「Beam Forming」に関連した英語例文の一覧と使い方(59ページ目) - Weblio英語例文検索

A printer engine 106 includes a recording means having a plurality of light emitting elements arranged in the sub-scanning direction and a means for forming an image on a photoconductor by scanning the same region on the photoconductor with a light beam from the recording means a plurality of times in the main scanning direction.例文帳に追加

プリンタエンジン106は、副走査方向に配列された複数の発光素子を有する記録手段、および、記録手段の光ビームによって感光体上の同一領域を主走査方向に複数回走査して、感光体上に画像を形成する形成手段を有する。 - 特許庁

A property modification region 7 is formed along a portion corresponding to a through hole by converging a laser beam on a process target 1, an oxide film 22 is formed on each of a surface 3 and a rear surface of the process target 1, and then the process target 1 is subject to etching treatment, thereby forming the through hole.例文帳に追加

加工対象物１にレーザ光を集光させて貫通孔に対応する部分に沿って改質領域７を形成し、加工対象物１の表面３及び裏面に酸化膜２２を生成した後、加工対象物１にエッチング処理を施すことにより貫通孔を形成する。 - 特許庁

To obtain a pattern data forming method which is capable of relieving an increase in the data capacity of drawing data occurring in the generation of OPC patterns in formation of electron beam drawing data of a reticle, an increase in data handling time by accompanying the same, and an increase in the load on production resources and a drawing method for reticle.例文帳に追加

本発明は、レチクルの電子ビーム描画データの作成において、ＯＰＣパターンの発生に起因する描画データのデータ容量増加、これに伴うデータハンドリング時間の増加、および生産資源に対する負荷の増加を緩和できるパターンデータ作成方法およびレチクルの描画方法を得る。 - 特許庁

A region overlapping the conductive material layer 20 between the interlayer insulating layer 26 and the gate insulating layer 22, and the conductive material layer 20 are irradiated with a laser beam, thereby forming a via hole 28 piercing the interlayer insulating layer 26 and the gate insulating layer 22 but not piercing the conductive material layer 20.例文帳に追加

層間絶縁層２６とゲート絶縁層２２との導電材料層２０にオーバーラップする領域と、導電材料層２０とにレーザ光を照射し、層間絶縁層２６とゲート絶縁層２２とは貫通するが、導電材料層２０は貫通しないビアホール２８を形成する。 - 特許庁

After irradiating an electron ray toward a desired position on a material and forming a mask while passing on the material the gas containing elements used as the materials of the mask, micro-processing is performed to the material so that materials other than the portion covered with the mask may be removed by irradiating an energy beam.例文帳に追加

マスクの原料となる元素を含んだガスを材料上に流しながら、電子線を材料上の所望位置に向かって照射してマスクを形成した後、エネルギービームを照射してマスクで被覆された部分以外の材料部分を取り除くことにより、材料に微細加工を行う。 - 特許庁

The image forming apparatus is equipped with: a rotating irradiation means for radiating a light beam while rotating in order to form the developer image in accordance with input image data; and the rotating holding means for temporarily holding the developer image which has not been transferred to recording material yet while rotating.例文帳に追加

画像形成装置は、入力された画像データに応じた現像剤像を形成するために回転しながら光ビームを照射する回転照射手段と、記録材に対して転写される前の現像剤像を回転しながら一時的に保持する回転保持手段とを備える。 - 特許庁

To adequately form an image corresponding to a pattern on the surface of an object OB to be machined when forming the pattern on the surface of a cylindrical tubular object OB to be machined having a very small diameter by the laser beam machining by using a two-dimensional spatial light modulator.例文帳に追加

直径が非常に小さい円筒パイプ状の加工対象物ＯＢの表面に２次元空間光変調器を用いてレーザ加工による模様を形成する際、前記模様に対応した像が加工対象物ＯＢの表面に適正に形成されるようにする。 - 特許庁

This forming method comprises steps of: anodizing the surface of the valve action metal material having fine pores; cutting the material into a predetermined dimension; and irradiating at least one part of the cut end of the cut material with an energy beam to form an oxide film which has a film thickness of 5 to 200 times thicker than that of the previously formed oxide film.例文帳に追加

