「Outside-In」に関連した英語例文の一覧と使い方(735ページ目) - Weblio英語例文検索

A light quantity detection part 23 detects the quantity of light transmitted to the outside of an optical path between the light tunnel 14 and the light valve 20 in the optical path, and a light quantity adjusting part 24 adjusts the quantity of the light projected to a screen on the basis of the quantity of the light detected by the light quantity detection part 23.例文帳に追加

光量検出部２３はライトトンネル１４とライトバルブ２０との間の光路でその光路外に透過した光の光量を検出し、光量調整部２４は光量検出部２３で検出された光量に基づきスクリーンに投光する光の光量を調整する。 - 特許庁

A drain receptacle 20 is installed at the bottom of the case 4 of the air-conditioner unit 4 in such a way as confronting the lower part of the evaporator 5 and is extended to under the accommodation chamber S2 so that the condensate having intruded into the chamber S2 is drained to outside the cabin quickly.例文帳に追加

空調ユニット２のケース４の底部に、主にエバポレータ５の下方に臨むようにドレン受け部２０を設けるとともに、このドレン受け部２０をヒータコア６の収容室Ｓ２の下方まで延出させて、該収容室Ｓ２に侵入した凝縮水を速やかに車室外に排出させる。 - 特許庁

When the booster 80 is operated, pump action is executed, as well, in a second chamber 84 to suck air via a second inlet-side check valve 91; and the tracer gas leaked to a second chamber 84 is discharged to the outside through a second outlet-side check valve 93 and an exhaust circuit 94.例文帳に追加

昇圧器８０の動作時に、第２室８４でもポンプ作用が実行され、第２入側逆止弁９１を介して空気が吸引され、第２室８４へ漏れたトレーサーガスが第２出側逆止弁９３および排気回路９４を介して屋外へと排出される。 - 特許庁

If a first control valve 28 for controlling communication state of the fuel tank 10 with the outside fails, a control mode of a second control valve 29 which is disposed in parallel with the first control valve 28 is switched from a normal control mode to a control mode corresponding to the failure of the first control valve 28.例文帳に追加

燃料タンク１０と外部との連通状態を制御する第１制御弁２８が故障した場合、第１制御弁２８に並列に設けられた第２制御弁２９の制御モードを、通常の制御モードから第１制御弁２８の故障に対応した制御モードに切り換える。 - 特許庁

To provide a heat accumulating board capable of gradually radiating the previously accumulated heat to keep comfortable temperature for a long time against a large temperature change of the outside by using a board formed by coating or mixing a latent heat storage material in a solid medium as a wall, a ceiling and a floor material of a dwelling house.例文帳に追加

潜熱蓄熱材を固形媒体中に塗工または練り込んだボードを住宅の壁、天井、床材として用いることにより外部の大きな温度変化に対しても、予め蓄熱した熱を徐々に放熱して快適な温度が長時間維持可能な蓄熱性ボードを提供する。 - 特許庁

In the developing roller having a shaft core, at least one elastic layer formed on the peripheral face of the shaft core, and a surface layer formed on the outside of the elastic layer, the material constituting a surface layer satisfies the relationship of 0.1≤log(E'' (0) /E'' (60))≤1.5.例文帳に追加

軸芯体と、軸芯体の外周面に形成された少なくとも１層の弾性体層と、その外側に形成された表面層とを有する現像ローラにおいて、表面層を構成する材料が、０．１ ≦ ｌｏｇ（ Ｅ’’（０） ／ Ｅ’’（６０） ） ≦ １．５の関係を満たすことを特徴とする現像ローラ。 - 特許庁

At least a part of the insulation coat of an internal wall part in the vicinity of an aperture of a metal cover insulation coated on the surface is removed and static electricity entering from the outside is guided to the portion of the metal exposed by removing, and by making it work like a lightning rod, static electricity is prevented from entering into the device.例文帳に追加

表面が絶縁コートされた金属カバーの開口付近の内壁部を少なくとも一部絶縁コートを除去し、その除去した金属が露呈した部分へ、外部から侵入する静電気を誘導し、避雷針の役目をさせることで、装置内部部への静電気の進入を防止する。 - 特許庁

The bolt is provided which has a strain gauge in its axial part, and is integrated with an antenna and an RFID tag with a strain detector circuit mounted thereon, and which uses an RFID technique for transferring information on the axial force detected by the strain gauge to a reader/writer outside the bolt.例文帳に追加

