「upper-surface」に関連した英語例文の一覧と使い方(537ページ目) - Weblio英語例文検索

Furthermore, since the primary side tubes 1 and the secondary side tubes 2 are spirally wound, while adhering the flat parts 4 and 5 formed in each of the peripheries to each other, a heat conductive surface is formed in both of an upper and a lower surfaces over the whole of the tubes in the longitudinal direction thereof to secure a sufficiently wide heat conductive area.例文帳に追加

さらに、一次側管１と二次側管２とが、各外周の平坦部４および５を交互に密着しながら螺旋状に巻回される構成であるため、管長手方向ほぼ全体の部分で上下両面に伝熱面を有し、十分広い伝熱面積を確保することができる。 - 特許庁

Using a condition that the interlayer insulating film is etched easier than the etching stopper film, the interlayer insulating film positioned below the first opening is etched until the upper surface of the wiring is exposed, and a second opening 15A forming a contact hole with the first opening, is formed.例文帳に追加

エッチングストッパ膜よりも層間絶縁膜がエッチングされやすい条件を用いて、配線の上面が露出するまで第１の開口部の下方に位置する層間絶縁膜をエッチングして、第１の開口部と共にコンタクトホールを構成する第２の開口部１５Ａを形成する。 - 特許庁

The gable beam supporting roof boards via the heat-insulating members, heat conduction to the gable beam from the roof is reduced, a large number of slots are formed on the upper surface of the gable beam, and a contact area with the roof boards can be narrowed to reduce heat conduction.例文帳に追加

さらに野地板を支持する登り梁は、断熱部材を介して野地板を支持するものとし、屋根から登り梁への熱伝導を低減したり、登り梁の上面に多数の溝を形成し、野地板との接触面積を小さくして熱伝導を低減することができる。 - 特許庁

By applying the microwaves in a state of directing an electric wave radiating means 22 of an antenna 21 toward a right side wall surface 11, a wraparound of electric waves to an upper side of the mounting tray 27 is suppressed, and the microwaves are efficiently absorbed by the exothermic body 27b being an electric wave absorber.例文帳に追加

アンテナ２１の電波放射手段２２を右側壁面１１に向けた状態でマイクロ波を照射させることで、被加熱物載置皿２７の上方側への電波の回り込みを抑制するとともに、効率よく電波吸収体である発熱体２７ｂにマイクロ波を吸収させる。 - 特許庁

To reduce fatigue when carrying a cutting tool or performing a movement operation of the cutting tool by considering weight balance with a heavy charging type battery pack in the cutting tool including a tool body supported on an upper surface of a base made to abut on a cutting material and the battery pack in a power source.例文帳に追加

切断材に当接させるベースの上面に工具本体が支持され、電源に充電式のバッテリパックを備える切断工具において、重量の大きなバッテリパックとの重量バランスを考慮することによりその持ち運び若しくは移動操作時の疲労を低減できるようにする。 - 特許庁

An actuator comprises: a lens holder 72 for carrying the objective lens 71 on an upper surface so that the objective lens 71 is driven at least along a focus direction; a magnet disposed facing the side of the lens holder; and focus coils 74a, 74b disposed on the side of the lens holder facing the magnet.例文帳に追加

アクチュエータ装置は、対物レンズ７１を少なくともフォーカス方向に沿って駆動するべく、対物レンズを上面で担持するレンズホルダ７２と、該レンズホルダの側面と対向して配置される磁石と、該磁石と対向するレンズホルダの側面に配置されるフォーカスコイル７４ａ，７４ｂとを備える。 - 特許庁

A level difference part 3a is formed on the bottom face part of a recording head 3 such that a nozzle plate 15 is projected and the lip part 19 of a suction cap 16 abuts against the upper surface of the level difference part 3a at a specified interval from the side face thereof.例文帳に追加

記録ヘッド３の底面部に、ノズルプレート１５が突出した凸形状となるような段差部３ａを形成して、且つ、吸引キャップ１６のリップ部１９が、この段差部３ａの上面に段差部３ａの側面と所定間隔をもって当接するように構成する。 - 特許庁

Since there are fine gaps on the surface of an anodized aluminum film 74, when a coating film 75 having any one among oil crackability, hydrophilic properties and water retentivity is formed on the upper face thereof, the gaps exert anchor effect to exceedingly improve the adhesion of the coating film 75 for a base material 73 of aluminum.例文帳に追加