微細孔を有する弁作用金属材料の表面が化成処理され、所定寸法に裁断された該材料の裁断部端部の少なくとも一部にエネルギー線を照射し、予め化成処理されていた酸化皮膜の膜厚の５倍〜２００倍の酸化皮膜を形成する。 - 特許庁

To provide an apparatus for forming a vertical port passage for a field, which makes a penetration beam form a penetration mark groove with progress of a traveling machine body, with which an extension member alternately right and left forms vertical port passages open to the field surface by an alternate extension mechanism and alternately right and left and scatteringly forms vertical port passages open to the field surface.例文帳に追加

走行機体の進行に伴い穿入ビームは穿入跡溝を形成することになり、拡張部材は交互拡張機構により地表面に開口する縦口路を左右交互に形成し、地表面に開口する縦口路を左右交互に点在形成することができる。 - 特許庁

The method of an SiOC film comprises (a) a process of forming a silicone polymer film on a substrate, (b) a process of converting the silicone polymer film to the SiOC film by irradiating the silicone polymer film with a high energy beam, and (c) a process of applying dehydration processing to the second film.例文帳に追加

本発明のＳｉＯＣ膜の形成方法は、 （ａ）基体上にシリコーンポリマー膜を形成する工程と、 （ｂ）前記シリコーンポリマー膜に高エネルギー線を照射することによりＳｉＯＣ膜に変える工程と、 （ｃ）前記第２の膜に脱水処理を施す工程と、を含む。 - 特許庁

The film density of an AR coat film 18, formed on at least the laser beam emission end face 16 among coat films formed on the resonator end face of the nitride semiconductor layer element 10, is selected to be 3/4 of the ideal density of a material forming the AR coat film 18 or over.例文帳に追加

窒化物半導体レーザ素子１０の共振器端面に形成されるコート膜のうち、少なくともレーザ光出射端面１６に形成されるＡＲコート膜１８の膜密度を、ＡＲコート膜１８を形成する材料の理想密度の３／４以上とする。 - 特許庁

While a laser spot LS is formed on the surface of a glass substrate 50 by continuously irradiating the surface with the laser beam at a temperature lower than the softening point of the glass substrate 50, a cooled point CP is formed within the laser spot LS, thereby forming the blind crack along the planned scribing line of the glass substrate 50.例文帳に追加

ガラス基板５０の表面に、ガラス基板５０の軟化点よりも低い温度で連続してレーザービームを照射してレーザースポットＬＳを形成しつつ、レーザースポットＬＳの内部に冷却ポイントＣＰを形成することにより、ガラス基板５０のスクライブ予定ラインに沿って、ブラインドクラックを形成する。 - 特許庁

To provide a lap laser beam welding method for a galvanized sheet iron capable of forming a welded part excellent in the appearance and strength of the joint of the welding part, by suppressing the spattering of a molten metal caused by the instantaneous vaporization of zinc in a plating layer.例文帳に追加

亜鉛めっき鋼板の重ね合わせレーザ溶接において、めっき層中の亜鉛の瞬間的な気化による溶融金属のスパッタリングを抑制し、溶接部の外観形状および継手強度に優れた溶接部を形成できる亜鉛めっき鋼板の重ね合わせレーザ溶接方法を提供する。 - 特許庁

The anti-staining surface material is constituted by forming an intermediate layer containing a photopolymerization initiator and a (meth)acrylate on the surface of a base material, curing the same by the irradiation with light, applying a fluorine-containing monomer to the intermediate layer and irradiating the monomer layer with an active energy beam to provide a fluorine-containing polymer film.例文帳に追加

基材表面に光重合開始剤と（メタ）アクリレートとを含有する中間層を形成し、光照射して硬化させ、該中間層上にフッ素含有単量体を塗布し、活性エネルギー線を照射してフッ素含有重合体含被膜を設けてなることを特徴とする。 - 特許庁

This method for manufacture has a Bragg grating forming step for irradiating an optical fiber 1 which gives rise to a photo-induced refractive index change with a UV laser beam 3 via a phase mask 2 and a trimming step for irradiating the optical fiber 1 with the UV laser bean 3 without via the phase mask.例文帳に追加

光誘起屈折率変化を生じる光ファイバー１にフェーズマスク２を介して紫外線レーザー光３を照射するブラッググレーティング形成工程と、光ファイバー１にフェーズマスク２を介さずに紫外レーザー光３を照射するトリミング工程とを有する製造方法。 - 特許庁