ひずみゲージをボルト軸部に内蔵し、ひずみ検出回路を搭載したＲＦＩＤタグ及びアンテナをボルトと一体化し、ひずみゲージで検知した軸力の情報をボルト外部のリーダーライターへ転送するＲＦＩＤ技術を使用することを特徴とするボルト、を提供する。 - 特許庁

Meanwhile, the irradiation of the laser light L is turned off when the focusing point is located in the beveled part 4x when forming the refined region 7b at the nearest side of the surface 3, and when the focusing point is located inside the beveled part 4x and located outside the external edge 16e of a laminated part 16.例文帳に追加

一方、最も表面３側の改質領域７ｂを形成する場合、集光点がベベル部４ｘに位置するとき、及び、集光点がベベル部４ｘよりも内側であって積層部１６の外縁１６ｅよりも外側に位置するとき、レーザ光Ｌの照射をＯＦＦとする。 - 特許庁

After the digestion sludge from an anaerobic digestion tank 1 is drawn and heated to ≥60°C in a sludge solubilizing tank 3 to preferentially solubilize the organic component, the sludge is subjected to solid liquid separation to obtain separated sludge with an increased proportion of the inorganic component, which is then discharged as an excess sludge to the outside of the system.例文帳に追加

嫌気性消化槽１からの消化汚泥を引き抜いて汚泥可溶化槽３で６０℃以上の温度に加熱処理して有機成分を優先的に可溶化した後固液分離し、無機成分の比率を高めた分離汚泥を余剰汚泥として系外へ排出する。 - 特許庁

To provide a fault monitor system capable of remotely monitoring the occurrence of a fault in real time even outside the area and speedily dealing with it.例文帳に追加

従来の送電線監視システムは、通信網のエリア外では利用できず不便であるという問題点があり、エリア外であっても障害発生をリアルタイムで遠隔監視でき、迅速に対処できる障害監視システム及び送電線障害監視システム及びガス障害監視システムを提供する。 - 特許庁

As a resistance applying part for applying resistance to a fluid moving between the inside and outside of the damping pressure chamber with the interval volume change in the damping pressure chamber 61, a gap 66 is provided between a small-diameter part 63 of the poppet valve 42 and an annular projecting part 65 of the valve housing 40 side.例文帳に追加

さらに、ダンピング圧力室61での内部容積変化に伴なってダンピング圧力室の内外間を移動する流体に対し抵抗を付与する抵抗付与部として、ポペット弁42の小径部63とバルブハウジング40側の環状の突起部65との間に隙間66を設ける。 - 特許庁

When an internal combustion engine runs at high load, a spark discharge occurs in spark discharge gaps (an aerial discharge gap A, an outer creeping discharge gap B and an inner creeping discharge gap C) formed between the ground electrode 30 and the center electrode 20 to ignite an air-fuel mixture outside the cavity 60.例文帳に追加

内燃機関の高負荷運転時には、接地電極３０と中心電極２０との間の火花放電間隙（気中放電間隙Ａ、外側沿面放電間隙Ｂ、内側沿面放電間隙Ｃ）にて火花放電を行い、キャビティ６０外で混合気に着火することができる。 - 特許庁

To improve external appearance by exposing no main parts of pipes for discharging a stored powder/grain material to the outside so that the main parts are hidden by a sub-frame on a chassis frame, to reduce damage of the pipe, and to easily wash a vehicle, in a powder/grain material carriage.例文帳に追加

粉粒体運搬車において、収容粉粒体を排出するための配管の主たる部分がシャシフレーム上のサブフレームにより隠蔽されていて外部に露出することがなく、外観上の体裁をよくすると共に配管の汚損を低減でき、洗車も容易になる。 - 特許庁

The oil supply unit 10 comprises a tank 21 storing the lubricating oil, pumps 22 sucking the lubricating oil in the tank 21 and discharging it to the outside, lubricating oil discharge nozzles 23 installed at the discharge ports of the pumps 22 and having the openings facing the insides of the rolling bearings 6, and a drive part 24 driving the pumps 22.例文帳に追加

給油ユニット10は、潤滑油を貯留するタンク21、タンク21内の潤滑油を吸引して吐出するポンプ22、ポンプ22の吐出口に設けられて転がり軸受6内部に開口が臨まされている潤滑油吐出ノズル23、およびポンプ22を駆動する駆動部24を有している。 - 特許庁

