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「upper-step」に関連した英語例文の一覧と使い方(28ページ目) - Weblio英語例文検索


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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > upper-stepの意味・解説 > upper-stepに関連した英語例文

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upper-stepの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 1660



例文

The method includes: a step for two-dimensionally forming a plurality of photoelectric conversion parts 303 with respect to a substrate 301 along its one main surface; and a step for forming the lamination film interference filter 306 by alternately laminating films 401, ..., 411 and films 402, ..., 412, having mutually different reflectivities, in the upper part of each of the plurality of photoelectric conversion parts 303.例文帳に追加

基板301に対し、その一方の主面に沿って複数の光電変換部303を二次元形成するステップと、複数の光電変換部303の各々の上方に、互いに屈折率の異なる膜401、・・、411と膜402、・・、412とを交互に積層して積層膜干渉フィルタ306を形成するステップとを有する。 - 特許庁

This method for manufacturing the rotor blade 50 comprises a step for casting the turbine rotor blade including a shank 64 and a platform 62 having an upper face 172 and a lower face 182 and a step for connecting a first constituent element with the rotor blade to form a first substantially hollow plenum 180 between the shank and the lower face of the platform.例文帳に追加

ロータブレード(50)を製作する方法は、シャンク(64)と、上面(172)及び下面(182)を有するプラットフォーム(62)とを含むようにタービンロータブレードを鋳造する段階と、シャンク及びプラットフォーム下面との間で第1の実質的に中空のプレナム(180)を形成するように第1の構成要素をロータブレードに結合する段階とを含む。 - 特許庁

The method of pasting the string packing onto the structure comprises the step of temporarily fixing the cement face of the string packing to be an upper face into a predetermined form with a fixture and the step of joining the joined face of the structure onto the temporarily fixed cement face of the packing to transfer the packing onto the structure.例文帳に追加

ひも状パッキンを構造体に貼り付けする方法であって、上記ひも状パッキンの接合剤面を上面として固定具にて所定形状に仮固定させる工程と、仮固定された上記パッキンの接合剤面に上記構造体の被接合面を接着させて、上記パッキンを上記構造体上に転写する工程を備えてなる。 - 特許庁

When the center a of the beam is deviated in the lamination direction to a core, a difference between quantities of light made incident in a reproduction core 104 and a directly upper core 104 in step parts b is generated and a quantity of light beams scattered by the servo mark 103 of the reproduction core 104 and that scattered by the servo mark 103 of the directly upper core 104 are differed.例文帳に追加

ビームの中央部aがコアに対し積層方向にずれているとき、段差部bが再生対象コア104と、その一層上のコア104に入射される光量の間に差が生じ、再生対象コア104のサーボマーク103と、その一層上のコア104のサーボマーク103によって散乱される光量との間に差が生じる。 - 特許庁

例文

On the other hand, when the power supply voltage V_M is higher than the output upper limit voltage V_MAX (Step S5→Yes), the output voltage V_out is increased up to the output upper limit voltage V_MAX so that the hydraulic clutch generates target transmission torque T_OBJ set in accordance with a maximum lubricating flow amount Q_MAX at this time (Steps S6-S9).例文帳に追加

一方、電源電圧V_Mが出力上限電圧V_MAXより高いとき(ステップS5→Yes)、出力電圧V_outを出力上限電圧V_MAXまで昇圧し、そのときの最大潤滑流量Q_MAXに基づいて設定する目標伝達トルクT_OBJを油圧クラッチに発生させる(ステップS6〜S9)。 - 特許庁


例文

The method for melting glass including a step to supply a helium-containing gas into an upper atmosphere of the molten glass is characterized by that a low ceiling region having 0.3 m or less of the height from the liquid level of the molten glass to the ceiling of the upper atmosphere is prepared and the helium-containing gas is supplied into the low ceiling region.例文帳に追加

ヘリウム含有ガスを溶融ガラスの上部雰囲気に供給する工程を含むガラス溶融方法であって、溶融ガラス液面から上部雰囲気の天井部までの高さが0.3m以下である低天井領域を設け、かつヘリウム含有ガスを当該低天井領域に供給することを特徴とするガラス溶融方法。 - 特許庁