アルマイト被膜74の表面には微細な空隙があるので、その上面に油分解性，親水性または保水性のいずれか一つを有する被膜75を形成すれば、空隙がアンカー効果となって、アルミニウムの基材73に対する被膜75の密着性が格段に向上する。 - 特許庁

Also, a sidewall 98 extended upward from three sides of right and left side edges and a rear side edge of the bottom surface part 96 is extended upward so that the height of position becomes almost the opposed upper end of the slope 92 when attaching the winning ball tank 101 to the front frame 91.例文帳に追加

また、この底面部９６の左右側縁部及び後側縁部の３辺から上方に延出される側壁部９８は、該賞球タンク１０１を該前枠９１に取り付けた際に、斜面部９２のほぼ上端部に対向する位置の高さになるように上方に延出されている。 - 特許庁

The integral gasket 8 sealing the glass plate 7 covering an upper surface of the resister box 4 having a flow accumulating gear mechanism part 5 and an indicating part 6 therein is composed of a plastic ring shaped flat plate part 81 and an elastic body 82 such as rubber integrally attached therewith.例文帳に追加

内部に流量積算歯車機構部５と、指示部６とを有するレジスターボックス４の上面を覆うガラス板７をシールする一体ガスケット８は、プラスチックのリング状平板部８１ならびにそれと一体に取り付けられたゴム等の弾性体８２とからなっている。 - 特許庁

A part of the expanding and contracting member which has flexibility and expanding and contracting features and is formed into a string, belt, chain, or other shape with a certain length is attached to an optional place of the feet rest member having a feet rest part on the upper surface.例文帳に追加

上記課題を解決するために、本発明は上面に足置き部を有する足置き部材の任意の個所に、或る長さを有する紐状又は帯状又は鎖状又はその他の形状の柔軟性と伸縮機能を有した伸縮部材の一部が取り付けられている。 - 特許庁

In the exposure method, a photosensitive resin 2 provided on an upper surface of a substrate 1 is irradiated with light through a mask member disposed above the photosensitive resin 2 to form a specified exposure pattern comprising an exposed part and an unexposed part on the photosensitive resin 2.例文帳に追加

この露光方法は、基板１の上面に設けた感光性樹脂２に、当該感光性樹脂２の上方に配したマスク部材を介して光を照射することで、感光性樹脂２に露光部分と未露光部分とからなる特定の露光パターンを形成するものである。 - 特許庁

Further, it is preferable to also provide nozzles 5b to the upper side inner peripheral surface of the cylindrical drum and the load of the drive mechanism of the grinding impeller 2 is measured to control the jet amounts of the liquid from the nozzles corresponding to the fluctuation of the load.例文帳に追加

また、前記円筒ドラムの上側内周面にも、前記ノズル５ｂが設けられていることが好ましく、前記粉砕用羽根車２の駆動機構の負荷を測定し、前記負荷の変動に応じて、前記ノズルからの液体の噴射量を制御するような構成にすることがより好ましい。 - 特許庁

The upper surface of the wafer is irradiated with two laser beams 6 and 9 different in a wavelength from each other and the polishing completion point is detected by means of signals a-j generated occasioned by a change of light volumes of reflection light 12 and 14 during polishing and by a polishing completion point calculating means 28.例文帳に追加

互いに波長が異なる２つのレーザ光６，９をウェハ上面に照射しし、研磨中におけるそれらの反射光１２，１４の光量の変化に伴って生じる信号ａ〜ｊを使用して研磨終了点の検出を、研磨終了点算出手段２８に検出する。 - 特許庁

In a silica glass jig for semiconductor devices which has many fine dent parts on the surface of itself, each dent part has a smooth spoon cut shape and an approximately elliptical shape when viewed from the upper part and these many fine dent parts are arranged in a continuously reticulated state.例文帳に追加

多数の微細な凹部を表面に有する半導体装置用石英ガラス治具において、凹部それぞれの形状は、なめらかなスプーンカット状であって上方から見て略楕円形状をなしており、これら多数の微細な凹部は網目状に連続していることを特徴とする。 - 特許庁

