間素材の底部側への塑性流動を規制するようにした。 - 特許庁

The drop control device controls the moving direction of the stage so as to eliminate the position deviation of the drop position of the imprint material caused by the template position deviation amount and the nozzle position deviation amount, and controls a discharge timing of the imprint material discharged from the nozzle.例文帳に追加

そして、前記テンプレート位置ずれ量および前記ノズル位置ずれ量に起因して生じる前記インプリント材の滴下位置の位置ずれを解消するよう、前記ステージの移動方向を制御するとともに、前記各ノズルから吐出するインプリント材の吐出タイミングを制御する。 - 特許庁

A CPU 31 determines a non-mounted surface of the living tissue 21 on a glass substrate 20 based on the intensity of the reflected wave, and determines corrective data for correcting the backlash in the Z direction of the X-Y stage 15 using the reflected waves from a plurality of measured points on the non-mounted surface.例文帳に追加

ＣＰＵ３１は、反射波の強度に基づいて、ガラス基板２０における生体組織２１の非載置面を判定し、その非載置面における複数の測定点からの反射波を用いて、Ｘ−Ｙステージ１５のＺ方向のガタツキを補正するための補正データを求める。 - 特許庁

A positioning rib 22a has a stage part 24a on the top surface and a projecting part (engaged part) 24 is formed so that a seat plate 20 may become higher in the direction of the outer periphery and the upper wall 34 of a fixing bracket 30 can be close contact with the lower top surface of the positioning rib 22a.例文帳に追加

位置決めリブ２２ａは、その上面部に段部２４ａを設けて座板２０の外周部方向が高くなるように突出部（被係合部）２４を形成しており、固定金具３０の上板部３４がこの位置決めリブ２２ａの低い上面部に密着できるようになっている。 - 特許庁

Thus reaction load actuating on the axis of the crushing part 6 can be raised at the initial stage of collision and gradually reduced correspondingly to the progress of contraction deformation of the crushing part 6 because the axial angle of the crushing part 6 increases relative to the body deceleration direction accompanying the contraction of the space between the two ends of the crushing part 6.例文帳に追加

これにより、圧潰部の両端間が収縮するのに伴い、車体減速度の向きに対する圧潰部の軸線の角度が増大するので、圧潰部の軸線に作用する反力荷重を、衝突初期に高くし、かつ圧潰部の収縮変形の進行に従って漸減させることができる。 - 特許庁

At the opening initial stage of a top plate 5, a display mounting base 20 is raised while approx. keeping the installation state by the own weight by a pitoval shaft 24, and even when the top plate 5 is widely opened, and the display is raised, the display is prevented from greatly tilting in the longitudinal direction.例文帳に追加

天板５の開放初期時において、ディスプレイ載置台２０は枢軸２４を介して自重によりほぼ設置状態を保持したまま上昇されるため、天板５を大きく開放してディスプレイを上昇させても、ディスプレイが前後方向に大きく傾くことがない。 - 特許庁

The taking in/out element 51 is composed of a pair of moving portions 52 separately arranged in both sides on the machine stand 31 and capable of relatively approaching and separating, and a clamp portion 60 provided so as to move on stage in a taking in/out direction D and clamping an article A.例文帳に追加

出し入れ体５１は、機台３１上の両側に振り分けて配設されて相対的に接近離間可能な一対の可動部５２と、可動部５２に対して、出し入れ方向Ｄに１段式に移動可能に設けられ物品Ａをクランプするクランプ部６０とにより構成した。 - 特許庁

To further improve a turbine stage efficiency by reducing an airfoil loss and secondary flow loss at a blade root part while controlling a flow rate distribution of a working fluid in a blade height direction inside a flow passage between a turbine nozzle and a turbine rotor blade.例文帳に追加

タービンノズルおよびタービン動翼の翼間流路内における翼高さ方向の作動流体の流量分布をコントロールしつつ、翼根元部の翼型損失および２次流れ損失を低減させ、タービン段落効率をより一層向上させる軸流タービンを提供する。 - 特許庁

To improve the rotation range of a movable member along the parallel direction of a parallel link mechanism in a parallel link stage and an optical element measuring instrument, and to form an open space at the center of a region surrounded by the movable member and the parallel link mechanism.例文帳に追加

パラレルリンクステージおよび光学素子測定装置において、パラレルリンク機構の並列方向に沿う可動部材の回転範囲を向上することができるとともに可動部材およびパラレルリンク機構によって囲まれる領域の中心部に開放空間を形成することができるようにする。 - 特許庁