The functional component 34 is located in a position opposite to the end 22 of the camera module 22 in the first housing 5 and exposed to the outside of the first housing 5 when the second housing is in the first posture, and the functional component 34 is provided on a level which is lower by one step than the upper surface 7a of the upper wall 7.例文帳に追加

機能部品34は、第2の筐体15が上記第1の姿勢にあるときに第1の筐体5の中でカメラモジュール22の先端部22に対向する位置に配置されるとともに、第1の筐体5の外部に露出されており、且つ、この機能部品34は、上壁7の上面7aに対して一段下げて実装されている。 - 特許庁

Then, the memory leak increment is divided by a time difference between the present period and the past period, and the memory leak increase rate is calculated (a step 13), and when the memory leak increase rate exceeds an upper increase rate (steps 16, 18), a request for countermeasures to the memory leak is outputted.例文帳に追加

次に、メモリリーク増加量を現期間と過去期間との時間差で割って、メモリリーク増加率を求め(ステップ13)、このメモリリーク増加率が上限増加率を超える場合には(ステップ16,18)、メモリリーク対策要求を出力する。 - 特許庁

A POS terminal 1 includes a dividable case cover 12 having a fitting step part 32 as a division boundary part provided in an upper part thereof and a display panel 8 attached to an opening 20 provided in a wall surface part of the case cover 12.例文帳に追加

POS端末装置1は、分割境目部分である嵌合段部32が上部に設けられた分割可能な筐体カバー12と、筐体カバー12の壁面部に設けられた開口部20に取り付けられたディスプレイパネル8とを備える。 - 特許庁

例文

And also, a battery pack contains a bare cell 100, a protection circuit board 180 electrically coupled to the bare cell, and an upper case provided at an outside of the bare cell, surrounding the protection circuit board and equipped with a fastening groove of a stairway-type step structure.例文帳に追加

また、本発明に係るバッテリーパックは、ベアセル100と、ベアセルに電気的に連結される保護回路基板180と、ベアセルの外側に設けられ、保護回路基板を取り囲み、階段型段差構造の締結溝を備える上部ケースとを含む。 - 特許庁

例文

Waste pieces of wide precut materials forming the upper faces of the right and left deck sections 21, 22 of the floor board section 20 and the right and left step sections 23, 24 are utilized for the struts, and they are overlapped in the thickness direction to form the struts.例文帳に追加

束として使用される木材は、前記床板部20の各左,右デッキ部21,22及び左,右ステップ部23,24上面を構成する幅広状のプレカット材の端切れ等を利用して、厚さ方向に重合して形成されている。 - 特許庁

The upper part of the auxiliary plate 5 is kept in contact with the step face of the shaft 1h but the lower part is pressed by the superposed blades 10-13 to compress the coil spring 6 fitted to the shaft 1j and the lower part has a tilt with respect to the shutter base plate 1.例文帳に追加

そのため、補助地板5は、上方部が、軸1hの段面に接触しているが、下方部は、重畳された羽根10〜13に押され、軸1jに嵌装されているコイルばね6を圧縮させ、シャッタ地板1に対して傾いている。 - 特許庁

Thus, the average of step heights upper and inner interfaces becomes 30 nm or smaller, and a lamination structure of a planarized δ doped layer is formed, thereby obtaining a semiconductor element with large breakdown strength and high mobility.例文帳に追加

これにより、上面及び内部の界面のステップ高さの平均が30nm以下と平坦化されたδドープ層の積層構造を形成することができるので、これを用いて耐圧が高く、移動度の大きい半導体素子を実現することができる。 - 特許庁

A picture in a formation area of a mask mark for alignment formed in an alignment mask and a picture in a formation area of a wafer mark for alignment formed in a substrate are individually picked up by an imaging element from the upper side of the alignment mask (fourth step S4).例文帳に追加

露光マスクに形成されたアライメント用のマスクマークの形成領域の画像と、基板に形成されたアライメント用のウェハマークの形成領域の画像とを、露光マスクの上方からそれぞれ個別に撮像素子に取り込む(第4ステップS4)。 - 特許庁

At step #6, the difference (or the ratio) of production times calculated under the state where the part has run out and under the state where the part has not run out is calculated and compared with a preset upper limit.例文帳に追加

その際に、#2で、優先テーブルのみを使用する部品切れが発生していない状態での基板一枚あたりの生産時間と、優先テーブルと予備テーブルとを併用する部品切れ発生状態での基板一枚あたりの生産時間を順次に計測する。 - 特許庁