The protective fence 5 is composed of a shielding plate 9 stood nearly vertically on the ground surface, a horizontal plate 10 nearly horizontally arranged on the shielding plate 9 and a plurality of wires 11 stretched nearly horizontally at a mutual interval kept therebetween in the upper part of the horizontal plate 10.例文帳に追加

防護フェンス５は、地面上に略垂直に立設された遮蔽板９と、遮蔽板９の上に略水平に配置された水平板１０と、水平板１０の上方に互いに間隔をおいて略水平に張設された複数の電線１１とで構成されている。 - 特許庁

In the first coating station ST1, the protective layer-forming material is mainly supplied to the whole upper surface of the vehicle 14 to apply rough coating thereto and, in the second coating station ST2, the roughly applied protective layer-forming material is further spread and a finish coating is applied.例文帳に追加

第１塗布ステーションＳＴ１では、車両１４の、主に上面の全体にわたって保護層形成材を供給するとともに粗塗りを行い、第２塗布ステーションＳＴ２では、粗塗りされた前記保護層形成材を、さらに塗り延ばすとともに仕上げ塗りを行う。 - 特許庁

The ink sheet cartridge 20 is disposed in the storage part 13 in an inclined state such that an ink sheet supply side sheet spool 25 is at a high position, and a taking up side sheet spool 26 is at a low position so that a recording paper 4 can be supplied along the upper surface of the ink sheet 21.例文帳に追加

インクシートカートリッジ２０は、そのインクシートの供給側シートスプール２５を高い位置とし、巻き取り側シートスプール２６を低い位置となるように、収納部１３内に前傾状に配置し、記録紙４が前記インクシート２１の上面に沿って供給されるように構成する。 - 特許庁

An r-plane is grown in parallel to xy-plane on the upper surface of each growing section 4 growing in the non-vertical direction.例文帳に追加

各非縦方向成長部４の上面では、ｘｙ平面に平行にｒ面が結晶成長し、これらの個々のｒ面は、側壁面１ｂの近傍に若干のボイド５を形成しつつも、ストライプ溝Ｓを完全に覆い隠すまで結晶成長して、最終的には略一連の平坦面が形成される。 - 特許庁

A switch 6 for activating the electric motor 4 with the speed reduction gear 3 is provided on the upper surface of the body case 2 at the other end.例文帳に追加

電動タオル絞り機１は、本体ケース２の一端上面に、この本体ケース２に内蔵した減速機３付き電動機４で回転駆動されるタオル掛けフック５を着脱自在に設け、本体ケース２の他端上面に、減速機３付き電動機４を起動させるスイッチ６を設けたものである。 - 特許庁

An eaves-type guide 20 with a downwardly pointed suction hole 23 for sucking the upper surface of the front workpiece W is provided on top of the end of the rail groove 2, so that the front workpiece W pushed by the pusher 10 while being sucked by the guide 20 is stacked and stored in a cassette container 41.例文帳に追加

レール溝２の先端部上部には、先頭のワークＷの上面を吸着する下向きの吸引穴２３を有する軒式ガイド２０が設けられ、ガイド２０によって吸着されながらプッシャ１０で押された先頭のワークＷはカセット容器４１へ積み重ねて収納される。 - 特許庁

The films have firm adhesion by diffusion and penetration to the base material and fusion of the upper and lower films and an Al2O3 film superior in heat resistance and oxidation resistance is formed on the film surface, and stable operation of a tube and a nozzle is ensured over a long period.例文帳に追加

これらの皮膜は、基材への拡散浸透及び上下の皮膜の融合により強固な密着性を有すると共に、皮膜表面に耐熱性・耐酸化性に優れたＡｌ_２Ｏ_３膜を生成し、長期間チューブ及びノズルの安定した運転を確保することを可能にする。 - 特許庁

Considering from the nature of rolling joining by which increase in joining area and wedge effect joining or others by rugged fitting are expected, it was considered that it was preferable at the beginning that surface roughness is big to some extent, but direct joining becomes possible by suppressing the roughness within an upper limit.例文帳に追加

凹凸嵌合による接合面積の増大、楔効果接合などを期待しうる圧延接合の性質から考えて、当初は表面粗さはある程度に大きいことが好ましいと思われたが、粗さをある上限値以下に抑えることによって初めて直接接合が可能になる。 - 特許庁