The liquid receiving part 53 having a slit like opening formed on the upper surface parallel to the crossing direction recovers the coating liquid in the liquid columnar state which is discharged through the opening when the nozzles 521-523 are moved to a position out of the upper side of the stage 21 by the nozzle moving mechanism 51.例文帳に追加

液受部５３は、上記横断する方向と平行のスリット状の開口が上面に形成され、ノズル移動機構部５１がステージ２１上から外れた位置にノズル５２１〜５２３を移動させた際、その開口を通して吐出された液柱状態の塗布液を回収する。 - 特許庁

The exterior cloth used for bulk packaging method is provided with a tension band which winds up the upper stage of the loading objects in the peripheral direction from the middle of the perforated cloth to the upper side, and one opening/closing fastener in the lower side than the tension band.例文帳に追加

および通気性布の中腹から上方において、積載物の上段を周方向に緊張させる、緊張帯を設けるとともに、該緊張帯より下方において１本の開閉ファスナーを設けたことを特徴とするバルク包装方法に使用する外装用布。 - 特許庁

Either of two-stage coupling detection arms is used as a planer elastic arm member, and thereby torsion to the arm generated between a vehicle body and a traveling carriage is absorbed by the planer elastic arm, and accuracy in the arm height direction is maintained by the twisted planer elastic arm.例文帳に追加

この発明は、２段連結の検出アームのいずれか一方を板状弾性アーム部材とすることで、車体と走行台車との間に発生するアームに対するねじりを板状弾性アームで吸収し、かつ、ねじれた板状弾性アームによりアームの高さ方向の精度を維持するものである。 - 特許庁

Above a carrying means 6 provided in a front stage of the inspecting device and carrying a plurality of articles A to the inspecting device 1, a rod-shaped element 13 is suspended so as to rock in a carrying direction while keeping the height of a lower end from a carrying surface less than the height H of the article.例文帳に追加

検査装置の前段に設けられて複数の物品Ａを検査装置１に搬送する搬送手段６の上方には、搬送面からの下端の高さが物品の高さＨ未満であるように、搬送方向に沿って揺動可能に棒状体１３が吊り下げられている。 - 特許庁

A liquid holder 80, which holds liquid and also expands and contracts in the direction of rectilinear motion, interlocking with the compression and expansion of the liquid, is introduced into the rear stage of a conversion mechanism 5 which converts rotational motion into a rectilinear motion, when it transmits the output of an electric motor 3 to an actuator 7.例文帳に追加

電動モータ３の出力を作動部７に伝達する際に回転運動を直線運動に変換する変換機構５の後段に、液体を保持するとともにその液体の圧縮膨張に連動して直線運動の方向へ伸縮する液体保持部８０が導入される。 - 特許庁

In the second step, the non-inspecting panel 15 is arranged on a stage 40, and an optical filter 44 is inserted between the viewing angle control panel of the non-inspecting panel 15 and an inspector, and thereby, the display state of the dummy pattern is inspected from the front direction of the viewing angle control panel.例文帳に追加

第２工程では、非検査パネル１５をステージ４０に配置すると共に、非検査パネル１５の視野角制御パネルと検査員との間に光学フィルタ４４を介在させることにより、視野角制御パネルの正面方向からダミーパターンの表示状態を検査する。 - 特許庁

The transporting device to transport sheet-form base boards 10 upon taking out of a stage 20 in the form of a flat plate is equipped with a sucking means 50 to blow the air onto the board 10 in the direction parallel with the board plane and a control guide 60 for controlling the position of the board 10.例文帳に追加

シート状基板１０を平板状ステージ２０から取り出して搬送する装置において、シート状基板１０上に空気を基板の平面と平行方向に送る吸引手段５０、シート状基板１０の位置を制御するための制御ガイド６０を有する搬送装置である。 - 特許庁

To provide a line and a method of manufacturing a steel plate by which the temperature inhomogeneity of a thick steel plate, in particular the temperature inhomogeneity in the width direction, is reduced and the steel plate having good flatness is obtained in a natural cooling stage after cooling by heating the plate by suppressing the power consumption for induction heating.例文帳に追加

誘導加熱の消費電力量を抑えて加熱することにより、厚鋼板の温度ムラ、特に幅方向の温度ムラを減少させ、冷却後の放冷過程において良好な平坦度を有する鋼板を得ることが可能な、鋼板の製造ライン及び製造方法を提供する。 - 特許庁

The alignment is performed by controlling a transfer mechanism 81 so as to match the central coordinates of the substrate marks 91 on the CCD 40 for IR rays to rotationally move the transfer stage 70 in X-Y directions and a θ direction.例文帳に追加

