「PROCESS CONDITIONS」に関連した英語例文の一覧と使い方(21ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a polycrystalline semiconductor film check method and a device capable of forwarding only a substrate where a polycrystalline semiconductor film of normal quality is formed to an after process in a TFT manufacturing process and a device of manufacturing TFTs, by a method wherein the surface conditions of the semiconductor film are checked through a non- destructive manner.例文帳に追加

短時間のうちに非破壊で半導体膜の表面状態を検査することにより、ＴＦＴの製造工程などにおいて、正常な膜質の多結晶性半導体膜を形成した基板のみを後工程に回すことのできる多結晶半導体膜の検査方法、ＴＦＴの製造方法、および多結晶性半導体膜の検査装置を提供すること。 - 特許庁

This contract automatic design program is set with a contract design process for accessing article text data set with a plurality of article texts with different contract conditions wherein stepwise contract strength is set to one or more articles among a plurality of articles recorded in the contract, and extracting the article text from the article text data on the basis of prescribed extraction conditions to design the contract.例文帳に追加

契約書自動設計プログラムとして、契約書に記載する複数条項の内の１以上の各条項に対して、段階的な契約強度が設定されて契約条件が異なる複数の条項文を設定した条項文データにアクセスし、所定の抽出条件に基づいて前記条項文データから条項文を抽出して契約書を設計する契約書設計処理を設定した。 - 特許庁

To provide a method for producing sterol fatty acid esters from a deodorized scum oil at a low cost, and to provide raw material-treating conditions, synthesis reaction conditions, and the further purification process, whereby the sterol fatty acid esters having excellent qualities for a raw material of general foods, healthy foods or medicines, scarcely containing trans type fatty acids, and having excellent safety is produced.例文帳に追加

脱臭スカム油から、安全性の高い安価な食品用ステロール脂肪酸エステルを製造する際の原料の処理条件、合成反応条件、更には後の精製工程において、一般食品素材や健康食品素材或いは医薬品素材として官能面における品質に優れ、且つトランス型脂肪酸を殆ど含まない、安全性に優れた安価なステロール脂肪酸エステルの提供。 - 特許庁

In the printing device which is capable of printing through a plurality of emulations and assigning conditions for starting an emulation for printing process by an emulation switching command for switching an emulation and starting the emulation to perform printing, CPU 2 decides whether the conditions, for starting the emulation, assigned by the emulation switching command received are the same as those for starting an emulation which is presently active.例文帳に追加

複数のエミュレーションにより印刷可能であって、エミュレーションを切り替えるエミュレーション切り替えコマンドにより、印刷処理を行うエミュレーションの起動条件を指定し、同エミュレーションを起動して印刷することが可能な印刷装置において、ＣＰＵ２は、受信したエミュレーション切り替えコマンドで指定されたエミュレーションの起動条件が、現在起動中のエミュレーションの起動条件と同じかどうか判断する。 - 特許庁

Article 104-2 In litigation concerning the infringement of a patent right or an exclusive license, in order to deny the specific conditions of an article or process that a patentee or an exclusive licensee claims as one that composed an act of infringement, the adverse party shall clarify the specific conditions of his/her act; provided, however, that this shall not apply where there exist reasonable grounds preventing the adverse party from so doing. 例文帳に追加

第百四条の二　特許権又は専用実施権の侵害に係る訴訟において、特許権者又は専用実施権者が侵害の行為を組成したものとして主張する物又は方法の具体的態様を否認するときは、相手方は、自己の行為の具体的態様を明らかにしなければならない。ただし、相手方において明らかにすることができない相当の理由があるときは、この限りでない。 - 日本法令外国語訳データベースシステム

In a pre-amorphous process, an amorphous region is formed in a semiconductor region by performing the ion implantation of a IV group element, or an ion implantation of at least any one of arsenic (As), phosphorous (P), halogen, and inert gas elements, or an ion implantation under the conditions of a low temperature lower than -10°C.例文帳に追加