A protection metal layer 47 which is more hardly etched than adhesion layers 20, 31 is formed on portions corresponding to sidewalls of wirings 22, 23 formed on the upper surface 18A of the insulating layer 18, and thereafter, unnecessary portions of the adhesion layers 20, 31 are removed by etching to form the wirings 22, 23.例文帳に追加

絶縁層１８の上面１８Ａに形成される配線２２，２３の側壁に対応する部分に、密着層２０，３１よりもエッチングされにくい保護金属層４７を形成した後に、エッチングにより不要な部分の密着層２０，３１の除去を行って、配線２２，２３を形成する。 - 特許庁

To provide a synthetic resin block for a road easy to manufacture and to make favourable outer appearance by making it hard to cause deforma tion of an upper surface wall such as warp and sink mark when manufacturing it by injection molding and by facilitating manufacture.例文帳に追加

射出成型によって製作する際に、上面壁に反りやヒケといった変形を生じにくくすることにより、製作を容易にし、又好ましい外観にすることができる道路用合成樹脂製ブロック及びその道路用合成樹脂製ブロックの取付方法を提供する。 - 特許庁

Progress of cleavage can be controlled because an angle formed by the Al wire and the Al electrode becomes an obtuse angle by making thick the Al electrode on a semiconductor chip, reducing the length and width thereof, and by completely covering the upper surface of the Al electrode with the Al wire at the time of conducting wire bonding with an ultrasonic wave apparatus.例文帳に追加

半導体チップ上のＡｌ電極を厚くかつ長さ及び幅を小さくし、超音波装置でワイヤボンディングするときにＡｌワイヤでＡｌ電極の上面をすべて被覆することで、ＡｌワイヤとＡｌ電極が形成する角度が鈍角になることでき裂の進展を抑制する。 - 特許庁

By energizing the carriage 3 upward by a compression spring 36 made to intervene between the slider 35 and the carriage 3, buttons 30 and 31 attached to the upper surface of the carriage 3 are made to elastically abut on a platen glass 10 so as to keep space between the carriage 3 and the platen glass 10 constant.例文帳に追加

スライダ３５とキャリッジ３との間に介在させた圧縮バネ３６でキャリッジ３を上方に付勢することにより、キャリッジ３の上面に取り付けたボタン３０，３１をプラテンガラス１０に弾性的に当接させ、キャリッジ３とプラテンガラス１０との間隔を一定に保つ。 - 特許庁

The apparatus for curing the sealant comprises a chamber receiving at least a pair of bonded substrates and at least one supporting unit supporting the bonded substrates, attached to inner side surfaces of the chamber and having a substantially flat upper surface coming in contact with the bonded substrates.例文帳に追加

少なくとも一対の貼り合わせた基板を収納するチェンバーと、前記チェンバーの内部の側面に固定され、前記貼り合わせた基板と接触する実質的に平坦な上面を有する、前記貼り合わせた基板を支持する少なくとも一つの支持部とを含むことを特徴とする。 - 特許庁

The tank base 1 is made in one piece of a light material such as plastic, and has an upper surface where a solar power generation panel 3 is mounted, and a side where a first opening (injection opening) 4 and a second one (outlet) 5 that opens to a position being lower than the first one is provided.例文帳に追加

太陽光発電パネル３が取り付けられる上面と、第一の開口（注入口）４及び該第一の開口４より低い位置に開口する第二の開口（排出口）５が設けられる側面とを有する、プラスチック等の軽量材料によって一体成形されたタンク架台１である。 - 特許庁

There are provided a main container (2) for use in storing first content, and an auxiliary container (20) storing second content and having a bottom surface (22) broken under application of pressure between the main container (2) of a dispenser comprised of a dispenser cap (10) connected to an upper end of the main container and the dispenser cap (10).例文帳に追加

第一の内容物を貯蔵する主容器(２)と、その上端に結合されるディスペンサーキャップ(１０)からなるディスペンサーの主容器(２)とディスペンサーキャップ(１０)との間に、第二の内容物が貯蔵され、加圧により破壊する底面(２２)を備えた補助容器(２０)を設ける。 - 特許庁

In the first time solder paste printing process, a quantity of the solder paste 311 to be printed on the electrode 111 in an opening 213 of a mask 211 for printing laid on top of the substrate 100 is such that, when the paste becomes a molten solder 312, it is brought into contact with the upper surface 113 of the electrode.例文帳に追加