紫外線用のＣＣＤ３０上のマスクマーク９０の中心座標に対して、赤外線用のＣＣＤ４０上の基板マーク９１の中心座標を合致させるように、移動機構８１を制御して移動ステージ７０を、ＸＹ方向及びθ方向に回転移動させて位置合わせを行う。 - 特許庁

An output plate 4a capable of moving in the axial direction is installed in an output shaft 2b, and pressed by a pre-load spring 7a, and a ball lamp part 5a, in which a ball 6a rotates and which has a lamp groove provided with two-stage groove grade, is provided between the input plate 3a and the output plate 4a.例文帳に追加

出力軸２ｂに軸方向に移動可能なアウトプットプレート４ａが装着されプリロードスプリング７ａによって押さえられ、インプットプレート３ａとアウトプットプレート４ａとの間にボール６ａが転がる２段溝勾配のランプ溝を有するボールランプ部５ａが設けられている。 - 特許庁

When the ion reaches toward the orifice 70, force toward the optical axis C in a direction nearly orthogonally crossing the optical axis C operates on the ion, thus the orbit is prevented from spreading easily even if the ion hits against a gas molecule halfway, and the ion is efficiently fed to the later stage through the orifice 70.例文帳に追加

イオンがオリフィス７０に向かって到来するとイオンには光軸Ｃに略直交する方向で光軸Ｃに向かう力が作用するため、途中でガス分子に衝突しても軌道が広がりにくく、効率良くオリフィス７０を通過して後段へと送られる。 - 特許庁

The stage for forming the non-through-hole includes scanning one surface of the silicon substrate 1 while shifting a laser spot 12, scanning it with the laser spot 12 so that scanning lines may be arranged in a direction nearly perpendicular to a scanning direction, scanning it with the laser spot 12 so that the laser spots 12 of the adjacent scanning lines may be partially superposed on each other, and repeatedly performing such scanning several times.例文帳に追加

未貫通穴の形成工程では、シリコン基板１の片側の面内にて、レーザースポット１２をずらしながら走査させることと、走査方向と略垂直な方向に走査線が並ぶようにレーザースポット１２の走査を行うことと、隣り合う走査線のレーザースポット１２どうしが一部重なり合うようにレーザースポット１２を走査することと、それら走査を繰り返し複数回実施することを含む。 - 特許庁

The shutter 126 includes a first shutter plate 128 to be rotated with a size that can close the nozzle 74, a second shutter plate 131 swingably coupled with the tip of the first shutter plate 128, and a guide for swinging and rotating the second shutter plate 131 in the reverse direction to the rotating direction of the first shutter plate 128 on a final stage when the first plate 128 is opened.例文帳に追加

シャッター１２６は、ノズル７４内を閉鎖可能な寸法を有して回動される第１のシャッター板１２８と、この第１のシャッター板１２８の先端に揺動自在に連結された第２のシャッター板１３１と、第１のシャッター板１２８が開放される最終段階において、当該第１のシャッター板１２８の回動方向と逆方向に第２のシャッター板１３１を揺動回転させるためのガイドとを備える。 - 特許庁

The image of a mask pattern is formed accurately on a substrate by determining correspondence between a scanning direction regulated on a first coordinate system for controlling movement of first stages 10, 11 holding a mask 12 and a scanning direction regulated on a second coordinate system for controlling movement of a second stage 4 holding a substrate 5 thereby enhancing alignment accuracy of the mask and the substrate at the time of scanning alignment.例文帳に追加

マスク（１２）を保持する第１ステージ（１０，１１）の移動を制御するための第１座標系で規定される走査方向と、基板（５）を保持する第２ステージ（４）の移動を制御するための第２座標系で規定される走査方向との対応関係を求めることによって、走査露光時のマスクと基板とのアライメント精度を向上させて、マスクのパターンの像を正確に基板上に形成する。 - 特許庁

To provide a high durable spherical bearing which has wide oscillation angle and high bearing durability required for the spherical bearing used for a robot or a stage with a multi-degree of freedom, can perform smooth action in a rotationally oscillating direction and fine angularly positioning, and keep high accuracy over a long period of time.例文帳に追加

ロボットや多自由度ステージ等に用いられる球面軸受に要求される、広い揺動角度と高い軸受剛性とを有し、回転揺動方向の平滑な動作と微小な角度の位置決めとを可能にし、且つ、長期間にわたって高精度を維持できる高い耐久性の全てを満足する球面軸受を提供する。 - 特許庁