半導体領域内に、プレアモルファス工程では、IV族元素のイオン注入、又はヒ素（Ａｓ），リン（Ｐ），ハロゲン元素及び不活性ガス元素のうち少なくともいずれか１つのイオン注入、又は−１０℃よりも低い低温条件でイオン注入を行なってアモルファス領域を形成する。 - 特許庁

As the manufacturing method, an alloy ingot having the above composition is subjected to homogenizing treatment and then to hot roughing and hot finish rolling under respectively specified conditions to form a recrystallized structure after completion of hot rolling, and then, final cold rolling at specific rolling reduction is carried out without applying process annealing.例文帳に追加

製造方法としては、上記組成の合金鋳塊を均質化処理後、特定条件での熱間粗圧延と熱間仕上げ圧延を施すことにより熱間圧延終了後再結晶組織とし、その後中間焼鈍を施す事なく特定圧下量の最終冷間圧延を行なう。 - 特許庁

When disconnection of a clutch is determined by a clutch sensor 50, the process to gradually reduce the amount of injection is stopped, thereby enlarging the practicable area for learning the variations in the injection characteristic of the fuel injection valve 22 making it one of conditions that fuel cut is performed.例文帳に追加

ここにおいて、クラッチセンサ５０によってクラッチが断絶されると判断される場合には、噴射量の漸減処理を停止することで、フューエルカット中であることを条件の１つとする燃料噴射弁２２の噴射特性のずれ量の学習の実行可能領域の拡大を図る。 - 特許庁

When wire bonding reaches predetermined conditions in wire bonding process, dirt adhered to a capillary 20 can be transferred to a capillary cleaning tool 36 by performing dummy bonding above the capillary cleaning tool 36 provided on a heat stage 30 by using the capillary 20.例文帳に追加

ワイヤボンディング工程において、ワイヤボンディングが一定条件に到達した場合に、キャピラリ２０を用いて、ヒートステージ３０に設けられたキャピラリ清掃ツール３６上で空ボンディングを行うことで、キャピラリ２０に付着した汚れをキャピラリ清掃ツール３６に転写させることができる。 - 特許庁

To provide an image forming method which has a contact development process for a photoreceptor having high wear resistance, is good in cleanability and transferability even during repetitive use under severe conditions at a high temperature and high humidity, suppresses filming and white stripes of the photoreceptor, and is high in durability.例文帳に追加

耐磨耗性の高い感光体に対して接触現像工程を有し、高温高湿下での厳しい条件で繰り返し使用時でもクリーニング性、転写性が良好で、また感光体のフィルミングおよび白スジを抑制し、耐久性の高い画像形成方法を提供する。 - 特許庁

This technique is to create Raster Image Processor (RIP) development data Compact Discs (CDs) 2, 3 for inspection developed under the same developing conditions from two print image data created in different processes during plate making process, and then obtain the inspection results by comparing these data CDs 2, 3.例文帳に追加

製版工程の中の異なる工程で作成された２つの印刷物画像データから、同一のＲＩＰ展開条件で展開された検版用ＲＩＰ展開データＣＤ２，ＣＤ３を作成し、これらのデータＣＤ２，ＣＤ３を比較することによって検版結果を得る。 - 特許庁

To provide a technique for producing an artificial crystal material, by which a high quality three-dimensional artificial crystal material can be produced with a simple device, at a low cost, with a simple process not necessitating conditions to be controlled, energy and a complicated article, with a good reproducibility and in a short time.例文帳に追加

３次元の人工結晶体を、簡単な装置で、低コストで、制御する条件やエネルギーも必要とせず、複雑なものも必要としない簡便なプロセスで、かつ再現性よく高品質の人工結晶体を短時間で製造することが可能な技術の提供。 - 特許庁

To obtain highest print quality by using even a simple media center which adapts to print conditions fixed by a user and a discriminated media group to execute a printing process to unprescribed sheets of paper with an optimum print profile most suitable to the unprescribed sheets thus fed.例文帳に追加