１回目のハンダペーストの印刷工程で、基板１００に重ねた印刷用マスク２１１の開口２１３における電極１１１上に印刷するハンダペースト３１１の量を、溶融ハンダ３１２となったときに電極上面１１３に接触する量とする。 - 特許庁

This hydraulic control valve apparatus includes a valve body 2 with a hydraulic circuit for a pressurized oil formed therein and installed horizontally to a vehicle, and a hydraulic control valve 4 disposed in the valve body 2 in parallel to an upper surface of the valve body 2 and having a spool 22 receiving a biasing force of a spring 23 contained in a damper chamber R_DA.例文帳に追加

圧油の油圧回路が形成され、車両に横置きに設置されるバルブボディ２と、バルブボディ２の上面に対して平行となるようにバルブボディ２に配設され、ダンパ室Ｒ_DAに収容されたスプリング２３の付勢力を与えられるスプール２２を有する油圧制御用バルブ４とを備える。 - 特許庁

The air bag 45 has pillar cover parts 46L and 46R expanding to cover the front surfaces of the front pillars 7L and 7R and hood cover parts 47L and 47R that communicate with the pillar cover parts 46L and 46R and expand to be supported by the upper surface 3d of the hood panel 3.例文帳に追加

エアバッグ４５は、フロントピラー７Ｌ・７Ｒの前面を覆い可能に展開膨張するピラーカバー部４６Ｌ・４６Ｒと、ピラーカバー部４６Ｌ・４６Ｒと連通し、フードパネル３の上面３ｄに支持されるように展開膨張するフードカバー部４７Ｌ・４７Ｒと、を備える。 - 特許庁

The cutout 11 can be visually recognized by observing the solid-state image pickup device 2 from the upper surface and the side and can be easily identified by touching with fingers, thus finding the position of the first terminal 7a easily even if the solid-state image pickup device 2 is in several mm square and is small.例文帳に追加

切欠１１は、固体撮像装置２を上面及び側面から観察しても視認することができ、指で触ることによっても簡単に識別することができるため、数ｍｍ四方の小さな固体撮像装置２であっても、容易に１番端子７ａの位置を見つけることができる。 - 特許庁

In this chamfering method for glass material in which the processing is performed so as to prevent the cracking at a corner part of a glass sheet, the edge part of the glass sheet which is obliquely inclined is illuminated with converged CO2 laser beam, the laser beam is relatively scanned along the edge line and the upper corner of edge part of illuminated surface is removed.例文帳に追加

ガラス板の角部の割れ防止のために処理する面取り加工方法において、斜めに傾けたガラス板の端部に集光したＣＯ_２レーザビームを照射して縁線に沿って、相対的にレーザビームを走査し、照射面端部の上角を除去する。 - 特許庁

A light source lamp 12 is installed in the housing 11 of a projector device 10, and a radiation fin 15 for discharging the heat of the housing 11 to the outside is provided on the upper surface of the housing 11, then the light source lamp 12 and the housing 11 are connected through a heat pipe 14.例文帳に追加

筐体１１の内部に光源ランプ１２が設置されたプロジェクター装置１０の筐体１１の上面に、筐体１１の熱を外部に放出するための放熱フィン１５を設けるとともに、光源ランプ１２と筐体１１との間をヒートパイプ１４で接続した。 - 特許庁

An elastic seal member 29 comprises a totally flat-shaped lip part 37, a connection part 38 extending downwardly from a substantially center part of a lower surface of the lip part 37, and a fixed part 39 extending along a lower side of an upper end part 28 of a side sill/garnish 4 from a lower end of the connection part 38.例文帳に追加

弾性シール部材２９は、全体として平板状のリップ部３７と、リップ部３７の下面の略中央部から下方に延在する連結部３８と、連結部３８の下端部からサイドシル・ガーニッシュ４の上端部分２８の下面に沿って延在する固定部３９とを有する。 - 特許庁

Power seat drive devices are disposed at both an upper part and a lower part of the back surface side of the backrest 102 to the power seat 101, respectively, while being equipped with first and second electrostatic capacity sensors 10, 20 that detect hands 48, knees 49 and the like of an occupant 57 seated on a rear seat 111, and a circuit 30.例文帳に追加