To provide a curable resin composition for an optical recording medium that is effective for forming light-transmitting layers by coating and curing a liquid curing resin composition having a small volume shrinkage between before and after the curing in the optical recording medium for recording digital information using laser beam.例文帳に追加

レーザー光を用いてデジタル情報を記録する光記録媒体において、硬化前後での体積収縮の少ない液状硬化性樹脂組成物を塗工、硬化させることにより、光透過性の層を形成する際に有効な光記録媒体用硬化性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To minimize an error caused by differences in the moving directions of galvano mirrors and to minimize an influence caused by the drift of the galvano mirrors in a method of controlling the beam position in the sub-scanning direction of a laser optical system using the galvano mirrors and used for an image forming apparatus or the like.例文帳に追加

画像形成装置等に用いられるガルバノミラーを用いたレーザ光学系の副走査方向のビーム位置調整において、ガルバノミラーの移動方向の差異に基づいて発生する誤差を最小限に抑え、ガルバノミラーのドリフトによる影響を最小限に抑える。 - 特許庁

For example, the sheet 7 including boron is installed on the inner surface of a formwork forming the outer surface 6 of the concrete 5, and then freshly mixed concrete is placed in the formwork, to thereby organize the neutron beam shielding structure 1 by the concrete 5 and the sheet 7 bonded to the outer surface 6 of the concrete 5.例文帳に追加

例えば、コンクリート５の外面６を形成する型枠の内面にボロンを含有したシート７を設置しておいてから型枠内に生コンクリートを打設することによってコンクリート５とコンクリート５の外面６に結合されたシート７とによる中性子線遮蔽構造体１を構築した。 - 特許庁

In manufacturing the magneto-optical recording medium in which an information recording area and a non-recording area are formed alternatively to be adjacent to each other, the laser annealing treatment for forming the non-recording area by changing the magnetic property of the recording medium while irradiating the area with a laser beam and simultaneously defective inspection are conducted.例文帳に追加

情報記録領域と非記録領域が互いに隣接して交互に形成された光磁気記録媒体を製造するに当たり、レーザ光を照射することにより磁気的性質を変質させて非記録領域を形成するためのレーザアニール処理と同時に欠陥検査を行う。 - 特許庁

The material for the organic electroluminescence element having a luminescence center is manufactured, while irradiating a laser beam, by injecting a luminescence center forming compound 3, which constitutes a source, into a target 2, which has at least one function chosen from an electronic carrier function or a hole carrier function.例文帳に追加

レーザー光を照射して、電子輸送機能およびホール輸送機能から選択された少なくとも１つの機能を有するターゲット２に、ソースを構成する発光中心形成化合物３を注入して、発光中心を有する有機エレクトロルミネッセンス素子用材料を製造する。 - 特許庁

This manufacturing method comprises the steps of: continuously forming the surface-plating layer formed from tin or a tin alloy on the surface of a tape of a substrate made from an electroconductive metal, while moving the tape in a longitudinal direction; and heating the tape by irradiating the surface-plating layer with a laser beam while subsequently moving the tape in the longitudinal direction.例文帳に追加

基材である導電性金属からなるテープを長手方向に移動させながらその表面にスズ又はスズ合金からなる表面メッキ層を連続的に形成し、引き続きテープを長手方向に移動させながら表面メッキ層にレーザー光線を照射して加熱する。 - 特許庁

To perform path selection such that the path of CPICH is received surely by maintaining a compact arrangement where each finger of conventional circuitry is provided with a DPCH despreading unit and a CPICH despreading unit even when beam forming defined by 3GPP is applied.例文帳に追加

３ＧＰＰにて規定されるビームフォーミング適用時においても、従来からの一般的な回路構成である各フィンガにＤＰＣＨ逆拡散器とＣＰＩＣＨ逆拡散器とを具備するコンパクトな構成を維持して、ＣＰＩＣＨのパスを確実に受信できるようにパス選択が行えるようにすること。 - 特許庁

The image forming unit 205 is formed by supporting a photoreceptor drum 213, electrostatic charging roller 214, polygon mirror 217, motor rotor 217, scanning lens 215 and printed circuit board 222 between a main body upper case 210 and main body lower case 211 which are separable and packaging a semiconductor laser beam, etc., to the printed circuit board 222.例文帳に追加