In order to release the insertion-coupling state, the first connector 10 is pressed into the second connector 20 to keep the first tapered face 142 and the second tapered face 242 well away from each other, and the lock arm 130 is operated at that state to move the protruded part 140 outside the lock hole 240.例文帳に追加

嵌合状態を解除するためには、第１コネクタ１０を第２コネクタ２０内に押し込むことにより、第１テーパ面１４２及び第２テーパ面２４２を十分に遠ざけ、その状態でロックアーム１３０を操作して、突起部１４０をロック孔２４０の外へ移動させる。 - 特許庁

In the premise 11, as premise surrounding sensors 21A and 21B, a front sensor 21A detecting a front area Lv3 including a premise entrance 16 and a side sensor 21B detecting a side area Lv4 including a parking entrance 15 and an outside ditch 17 are provided.例文帳に追加

敷地１１には、敷地外周センサ２１Ａ，２１Ｂとして、敷地出入口１６を含む正面エリアＬｖ３を検出エリアとする正面センサ２１Ａと、駐車出入口１５及び外構１７を含む側方エリアＬｖ４を検出エリアとする側方センサ２１Ｂとが設けられている。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a pneumatic tire constituted so as not to form a blister at the time of vulcanization molding even in a case that a cylindrical thermoplastic resin film is used as an air impermeable layer and a rubber sheet material with a thickness of 0.5 mm or above is used to be laminated on the outside of the thermoplastic resin film.例文帳に追加

空気透過防止層として円筒状の熱可塑性樹脂フィルムを使用し、その外側に積層するゴムシート材として厚さ０．５ｍｍ以上のものを使用する場合でも、加硫成形時にブリスターの発生しないようにした空気入りタイヤの製造方法を提供する。 - 特許庁

The contact probe of the socket for the electronic parts such as an IC socket is provided with a cylinder having an electrical connection, a plunger having the electrical connection which can reciprocate in the cylinder, and a coil spring which is arranged outside along the cylinder and the plunger and compressed when equipped to the IC socket.例文帳に追加

電子部品用ソケット、例えば、ＩＣソケットのコンタクトプローブは、電気的接続部を有するシリンダと、電気的接続部を有し、前記シリンダ内を往復動可能なプランジャと、前記シリンダ及び前記プランジャに沿って外側に配置され、ＩＣソケットに設置されたとき圧縮されるコイルバネとを備える。 - 特許庁

To realize structure which can enhance rigidity of moment by making the pitch circle diameter of an outside train larger than that of an inside train and furthermore can fully assure rolling fatigue life of a plurality of outer ring tracks 13a, 13b provided in the inner peripheral surface of an outer ring 3a.例文帳に追加

外側列のピッチ円直径を内側列のピッチ円直径よりも大きくして、モーメント剛性を向上させる事ができ、しかも外輪３ａの内周面に設けた複列の外輪軌道１３ａ、１３ｂの転がり疲れ寿命を十分に確保できる構造を実現する。 - 特許庁

In the door 9, an impact-absorbing member 22 mounted to be pushed out to an inner side of the vehicle at a portion opposed to a seat sitting occupant at side surface collision is stored, and a plate member 9c for covering the impact-absorbing member 22 from the outside of the vehicle is provided.例文帳に追加

ドア９内には、側面衝突時に座席着座乗員に対面する部位において車内側に押し出されるように取り付けられた衝撃吸収部材２２が収容されると共に、衝撃吸収部材２２車外側から覆うプレート部材９ｃが設けられる。 - 特許庁

As for the camera, a part of DX terminals (10) is set so that it may be switched to an input terminal or an output terminal, and in an external communication mode, a strobe timing signal is outputted outside after setting the part of the DX terminals (10) as the output terminal.例文帳に追加

ＤＸ端子（１０）の一部を入力端子または出力端子として切換え設定可能とし、外部通信モードにおいては、上記一部のＤＸ端子（１０）を出力端子に設定した上で、ストロボタイミング信号を外部出力するようにしたことを特徴としたカメラ。 - 特許庁

To provide a plasma CVD device capable of preventing deposition of a deposition precursor of a raw gas which is dissociated and formed in plasma on high frequency application electrodes, reducing the quantity of the deposition precursor to be exhausted outside as much as possible, and improving the productivity of the film deposition together with the effective use of the raw gas.例文帳に追加