パワーシート駆動装置は、パワーシート１０１の背もたれ部１０２の背面側上部および背面側下部にそれぞれ配置されて後方シート１１１の乗員５７の手４８などや膝４９を検知する第１および第２静電容量センサ部１０，２０と、回路部３０とを備える。 - 特許庁

The ferromagnetic film 7 laminated on the nonmagnetic intermediate layer 6 comprises a vertical orientation 16 that is arranged at the upper portion of the conductor 15, and is subjected to crystal growth in the direction nearly perpendicular to the film surface; and a non-vertical orientation 17 that is present at a part other than the vertical orientation 16.例文帳に追加

非磁性中間層６上に積層された強磁性体膜７は、導通部１５の上方に配置され、かつ膜面に対して略垂直方向に結晶成長した垂直配向部１６と、垂直配向部１６以外の部分に存在する非垂直配向部１７とを有する。 - 特許庁

The substrates 13, 14 are arranged vertically with spacing in between; a conductive section 16 is formed on a back surface side of the upper side substrate 14 and a through-hole 17 or a notch 27 for attaching a terminal 11 which is conductively connected to a conduction section 16 is formed on the lower side substrate 13.例文帳に追加

基板１３，１４を上下に互いに間隔を介して配置し、上側基板１４の裏面側には導電部１６を形成し、下側基板１３には導電部１６に導通接続される端子１１の取り付け用の貫通の穴部１７又は切り欠き部２７を形成する。 - 特許庁

A projection piece 121f, projecting from at least one opening end part 121e of an opening 121d that opens in a U shape of a tank 121 is provided, and a projection piece 121f and an upper wall surface 121a of another tank 121 are brought into contact with each other for stacking.例文帳に追加

タンク１２１のコの字形状に開口する開口部１２１ｄの少なくとも一方の開口端部１２１ｅから開口部１２１ｄの内側に向けて突出する突出片１２１ｆを設け、突出片１２１ｆと他のタンク１２１の上壁面１２１ａとを当接させて積上げるようにする。 - 特許庁

A chair-type gondola 2 is provided with a gondola body 4 which is suspended from an elevating device installed on an upper part of a building and moves up and down along a wall surface (or a window) 38, and a seating part 6 fixed to the gondola body 4 wherein a worker can sit and perform operation such as wall coating or the like.例文帳に追加

建物上部に設置した昇降装置に吊り下げられて壁面３８（或いは窓）に沿って昇降自在なゴンドラ本体４と、このゴンドラ本体に固定されて作業員が座った状態で壁面塗装などの作業が可能な座部６とを備えたチェア式ゴンドラ２である。 - 特許庁

In this bedding 10 on an upper surface of which a person can be laid down, a holding part 14 is provided around a peripheral edge 13 of a bedding body 12, and when carriers hold the holding part 14, the bedding can be carried to a desired place with the person lying thereon.例文帳に追加

上面に人間が寝ることができる寝具１０であって、寝具本体１２の周縁１３には把持部１４が設けられ、搬送者が上記把持部１４を把持した場合には、人間が寝た状態のままで所望の場所へ搬送されうるように形成されていることを特徴と - 特許庁

A plurality of apertures are provided on a curve surface which is continuously formed from a rear upper section to a front lower section of a casing of a silencer main body, and the aperture with an aperture dimension suitable for a predetermined frequency in an audible band is formed by gradually differentiating the aperture dimension of a shorter direction of the aperture.例文帳に追加

消音装置本体ケーシングの上部後方から下部前方にかけて連続して形成した曲面部に複数の開口を設け、この開口の短手方向の開口寸法を徐々に異ならせて可聴音帯域の中の所定周波数に適した開口寸法の開口を形成する。 - 特許庁

Then HFE is supplied as a rinse liquid from the upper nozzle 64 and the lower nozzle 14 to both the faces Wa and Wb of the wafer W as the rotation of the wafer W is kept, to start rinsing for the wafer W using the HFE (hydrofluoro ether), and the hydrofluoric acid on the surface of the wafer W is rinsed away.例文帳に追加

次に、ウエハＷの回転は維持されたまま、上ノズル６４および下ノズル１４よりリンス液としてのＨＦＥのウエハＷの両面Ｗａ，Ｗｂに供給されて、ＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）によるウエハＷのリンスが開始され、ウエハＷ表面のふっ酸が洗い流される。 - 特許庁