A portion above the step part is reduced in diameter, a gap So is provided in the outer peripheral side position of the outer cylinder 8, and the middle part of a height direction is smoothly bent toward the outer peripheral side when the piston 6 clashes with the upper end of the piston damper 10.例文帳に追加

段部から上は縮径されていて外筒体8の外周側方位置に隙間Soを設け、ピストン6がピストンダンパー10の上端に衝突したときに高さ方向の中間部が外周側方へスムーズにたわむようにする。 - 特許庁

The sucking plate 1 is free from any gap between the porous part 2 and the frame body 3, and when an upper surface thereof is ground, the grinding quantity becomes uniform and no step is formed, and since no bottom part is present in the frame body, no undulation is generated on the surface of the porous part.例文帳に追加

この吸着板1は、ポーラス部2と枠体3との間に隙間が生じず、上面を研削すると研削量が一定となって段差が生じず、且つ枠体に底部がないことからポーラス部の表面にうねりが生じない。 - 特許庁

To prevent factors of causing wiring crack, void and broken line in the formation of a wiring at an upper layer part of metallic wires by eliminating a step difference of an inter-layer insulation film covering the metallic wires in the case of forming the metallic wires made of a thick aluminum film on a semiconductor substrate.例文帳に追加

半導体基板上に厚いアルミニウム膜の金属配線形成した際、それを被覆する層間絶縁膜の段差を取り除く事で、その上層部での配線形成における配線クラック、ボイド、断線の要因を防止する。 - 特許庁

A step 6 for increasing a clearance between the vane tip and the passage wall of the exhaust gas passage 37 when the opening of the nozzle vane 44 is operated to the opening exceeding the adequate upper limit opening is formed on a shroud part 21b of the turbine wheel 22.例文帳に追加

タービンホイール22のシュラウド部21bに、ノズルベーン44の開度を適合上限開度を超える開度まで操作したときにおいてベーン先端と排気ガス流路37の流路壁との間の間隙を拡大する段差60を形成する。 - 特許庁

The upper section of a vertically extending plate-shaped support bracket 20 is secured to the inner surfaces of the reclining arm 12 and folding arm 13 of the two-step hinge recliner 10, with the lower terminal of the support bracket 20 fastened to the lower section 31 of a seatback frame 30.例文帳に追加

2段ヒンジリクライナー10のリクライニングアーム12、折畳みアーム13の内面に上下に延び、プレート状の支持ブラケット20の上部を固定し、この支持ブラケット20の下側端末をシートバックフレーム30の下方部31に固着する。 - 特許庁

Distal ends of support members 42a, 42a fixed on an edge of a side of the step surface plate 40a for the height adjustment are installed movably around the shaft 28 that is supported by bearings 32, 32 provided on the upper surface of the top plate 30a.例文帳に追加

高さ調整用踏面プレート40aの一辺の縁に固定されている支持部材42a,42aの先端部は天板30aの上面に備えられる軸受32,32に支持された軸28回りに回動可能に取付けられている。 - 特許庁

Since the vibration control device 1 can be arranged in a die so that the upper side protruded part 13 and the lower side protruded part 22 overlap in the vertically orthogonal projection plane, and manufactured by vulcanization adhesion, a step of attaching additional parts becomes unnecessary.例文帳に追加

防振装置1は、上側突出部13と下側突設部22とが上下方向に直交する投影面において重なるように金型内に配置し、加硫接着することにより製造できるため、追加部品の組み付け工程を不要にできる。 - 特許庁

When the seedling receiver 1 is upward rotated, the holes of the positioning members 22 are fit into the fitting portions 23b of the pins 23, and the upper surfaces of the positioning members 22 then contact with the step portions 23a, thereby positioning the seedling receiver 1 at the seedling-receiving position.例文帳に追加

苗受け1が上方に回動したとき、位置決め部材22の穴がピン23の嵌入部23bに嵌り、続いて位置決め部材22の上面が段部23aと接触し、これにより苗受け1の苗受入位置での位置決めが行われる。 - 特許庁

When the CPU discriminates the depression of an upper key, etc., the CPU reads out a PVD, changes the current folder which is a reference to the folder one behind or one before from the present folder and retrieves the respective files belonging to a current folder after the change (step S28).例文帳に追加