プラズマ中に解離して形成された原料ガスの堆積前駆体が高周波印加電極に堆積したり、外部に排気される量を極力少なくし、原料ガスの有効利用と共に成膜処理の生産性を向上し得るプラズマＣＶＤ装置を提供する。 - 特許庁

In the center land part 5, a plurality of curved inclined grooves 8 are arranged which extend obliquely toward the vehicle inner side passing over the tire equator from an outer end 8a opened at the outer crown vertical groove 3o, thereafter change the direction toward the vehicle outside, and extend obliquely until an inner end 8b inside the center land part 5.例文帳に追加

センター陸部５には、外のクラウン縦溝３ｏで開口する外側端８ａからタイヤ赤道を越えて車両内側に斜めにのびた後、車両外側に向き変えし前記センター陸部５内の内側端８ｂまで斜めにのびる複数本の湾曲傾斜溝８が配される。 - 特許庁

As a result, when a semiconductor element is die-bonded to a surface of a die-bonding part 12, adhesives crushed by the semiconductor element are squeezed to the outside of the semiconductor element into or pass through the groove 13, and a layer of the adhesives in a clearance between the die bond part 12 and the semiconductor element is formed extremely thin.例文帳に追加

その結果、ダイボンド部１２の表面に半導体素子をダイボンドする際に、半導体素子で押し潰された接着剤は溝１３内あるいは溝１３を通って半導体素子の外に押し出され、ダイボンド部１２と半導体素子との隙間の接着材の層は極薄く形成される。 - 特許庁

The clock-style time chart is configured in such a way that: a time table is converted into a clock-type display style; time blocks of weekday column going around the outside and time blocks of holiday column inscribed the inside are formed; and positions of the time blocks are freely moved and displayed on a liquid crystal screen.例文帳に追加

時刻表を、時計型の表示スタイルに変換し、外側を外周する平日欄の時刻ブロックと、内側に内接する休日欄の時刻ブロックを作り、時間ブロックの位置を自由に移動させて、液晶画面に表示する形態を特徴とした時計スタイルの時刻図表である。 - 特許庁

At least an outermost circumferential portion outside a seal 7 portion of the metal thin film 51, arranged on a picture frame A2 of a glass substrate 50, lacks the metal thin film, and a lamination 52' formed simultaneously with formation of coloring pixels is formed on the lacking portion by using a material used in forming the coloring pixels.例文帳に追加

ガラス基板５０の額縁Ａ２に設けられる金属薄膜５１の、少なくともシール７部外側の最外周部は、金属薄膜が欠落しており、欠落部に着色画素の形成に用いた材料を用い、着色画素の形成と同時に形成された積層５２’が形成されている。 - 特許庁

Firstly, a central push-up member having a plane at the upper end and arranged in the center, at least one annular push-up member having a plane at the upper end and arranged on the outside of the central push-up member, and a drive means for moving each push-up member up and down individually.例文帳に追加

第１に、上端に平面を有し中央に配置される中央突き上げ部材と、該中央突き上げ部材の外側に配置され、上端に平面を有する少なくとも一つのの環状突き上げ部材と、各突き上げ部材を個別に上下動させる駆動手段とを設ける。 - 特許庁

The device includes a plurality of storage elements (11), a valve (60) fitted to each storage element for exhausting gas generated in the storage element, drain pipes (70) connected to the plurality of valves for guiding gas exhausted from each valve toward outside the storage device, and a gas sensor (80) for detecting gas.例文帳に追加

複数の蓄電素子（１１）と、各蓄電素子に設けられ、蓄電素子内で発生したガスを排出させるための弁（６０）と、複数の弁に接続され、各弁から排出されるガスを蓄電装置の外部に導くための排気管（７０）と、ガスを検出するためのガスセンサ（８０）と、を有する。 - 特許庁

Since the heat sink 23 radiates the heat to an outside to be dispersed, when a temperature of the base plate 4 is elevated by the heat of the heating element 20, the heat of the heating element 20 is not conducted substantially to the ambient temperature detecting means 22 to prevent temperature rise in the ambient temperature detecting means 22.例文帳に追加

ヒートシンク２３は、発熱体２０の熱によって基板４が温度上昇すると、その熱を外部に放熱して消散させるため、周囲温度検出手段２２には発熱体２０の熱が殆ど伝わらず、周囲温度検出手段２２の温度上昇を防止する。 - 特許庁