簡易なメディアセンサであっても、ユーザが設定した印刷条件と判別されるメディアグループに適応して、給紙される任意の用紙に対して、その用紙に最適な印刷プロファイルを用いて印刷処理を行って、最高の印刷品位の印刷結果を得ることである。 - 特許庁

To provide a transcription method suitable for mass production capable of transfer a transcription matter efficiently and easily regardless of the characteristics and conditions thereof, and to provide a process for producing a printed circuit board, a circuit board being produced by that method, and an electronic equipment having that circuit board.例文帳に追加

被転写体の特性、条件等にかかわらず、被転写体を効率よく容易に転写することができ、量産にも好適な転写方法、それを用いた回路基板の製造方法、それにより製造される回路基板、その回路基板を有する電子機器等を提供する。 - 特許庁

To provide a process for producing polyurethane foams, which results in polyurethane foams with lowered emission of formaldehyde and wherein the activity of a raw-material mixture is not significantly influenced and wherein the mechanical properties of the resulting foam (in particular, compression set and ageing behavior under humid conditions) are not influenced negatively.例文帳に追加

ホルムアルデヒドの放出が低減れたポリウレタンフォームを生じさせ、原料混合物の活性にほとんど影響を与えず、得られるフォームの機械特性（とりわけ、圧縮永久歪みおよび高湿条件下での老化挙動）に悪影響を与えない、ポリウレタンフォームの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for treating and distributing water formed in aircraft, land vehicles, and (or) shipping, and to introduce water having various qualities into various portions of a water treatment process under specified conditions in a method favorably usable even for a self-supporting stationary device.例文帳に追加

航空機、陸上車両、および（または）船舶内で発生させた水を水処理して分配する方法、有利には自立性の定置式装置にも使用できる方法において、異なる水質の水を特定の条件のもとで水処理プロセスの種々の個所に誘導できるようにする。 - 特許庁

As a result, the optimum conditions of the apparatus can be obtained by the simple flow, the object to be processed such as the lead frame or the like can be rapidly and surely operated, and the processing time of the process such as fixing (die bonding) of the semiconductor chip on the lead frame can be reduced.例文帳に追加

その結果、簡易なフローで装置の最適条件を求めることができ、リードフレーム等の処理対象物を迅速かつ的確に動作させることができ、リードフレーム上に半導体チップを固着（ダイボンディング）する等の処理の処理時間を低減することができる。 - 特許庁

To provide a device for automatically sampling paper during a papermaking process in order to measure the accurate paper characteristics (the definition of a watermark, the draw ratio of paper or the like) and papermaking conditions (the basis weight, moisture content and thickness of paper) of the paper roll manufactured in a papermaking machine.例文帳に追加

抄紙機において抄造される巻取紙の正確な用紙特性（すき入れ模様の鮮明度、用紙の伸縮率等）及び抄造条件（用紙の坪量、水分量、紙厚）を測定するため、抄造工程中の用紙を自動的にサンプリングすることができる装置を提供する。 - 特許庁

In the method, (a) MDCK cells are infected with a virus and (b) the MDCK cells are cultured in a suspension culture on a commercial scale under conditions enabling the virus to multiply, wherein the culture process is carried out in a volume of at least 30 L.例文帳に追加

本発明の方法では、（ａ）ＭＤＣＫ細胞を、ウイルスに感染させ；そして（ｂ）該ウイルスの増殖を可能にする条件下で、商業的規模の懸濁培養物中において、該ＭＤＣＫ細胞を培養し；ここで培養工程は、少なくとも３０Ｌの容量で行われる。 - 特許庁

To provide a lubricant supply apparatus for eliminating the problem, wherein the quantity of a lubricant supplied to an image carrier is fluctuated, and the frictional coefficient fluctuates on a surface of the image carrier, even if various conditions fluctuate; and to provide a cleaning apparatus, a process cartridge, and an image forming apparatus.例文帳に追加