また、CPUは、上キー等が押下されたと判別した場合、PVDを読み出し、基準となるカレントフォルダを、現在のフォルダから1つ後ろ又は、1つ前のフォルダに変化させ、変更後のカレントフォルダに属する各ファイルを検索する(ステップS28)。 - 特許庁

An FeRAM is processed with an FIB etc., to remove both a portion on an upper electrode side and a portion on a lower electrode side from a ferroelectric film of the ferroelectric capacitor, and thus top and reverse surface of the ferroelectric film are exposed (step S1).例文帳に追加

FeRAMをFIB等により加工して、その強誘電体キャパシタの強誘電体膜より上部電極側の部分と下部電極側の部分とを共に除去し、その強誘電体膜の上下面を露出させる(ステップS1)。 - 特許庁

When the editing is finished, a process for reading a left display position, an upper display position, a vertical width, a horizontal width and the data to be displayed in a seat by one seat from an editing area (not shown) in steps S500-508 is repeated by the number of seat (step S510).例文帳に追加

編集が終了すると、ステップS500〜508までにおいて、1座席分の左表示位置、上表示位置、縦幅、横幅、座席に表示するデータを編集域(図示せず)から読み込む処理を座席数分繰り返す(ステップS510)。 - 特許庁

A door prior-to-opening image photographed by a camera provided on an upper part of a meeting part of the passenger doors of the railway vehicle is obtained as a reference image and an image after getting on/off of the passenger is obtained as a determination image (step S1, S3).例文帳に追加

鉄道車両の乗降客ドアの会合部の上部に設けられたカメラにより撮像されたドア開放前画像を基準画像として取得するとともに、乗降客の乗降後画像を判定画像として取得する(ステップS1,S3)。 - 特許庁

To solve the problems that a step formed between the bottom wall of a hollow portion of a center pillar of a door flame and the upper edge of a door trim shows a poor appearance, and that an unfavorable triangular space is formed in a contact portion of a weather strip of a column in the vehicle side and the bottom wall when the door closes.例文帳に追加

ドアフレームのセンターピラーの中空部の底壁とドアトリムの上縁との間に段差が生じ、見栄えが悪い上に、ドア閉時、車体側の支柱のウエザーストリップに底壁が当接したとき、この部分に三角隙を作り好ましくない。 - 特許庁

The acute angle formed by a line connecting a maximum point and a minimum point of a step of the upper surface of the TEOS film 21 immediately below a region wherein the thin film resistance element 30 is formed and the surface of the semiconductor substrate 1 is set to 10° or below.例文帳に追加

この薄膜抵抗素子30の形成される領域の直下における上記TEOS膜21の上面の段差の極大点及び極小点間を結ぶ線と、半導体基板1の面のなす鋭角は、「10°」以下に設定されている。 - 特許庁

It is judged whether the number X of the printing pages of the manuscript formed on an application exceeds the upper limit number Y of printing papers (step S1006) and, in the case of excess, a printing job is divided (steps S1007, S1008 or the like) to issue a printing command.例文帳に追加

アプリケーション上で作成した原稿等の印刷ページ数Xが、印刷上限枚数Yを超えているか否かを判定し(ステップS1006)、超えていた場合は、印刷ジョブを分割して(ステップS1007、S1008等)、印刷命令を行う。 - 特許庁

In a computer, order information and the upper limit width of a load increase rate calculation period are registered, each order load is accumulated in a time section of a delivery time, and a load accumulation result obtained by accumulating loads in the future direction of a time base is calculated (STEP 1 to 3).例文帳に追加

計算機において、オーダー情報と負荷増加率計算期間の上限幅を登録し、各オーダーの負荷を納期の時間区分に山積みし、時間軸の未来方向に負荷を累積した負荷累積結果を計算する(STEP1〜3)。 - 特許庁

To provide a semiconductor device having a high reliability that can improve a step coverage property of an upper conductive layer (metal wiring) by performing an etchback or an Ar sputter etch on the entire surface of the interlayer insulating film again after a W plug is formed in a contact hole.例文帳に追加

コンタクトホールへのWプラグ形成後に、再度、層間絶縁膜全面エッチバック又は、Arスパッタエッチを施すことにより、上層導電層(メタル配線)の段差被覆性の向上を図り得る、信頼性の高い半導体装置を提供する。 - 特許庁