Since the cleaning nozzle 7 is constituted of a structure to surround the outside of a gas introducing pipe 15b with a supply pipe 15a, the contact area of inside surface of the cleaning nozzle 7 with a gas G in the mixing part 29 is reduced to more suppress the generation of the particle dust.例文帳に追加

さらに洗浄ノズル７は、ガス導入管１５ｂの外側を、供給管１５ａが取り囲む構造で構成されているので、混合部２９で気体Ｇと洗浄ノズル７の内壁面との接触部分が低減されて、パーティクルの発塵の抑制をより一層図ることができる。 - 特許庁

The high resistance layer contacts the p-type semiconductor layer and covers the p-side electrode on the first main surface, includes a portion overlapping with the n-side electrode outside the p-side electrode in a planar view, and is formed of metal having a higher contact resistance to the p-type semiconductor layer than to the p-side electrode.例文帳に追加

高抵抗層は、第１主面上でｐ型半導体層に接しｐ側電極を覆い、平面視においてｐ側電極の外側でｎ側電極と重なる部分を有し、ｐ型半導体層との接触抵抗がｐ側電極よりも高く金属である。 - 特許庁

The desired data range 44a for the map data of rough information and the map data of detailed information are specified; only the map data 44a of the detailed information in the specified data range is acquired from outside; and the acquired map data 44a of the detailed information is transmitted to an electronic camera.例文帳に追加

概略情報の地図データおよび詳細情報の地図データについて所望のデータ範囲４４ａを指定し、指定されたデータ範囲における詳細情報の地図データ４４ａのみを外部から取得し、取得された詳細情報の地図データ４４ａを電子カメラに送信するようにした。 - 特許庁

A voltage adjusting circuit 11 adjusts a voltage which is higher between a power supply voltage (Vin) to be supplied from the outside and a charging voltage (C2 voltage) to be charged in a capacitor C2 by the power supply voltage (Vin) to an operating voltage to be supplied to a flash memory system, and outputs it.例文帳に追加

電圧調整回路１１は、外部から供給される電源電圧（Ｖｉｎ）とこの電源電圧（Ｖｉｎ）によってコンデンサＣ２に充電される充電電圧（Ｃ２電圧）のいずれか高い方の電圧をフラッシュメモリシステムに供給する動作電圧に調整して出力する。 - 特許庁

This outboard engine is provided with an oil pan 56 in which a lubricating oil to lubricate an engine is stored, a cooling water pump 27 to pump water outside the outboard engine and allow the water to flows into the engine to cool it, and an outer circumferential jacket 56k to be formed along a circumferential wall of the oil pan.例文帳に追加

船外機は、エンジン（１６）を潤滑する潤滑オイルが溜まっているオイルパン（５６）と、船外機外の水を汲み上げてエンジンに流入させて冷却している冷却水ポンプ（２７）と、オイルパンの周壁に沿って形成されている外周ジャケット（５６ｋ）とを備えている。 - 特許庁

When a FAX signal is detected from a reception input signal IN1 or an addition signal IN2' by FAX signal detection parts 21, 22, frequencies in frequency bands of a transmission signal and a reception signal outside a frequency band of the FAX signal are cut by LPFs 26, 27.例文帳に追加

ＦＡＸ信号検出部２１，２２により、受話入力信号ＩＮ１や加算信号ＩＮ２’からＦＡＸ信号が検出されると、ＦＡＸ信号の周波数帯域外における送話信号及び受話信号の周波数帯域内における周波数がＬＰＦ２６，２７によりカットされる。 - 特許庁

To obtain a thermoplastic resin composition excellent in rigidity, dimensional accuracy, mechanical properties, flame retardancy and antistaticity and also suitable for chassis tending to be not affected by vibrations attributable to various drive parts and those from the outside of a relevant system, and to provide a chassis molding obtained by the resin composition.例文帳に追加

剛性、寸法精度、機械的特性、難燃性、帯電防止性に優れ、更に各種駆動部品により生ずる振動や装置外部から侵入する振動の影響を受けにくいシャーシ用に好適な熱可塑性樹脂組成物、およびその樹脂組成物より得られたシャーシ成形品を提供する。 - 特許庁

The skirt long size material 4 is an extruded material of a double skin structure of joining an outside face plate 4a and an inside face plate 4b by a web, and integrally formed with an upper side horizontal extension 4f extending to the vehicle body inner side from a body 4e extending in the vertical direction.例文帳に追加