作像ユニット２０５は、分離可能な本体上ケース２１０と本体下ケース２１１との間に、感光体ドラム２１３、帯電ローラ２１４、ポリゴンミラー２１７、モータロータ２１７、走査レンズ２１５及びプリント基板２２２を支持し、プリント基板２２２に半導体レーザ等が実装されている。 - 特許庁

The method of manufacturing the thin-film transistor using the crystalline semiconductor film comprises forming the crystalline semiconductor film by irradiating laser beam to a non-monocrystalline semiconductor film while blowing gas including water molecules to the non-monocrystalline semiconductor film.例文帳に追加

本発明に係る結晶性半導体膜を用いた薄膜トランジスタの作製方法は、水分子を含んだガスを非単結晶半導体膜に吹き付けつつ、前記非単結晶半導体膜に対してレーザービームを照射することにより、前記結晶性半導体膜を形成することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a sensing device and a sensing method in a turbo pump driving state in the tendetron accelerator of a semiconductor ion injecting device, which sense the driving state of the turbo pump forming a vacuum state, in the accelerating ion beam of the accelerator for injecting the desired ions on a semiconductor wafer.例文帳に追加

半導体ウェーハ上に所望のイオンを注入させるため、イオンビームを加速させる加速器内部の真空状態を形成するターボポンプの駆動状態を感知する半導体イオン注入装置のテンデトロン加速器内のターボポンプ駆動状態の感知装置及び感知方法を提供する。 - 特許庁

The hearth liner 1 of a vacuum deposition apparatus is used for forming an optical thin film on a substrate by irradiating an evaporant with an electron beam sent from an electron gun, wherein the cross-section of the evaporant holder 2 of the hearth liner 1 has the shape of a shallow semicircle (hemisphere) (bowl).例文帳に追加

電子銃から電子ビームを蒸着材料に照射して基板に光学薄膜を形成する真空蒸着装置のハースライナー１において、該ハースライナー１の蒸着材料収納部２の断面形状が、浅い半円形（球）状（おわん状）であることを特徴とする。 - 特許庁

The color cathode-ray tube is formed by welding a flat mask 3 on which an electron beam transmitting hole is formed in a prescribed position to a first support member, and a flat elastic portion 6 having a spring property is formed by forming a plurality of holes in a part of the flat mask 3.例文帳に追加

所定の位置に電子ビーム透過孔を形成した平板マスク３が第１の支持部材に溶接接合されてカラー陰極線管が形成され、平板マスク３の一部に複数個の孔を形成することによりバネ性を持たせた平板弾性部６を形成する。 - 特許庁

To provide an active energy beam-curable composition capable of forming an anti-fogging coated film bonding well with the surface of a formed article made from an acrylic film, acrylic sheet or the like, and also capable of maintaining its initial bonding property even on being left under a high temperature environment for a long period.例文帳に追加

アクリルフイルム或いはアクリルシート等のアクリル樹脂製の成形体の表面に良好に接着する防曇性の塗膜を形成でき、且つ高温環境下に長期間放置された場合であっても、初期の接着性を維持することができる活性エネルギー線硬化性組成物を提供する。 - 特許庁

A method for manufacturing a spark plug 100 includes a laser welding step for forming unit welding parts 135n1 to 135n10 corresponding to respective laser pulses N1 to N10 by arranging an electrode chip 133 on an electrode base material 131 and irradiating it with a pulsed laser beam LS.例文帳に追加

スパークプラグ１００の製造方法は、電極チップ１３３を電極母材１３１に配置し、これにパルス状のレーザ光ＬＳを照射することにより、各レーザパルスＮ１〜Ｎ１０に対応した単位溶接部１３５ｎ１〜１３５ｎ１０を順次形成するレーザ溶接工程を備える。 - 特許庁

To provide a laser scanning device capable of restraining the excessive irradiation of a photoreceptor drum with a laser beam, preventing the deterioration of the photoreceptor drum and prolonging the life of a laser with a smile constitution, and an image forming device using the laser scanning device and a method for starting up the laser scanning device.例文帳に追加

簡単な構成で、感光体ドラムへの必要以上のレーザ光の照射を抑え、感光体ドラムの劣化を防止し、およびレーザの寿命を延ばすことのできるレーザ走査装置、このレーザ走査装置を用いた画像形成装置およびレーザ走査装置の立上げ方法を提供する - 特許庁