Meanwhile, the method includes a step of judging that the vehicle is a stable state when the vehicle runs at a low vehicle speed without steering on a flat road, and regulates a torque upper limit value Tmax by preceding the alleviation of the torque shock when the request torque is limited (S262).例文帳に追加

一方、平坦路を操舵なしに低車速で走行しているときには、車両は安定な状態であると判断し、要求トルクを制限する際のトルクショックの緩和を優先してトルク上限値Tmaxを調整する(S262)。 - 特許庁

When the intake exceeds the upper limit of the allowable range, the server shifts operation to a step S503, extracts recipes including the comparatively less quantity of the nutritional element noticed from the database, prepares a table and displays the table on the display of the terminal.例文帳に追加

一方、摂取量が許容量の上限値以上の場合は、ステップS503に移行し、着目している栄養素が少なめのレシピを栄養評価用データベースから抽出し、一覧表を作成して端末のディスプレイに表示する。 - 特許庁

An insulating side-wall spacer 50 is formed on the side face of a step formed between the upper surfaces of an element area and the structure 41 and interrupts the passage of leak currents between the area 34 and plug 49.例文帳に追加

素子領域の上面とトレンチ分離構造41の上面との間に形成された段差の側面に絶縁性サイドウォールスペーサ50が形成され、ソース/ドレイン領域34と電極プラグ49との間の電流リークパスを遮断している。 - 特許庁

For example, the first primary DC-DC power converter 16a can step up a voltage received from a first primary power supply V1 through an upper voltage rail 20a and a lower voltage rail 20b of a first low side DC power bus.例文帳に追加

例えば、第1の一次DC/DC電力コンバータ16aは第1のローサイドDC電力バスの上位電圧レール20aおよび下位電圧レール20bを介して第1の一次電源V1から受け取った電圧をステップアップすることができる。 - 特許庁

When it is temporarily determined that the NOx catalyst is abnormal and the updated upper limit temperature TLMTH becomes a prescribed determination temperature TJUD lower than the initial value or below, it is determined that the NOx catalyst is abnormal (step 26).例文帳に追加

そして、NOx触媒が異常であると仮判定され、かつ、更新された上限温度TLMTHが初期値よりも低い所定の判定温度TJUD以下になったときに、NOx触媒が異常であると確定する(ステップ26)。 - 特許庁

Photogravur rolls 3a and 3b are installed above a path line of a carrier film 1, and platens 4a and 4b are installed below, thus forming a pattern of an internal electrode and a pattern of a step cancellation dielectric on the upper side of the carrier film 1.例文帳に追加

グラビア印刷ロール3a、3bを、キャリアフィルム1のパスラインよりも上側に設置し、圧胴4a,4bを下側に設置することにより、キャリアフィルム1の上側に内部電極用パターンおよび段差解消誘電体用パターンを形成する。 - 特許庁

Further, a groove 12 is formed on a transparent insulating substrate 1 in advance and the lower-layer wiring line of the structure is buried therein to suppress the disclination defect due to the step of the lower-layer wiring line and the wire breaking defect of the upper-layer wiring line.例文帳に追加

また、予め透明絶縁基板1に溝12を形成し、その中に上記構造の下層配線を埋設することにより、下層配線の段差に起因するディスクリネーション不良や上層配線の断線不良の発生を抑制する。 - 特許庁

The two layer bank 13 consists of a lower layer bank 14 and an upper layer bank 15 partitioning the color element regions A, and the lower layer bank 14 is provided so as to stretch out to the inside of the color element region A to form the step on the wall surface of the two layer bank 13.例文帳に追加

二層バンク13は、下層バンク14と色要素領域Aを区画する上層バンク15とからなり、下層バンク14は、色要素領域Aの内側に張り出すように設けられて、二層バンク13の壁面に段差を形成している。 - 特許庁

In this case, the discharging periods of time are determined based on a control target pressure P0 when the discharging button is turned on, and a detected pressure Px by a pressure sensor at that time is not more than a target upper limit pressure P0" (a step 304).例文帳に追加

この場合、前記注出時間は、注出ボタンのオン操作時、そのときの圧力センサによる検出圧力Pxが目標上限圧力P0”以下であった場合は、制御目標圧力P0に基づき決定される(ステップ304)。 - 特許庁