裾部長尺材４は、外側面板部４ａと内側面板部４ｂとがウエブにて結合されるダブルスキン構造の押し出し形材で、鉛直方向に延びる本体部分４ｅから車体内方側に延びる上側水平延長部分４ｆが一体的に形成されている。 - 特許庁

To provide a faucet device preventing the wetting of a sleeve and the spattering of discharge water to the outside of a sink from occurring by automatically discharging water when necessary without discharge/stop operations by the user when the pull-out operation and storage operation of a discharge part are performed in a pull-out faucet.例文帳に追加

プルアウト水栓において、吐水部の引出動作および収納動作において、使用者が吐止水操作をしなくても、必要なときに自動的に吐止水が行われ、袖濡れやシンク外等への吐水の飛び散りを防止することができる水栓装置を提供する。 - 特許庁

To provide a separation feeding device capable of securely preventing occurrence of double feeding due to difference in outside diameter dimension of a paper feeding roller and each guide roller and feeding paper satisfactorily and continuously at low cost with high durability and to provide a paper feeding device and an image forming device using it.例文帳に追加

給紙ローラと各ガイドローラとの外径寸法差に起因する重送の発生を確実に防止できると共に、低コストかつ高耐久で良好な給紙を継続的に行うことが可能な分離給送装置及びこれを用いた給紙装置及び画像形成装置を提供する。 - 特許庁

The flash memory system comprises a sector determination circuit 13 which detects a sector of unwritten status out of a plurality of sectors (0)-(3) when receiving a write command from a microprocessor 1, and writes data received from the outside in an unwritten status sector when the sector determination circuit 13 detects the sector of unwritten status.例文帳に追加

マイクロプロセッサ１から書込コマンドを受信すると、複数のセクタ（０）〜（３）の中から未書込状態のセクタを検出するセクタ判定回路１３を設け、そのセクタ判定回路１３が未書込状態のセクタを検出すると、外部から受信したデータを当該セクタに書き込むようにする。 - 特許庁

This deodorization apparatus is provided with: a vaporizer unit 2 for vaporizing liquid containing an emzyme; a mixer unit 3 for mixing the vaporized gas containing the enzyme with malodor gas introduced from the outside; and a stabilizer unit 4 through which the mixed gas is passed to promote the decomposition of malodor components in the malodor gas.例文帳に追加

この脱臭装置は、酵素を含む液体を気化する気化部２と、気化され酵素を含む気化物と外部から導入された臭気ガスとを混合する混合部３と、混合された混合物が通過し臭気ガス中の臭気成分の分解を促進させる安定部４と、を備える。 - 特許庁

A binary error spread processing section 3 regards pixels at the outside of the valid gradation range as the upper limit or the lower limit and applies binary error spread processing to the received image data by using a prescribed value of the setting within the valid gradation range (e.g. a median in the valid gradation range) for a criterion.例文帳に追加

２値誤差拡散処理部３では，上記有効階調範囲を外れる画素はその値を上記上限値若しくは下限値と見做し，上記有効階調範囲内で設定の所定値（例えば上記有効階調範囲の中央値）を判定基準として２値誤差拡散処理を行う。 - 特許庁

A steam providing means 33 for providing steam having a required pressure is provided in a reactor of the natural circulation type BWR 1, and steam is supplied to a domain outside a shroud 8 inside the reactor and over the water surface 29, to thereby pressurize the reactor 1 primarily at the start time.例文帳に追加

自然循環型ＢＷＲ１の原子炉内に所要圧力の蒸気を供給する蒸気供給手段３３を備え、蒸気を原子炉内部のシュラウド８の外側で且つ水面２９より上方の領域に供給することにより、原子炉１を起動器に初期加圧する。 - 特許庁

To provide a microwave plasma processing method wherein leakage prevention structure is installed on the whole periphery of an outer peripheral part of a plasma head, in order to prevent microwave from leaking from a gap between the plasma head and a substrate to be treated to the outside of the equipment, and to provide microwave plasma processing equipment and its plasma head.例文帳に追加

プラズマヘッドと被処理基板との隙間から装置外へマイクロ波が漏洩しないようにプラズマヘッドの外周縁部にその全周にわたって漏洩防止構造体を設けたマイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッドを提供することを目的としている。 - 特許庁