The color image forming apparatus is constituted so that an angle at which a light beam L radiated from a writing unit 4 is made incident on the photoreceptor drum 3 may be 3 to 15° to a perpendicular direction and the height in the perpendicular direction of both ends of the shaft 3a of the photoreceptor drum 3 can be optionally increased/decreased.例文帳に追加

書込ユニット４から照射される光ビームＬの感光体ドラム３に入射する角度が垂直方向に対し３〜１５°の角度をなし、感光体ドラム３の軸３ａの両端部の垂直方向の高さを任意に増減できるように構成する。 - 特許庁

A module is composed forming a light path in which the beam made to exit from the fiber collimator passes through the 1st windows and is sequentially reflected by the 2nd mirrors and the 1st mirrors, and is made to exit outside through the 2nd windows, and a multi-channel optical switch is composed by facing two pieces of the modules to each other.例文帳に追加

ファイバーコリメータから射出されたビームが第１の窓を通過し、第２のミラー、第１のミラーの順に反射して、第２の窓を通過して外部に射出される光路を形成するモジュールを構成し、本モジュールを２つ対向させて多チャンネルの光スイッチを構成する。 - 特許庁

The device part 30 includes a support part 41, a conductive pendulum 42 making rectangular shape, a beam part 43 for supporting the pendulum 42 on the support part 41 displaceably in its plate face direction, and detection electrodes 44, 45 for forming the electrostatic capacity with the side face of the pendulum 42.例文帳に追加

デバイス部３０は支持部４１と、矩形板状をなす導電性の振り子４２と、振り子４２をその板面方向に変位可能に支持部４１に支持する梁部４３と、振り子４２の側面との間で静電容量を形成する検出用電極４４，４５を具備する。 - 特許庁

The light distribution pattern for the high beam is formed, by condensing the light from the LED 35 to the spot near the rear-focal point F of the projector 31, on the condition that the leading end edge 39a of the cutoff line forming member 39 be set relatively remote from the rear focal point F of the projector lens 31.例文帳に追加

カットオフライン形成部材３９の先端縁３９ａと投影レンズ３１の後方側焦点Ｆとを相対的に離した状態で、ＬＥＤ３５からの光を投影レンズ３１の後方側焦点Ｆ近傍に集光させることにより、ハイビーム用配光パターンを形成する。 - 特許庁

To provide a chemically amplified positive radiation-sensitive resin composition that is superior in roughness, etching resistance, sensitivity and resolution, capable of stably forming a fine pattern with high accuracy, and suitable for use as a resin composition for EB or EUV, effectively sensitive to an electron beam or extreme-ultraviolet radiation.例文帳に追加

ラフネス、エッチング耐性、感度、解像度に優れ、微細パターンを高精度にかつ安定して形成することができ、電子線または極紫外線に有効に感応するＥＢ、ＥＵＶ用として好適な化学増幅型ポジ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

The electrifying roller 1 is equipped with a shaft 2, an elastic layer 3 formed on the circumference of the shaft 2, and at least one resin covering layer 4 formed on the circumferential surface of the elastic layer 3 and containing electron beam curing type resin, and the image forming apparatus is equipped with the electrifying roller 1.例文帳に追加

シャフト２と、該シャフト２の外周に形成された弾性層３と、該弾性層３の外周面に形成された少なくとも一層の電子線硬化型樹脂を含む樹脂被覆層４とを備えることを特徴とする帯電ローラ１、並びに、該帯電ローラ１を備えた画像形成装置である。 - 特許庁

A laser beam 4 is irradiated to the joining parts 3 of the ends of web materials while pushing the ends of the web materials 2 against flange materials 1 when manufacturing the welded section steel by forming the T-shaped joint parts by vertically pushing the ends of web materials 2 against the flange materials 1 both of which comprise a steel sheet through a laser welding.例文帳に追加

いずれも鋼板からなるフランジ材１にウェブ材２の端部を垂直に押し当てたＴ字状継手部をレーザー溶接して溶接形鋼を製造する際、ウェブ材２の端部をフランジ材１に押圧しつつ、ウェブ材端部の接合部３にレーザー光４を照射する。 - 特許庁

In the case of forming a space area shorter than the diameter X2 of the beam spot 30, an assist pulse is applied to the rear end of the space area to be formed, but an assist pulse is made longer as a space area to be formed is longer.例文帳に追加