At the contact hole part 18, organic EL layers 15, 16, 17 of three colors are formed so as to be superimposed on one another and, as the result, short-circuiting between the upper electrode 19 and the pixel electrode 13 due to the disconnection caused by the step of the organic EL layer 15 can be avoided.例文帳に追加

コンタクトホール部18においては、3色の有機EL層15、16、17が重畳して形成されており、有機EL層15の段切れによる上部電極19と画素電極13のショートを回避することが出来る。 - 特許庁

An index piece 58 is so attached to a reel 402 as to pass an index sensor 55 during the acceleration of the next rotation of the reel 402, when a predetermined special position in the outer circumference of the reel 402 stops at the upper step of a display frame 201.例文帳に追加

リール402の外周における所定の特別位置が表示枠201の上段に停止した場合、インデックス片58は、リール402の次の回転の加速中にインデックスセンサ55を通過するように、リール402に取り付けられている。 - 特許庁

In the case wherein an oil pressure difference ΔP, which dose not exist actually, is continuously calculated with a failure of an oil pressure sensor 26, a feedback integral term Ii gradually increases, and finally, exceeds the upper limit value Ilim, and a determination YES is done in a step S26.例文帳に追加

油圧センサ26が故障することで実際には存在しない油圧差ΔPが継続して算出された場合、フィードバック積分項Iiが徐々に増大して遂には上限値Ilimを超え、ステップS26の判定がYesになる。 - 特許庁

A method of surface treatment of the cork stopper (1) formed of a cork into a desired shape includes a step of applying a coating film (2) made of a synthetic resin on an end surface in contact with a liquid, and lower and upper peripheral side faces connecting with it of the cork stopper (1).例文帳に追加

コルクを所望の形状に形成したコルク栓(1)の表面処理方法であり、前記コルク栓(1)の接液端面及びこれに連なる下部の周側面と上部の周側面へ合成樹脂からなる被膜(2)を塗布形成する。 - 特許庁

Run out of part is alarmed at step #7 when the calculated value exceeds the upper limit.例文帳に追加

それとともに、#6で、計測した部品切れ発生状態での生産時間と前記部品切れが発生していない状態での生産時間との差(あるいは比率)を算出して予め設定した上限値と比較し、算出値が上限値を超えた時に#7で部品切れの警告を行う。 - 特許庁

In application, a bar at both upper end parts of the frame is held with both hands and both feet are put on step plates mounted at end parts of the seesaw board of the seesaw unit to carry out vertical exercising of the feet alternately by own force.例文帳に追加

使用する時は、やぐらの両側上端部のバーを両手で握り、シーソーユニットのシーソー板の端部に取付けた踏み板に両足を乗せ、自力にて交互に足の上下運動をすれば良いようにした、シーソー運動利用の健康運動器具である。 - 特許庁

Next, in the second insulating film forming step ST104, after the formation of the second insulating film 14 thinner than the first insulating film 17 on the side surface 132 of the lower electrode 13, upper electrodes 15a, 15b are formed with the gas phase oxidation method.例文帳に追加

次に、第2の絶縁膜形成工程ST104において、気相酸化法により、下電極13の側面132に第1の絶縁膜17より薄い第2の絶縁膜14を形成した後、上電極15a、15bを形成する。 - 特許庁

When deciding that the end coordinates are inputted, the CPU advances to a step S195, sets a rectangular area on the upper side in the figure of a straight line whose end points are the inputted start coordinates and end coordinates and plots a prescribed pattern in the rectangular area.例文帳に追加

終了座標が入力されたと判定すると、CPUは、ステップS195に進み、入力された開始座標と終了座標を端点とする直線の、図中上側に矩形領域を設定し、その矩形領域に所定の絵柄を描画する。 - 特許庁

例文

To form a conductive hydrogen barrier film with excellent step coverage in a via hole for exposing an upper electrode of a ferroelectric capacitor constituting an FeRAM, and to suppress reduction of a ferroelectric film in burying it with a tungsten film by a CVD method.例文帳に追加

FeRAMを構成する強誘電体キャパシタの上部電極を露出するビアホールに、優れたステップカバレッジで導電性水素バリア膜を形成し、タングステン膜により、CVD法で埋め込む際の強誘電体膜の還元を抑制する。 - 特許庁




  
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