The air conditioner 1 controls the expanding mechanism positioned at an upstream side of the receiver 18 with respect to the flowing direction of the refrigerant, of the expanding mechanisms 5a, 5b, so that a pressure of the refrigerant in the receiver 18 becomes higher than that of the refrigerant sucked to the latter stage-side compressing element 2d.例文帳に追加

この空気調和装置１は、レシーバ１８における冷媒の圧力が後段側の圧縮要素２ｄに吸入される冷媒の圧力よりも高くなるように、膨張機構５ａ、５ｂのうち冷媒の流れ方向に対してレシーバ１８の上流側に位置する膨張機構を制御するものである。 - 特許庁

Such an electrical connection apparatus includes four first plate-like bases arranged in the inspection stage, in such a way as to jointly form a first rectangular opening and a plurality of contact units, mounted to one sides of at least two adjacent first bases in their thickness direction.例文帳に追加

そのような電気的接続装置は、板状をした４つの第１のベースであって矩形の第１の開口を共同して形成するように検査ステージに配置される第１のベースと、少なくとも２つの隣り合う第１のベースの厚さ方向における一方側に取り付けられた複数の接触子ユニットとを含む。 - 特許庁

This parking supporting device is furnished with a driving means to change the direction of a side mirror of the vehicle and a control means to control the driving means, and the control means changes the side mirror downward at the final stage of the travelling process to the parking position of the vehicle.例文帳に追加

本発明は、駐車を支援する駐車支援装置において、車両のサイドミラーの向きを変化させる駆動手段と、前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、車両の駐車位置への走行過程の終期段階で、前記サイドミラーを下向きに変化させることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a mask for focus monitoring and a method of monitoring focus, such that photomask manufacturing is facilitated, without requiring strict control over a phase and the quantity and direction of deviation from a focus state in an exposure stage can easily be detected with high accuracy and can contribute to improvement in the exposure accuracy etc.例文帳に追加

厳密な位相の制御を必要とすることなく、フォトマスク作製が容易で、かつ露光工程のフォーカス状態からのずれ量およびずれ方向を高精度かつ簡便に検出することができ、露光精度の向上等に寄与し得るフォーカスモニター用マスク及びフォーカスモニター方法を提供すること。 - 特許庁

In a moving method of void inside of a transparent solid 4, void of inside of the transparent solid 4 is moved in the direction of incidence of the laser pulse by irradiating inside of the transparent solid 4 continuously with the laser pulse as a test piece without adjusting a lens system of the femto- second laser pulse stage 3 of the test piece.例文帳に追加

透明体４内部のボイドの移動方法において、フェムト秒レーザーパルスのレンズ系又は試料のステージ３の調整を行うことなく、前記レーザーパルスを試料としての透明固体４内部に連続照射することにより、この透明固体４内部のボイドをレーザーパルスの入射方向に移動させる。 - 特許庁

An XYθ stage 1 is a device for positioning the XYθ directions of a semiconductor wafer W mounted on the movable plate 3, and comprises actuators 41x, 43x, and 41y-44y for driving the movable plate 3 in the XYθ directions, and a rotation restricting section 20 for restricting the movable range of the θ direction.例文帳に追加

ＸＹθステージ１は、可動プレート３に載置される半導体ウエハＷのＸＹθ方向の位置決めを行う装置であり、前記可動プレート３を、ＸＹθ方向に駆動するアクチュエータ４１ｘ，４３ｘ，４１ｙ〜４４ｙと、θ方向の可動範囲を制限する回転制限部２０と、を備えている。 - 特許庁

A center decoration 12 comprises an opening 11 for exposing a pattern display device 6, a performance operation device 39 arranged on one side in a left-to-right width direction of the opening 11 for moving a performance member 43 onto a game ball stage S, and a transparent panel 31 for shielding the front part of the opening 11 and the performance member 43.例文帳に追加

センター飾り１２は、図柄表示装置６を露出させる開口１１と、開口１１の左右幅方向の一側に配置されて演出部材４３を遊技球ステージＳ上に移動させる演出作動装置３９と、開口１１及び演出部材４３の前方を遮蔽する透明パネル３１とを備える。 - 特許庁

A substrate stage 2 is configured to carry out immersion exposure using a liquid LQ, and includes a porous body flow passage 50 made of a porous body which recovers a contacting liquid LQ and holds the liquid LQ, the porous body flow passage 50 including an extension part L extending in a direction including a perpendicular component.例文帳に追加

液体ＬＱを用いた液浸露光が実施される基板ステージ２であって、接触した液体ＬＱを回収して液体ＬＱを保持する多孔体から形成された多孔体流路５０を備え、多孔体流路５０は、鉛直成分を含む方向に延在する延在部Ｌを有するという構成を採用する。 - 特許庁