ビームスポット３０の半径Ｘ１よりも長く、ビームスポット３０の直径Ｘ２よりも短いスペース領域を形成する場合には、形成すべきスペース領域の後端部にアシストパルスを印加するが、形成すべきスペース領域の長さが長くなるほどアシストパルスの長さを長くする。 - 特許庁

The laser peening apparatus comprises a liquid holding head 1 for forming and holding the liquid R for enclosing the plasma on the local surface of a workpiece W, and a laser radiating head 2 for irradiating the surface of the workpiece W with a laser beam via the liquid held by the liquid holding head 1.例文帳に追加

本発明のレーザピーニング装置は、被加工物Ｗの局所の表面上にプラズマを閉じ込める液体Ｒを形成保持する液体保持ヘッド１と、液体保持ヘッド１に保持された液体を介して被加工物Ｗの表面にレーザを照射するレーザ照射ヘッド２とを備える。 - 特許庁

This image display device has a configuration in which three colors of RGB are respectively emitted from different light sources and expandingly projects, by an image forming means, a beam that simultaneously illuminates almost the entire display area of a transmission type or reflection type image displaying means with the respective light sources.例文帳に追加

ＲＧＢの３色がそれぞれ別々の光源から発光される構成を有し、該それぞれの光源によって透過型、または反射型の画像表示手段の略全表示域を同時に照明した光束を、結像手段で拡大投射するように構成する。 - 特許庁

This stereomicroscope forming at least three parallactic images is equipped with synthesizing means 4a, 4b, 5a and 5b synthesizing at least two beams out of the beams of the respective images to be one and separation means 7a, 7b, 8a and 8b separating the beam of the image synthesized by the synthesizing means 4a, 4b, 5a and 5b again.例文帳に追加

少なくとも３つの視差のある像を作る実体顕微鏡において、前記各像の光束のうちの少なくとも２つの光束を１つに合成する合成手段４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂと、合成手段４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂにより合成された像の光束を再度分離する分離手段７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂとを備えている。 - 特許庁

By hot forming, the semi-formed short size steel tube 2 protruding toward the outside is formed so as to be protruded toward the inside in a protruding shape, i.e., shifting toward the inside by a plate thickness, the steel tube column having a desired outside dimension over a whole length and a thick plate thickness at the beam joining position is manufactured.例文帳に追加

熱間成形により、外側に凸状の半成形短尺鋼管２を内側に凸状となるように入り込み状、すなわち板圧分だけ内側に寄せて成形でき、全長に亘って所望の外寸であり、梁材連結位置が厚い板厚の鋼管柱を製造できる。 - 特許庁

A transparent cured substance layer of an active energy beam curable composition having ≥50% transmittance at 365 nm wavelength is formed as the film surface protecting layer for emulsion layer on the surface of an original plate of a photomask obtained by forming an emulsion layer on the surface of a substrate.例文帳に追加

基板の表面に乳剤層の膜面を形成してなるフォトマスク原版の表面に、該乳剤層の膜面の保護層として波長３６５ｎｍにおける透過率が５０％以上である活性エネルギ線硬化性組成物の透明硬化物層を積層形成する。 - 特許庁

In this connecting structure of the wooden beam 2 and the wooden column 3 for forming a rigid-frame structure, a cutout 3b is arranged in both end parts in the long side direction of an end surface in the lower end of the column 3, and two screw members 11 are screwed in in the axial direction of the column from this cutout.例文帳に追加

ラーメン架構体を形成する木製梁２と木製柱３との接続構造において、柱３の下端における端面の長辺方向の両端部に切り欠き３ｂを設け、この切り欠きから柱の軸線方向に２本のスクリュー部材１１をねじ込む。 - 特許庁

This significantly reduces the reflection of the i-beam radiated at exposure on the substrate backside 10b, and hence an electrode pattern 20 having a high size accuracy is formed without forming an antireflective film on the substrate surface 10a at the exposure side of the substrate 10.例文帳に追加

それにより、露光時に照射されるｉ線の基板裏面１０ｂにおける反射が有意に抑制されるため、基板１０によって露光される側の基板面１０ａに反射防止膜を成膜することなく、高い寸法精度を有する電極パターン２０を形成することができる。 - 特許庁