種々の条件の変動が生じても、像担持体上への潤滑剤の供給量にバラツキが生じて像担持体の表面の摩擦係数が変動してしまう不具合が軽減される、潤滑剤供給装置、クリーニング装置、プロセスカートリッジ、及び、画像形成装置を提供する。 - 特許庁

The MRI apparatus 100 switches the edit screen in the process of being displayed in one screen to an edit screen for editing the imaging conditions of the selected picked-up image, and displays the same, on receiving the select operation for selecting one picked-up image among the plurality of picked-up images in the enumerated information.例文帳に追加

また、ＭＲＩ装置１００は、一覧情報において複数の撮像の内いずれか一つの撮像を選択する選択操作を受け付けると、一画面内に表示中の編集画面を、選択された撮像の撮像条件を編集するための編集画面に切り替えて表示する。 - 特許庁

To provide such a radiation sensitive composition with a variable dielectric constant that the dielectric constant of the material can be varied by an easy method, the difference in the varied dielectric constant is sufficiently large, and a stable dielectric pattern or an optical material can be obtained without depending on the use conditions in the succeeding process.例文帳に追加

材料の誘電率変化を簡易な方法で行うとともに、その変化した誘電率差が十分大きな値となり、しかもその後の使用条件によらずに安定な誘電率パターンや光学材料を与えることができる感放射線性、誘電率変化性組成物を提供すること。 - 特許庁

The process includes a step of bringing an alkylatable aromatic compound into contact with a polyalkylated aromatic compound under at least partial liquid phase conditions in the presence of a zeolite beta catalyst having a phosphorus content in the range of 0.001 to 10.0 wt.% of the catalyst, to manufacture a product which comprises a monoalkylated aromatic compound.例文帳に追加

モノアルキル化芳香族化合物を含む生成物を製造するために、このプロセスは、0.001wt%〜10.0wt%の範囲でリン量を持つゼオライトベータの存在において、少なくとも部分的な液相条件下で、アルキル化可能な芳香族化合物をポリアルキル化芳香族化合物と接触させる工程を含む。 - 特許庁

To provide a developer concentration control method which can shorten the down time which interrupts the image forming process by shortening the time required to control the image forming conditions when forming images and can stabilize the concentration control precision of the developer.例文帳に追加

画像形成時に必要とされる画像形成条件の制御に要する時間の短縮化により画像形成処理が中断されてしまうダウンタイムを短くすることができるとともに現像剤の濃度検知精度を安定させることが可能な現像濃度制御方法を提供する。 - 特許庁

The process includes addition of a sufficient amount of an organic compound containing elements of carbon and hydrogen to coolant water passing through the primary circuit of the pressurized water reactor, producing element carbon, adjusting the conditions of core clad deposit, and forcing to form advantageous change for adhesion of clad deposit and configuration thereof.例文帳に追加

加圧水型原子炉の一次回路を流れる冷却水に炭素及び水素の元素を含む有機化合物を十分な量添加することにより、炭素元素を生成させて、炉心クラッド付着物の状態を調整し、クラッド付着物の付着及びその形態に有利な変化を生ぜしめる。 - 特許庁

This method comprises the following process: salt-pickled red perilla leaves are subjected to extraction with a hydrophilic solvent under acidic conditions under heating, the resulting extract is then subjected to chromatography using an adsorptive resin, and subsequently concentrated or powdered as necessary.例文帳に追加

塩蔵赤シソ葉を酸性条件下、かつ加熱条件下に親水性溶媒で抽出し、得られた抽出液を吸着性樹脂を用いるクロマトグラフィーにかけてエキスを得、次いで必要に応じ当該エキスを濃縮、粉末化することを特徴とするフェノール類含有エキスの製造法。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a spheroidal graphite cast iron member capable of obtaining inn finished cast conditions the spheroidal graphite cast iron member whose thick portion, namely, a reinforced portion is selectively reinforced, by appropriately controlling the open-frame time of the sand die in the casting process in accordance with a configuration of the cast iron member.例文帳に追加

鋳造工程における砂型の開枠時間を鋳物の形状に応じて適切に制御することで、厚肉部すなわち強化部を選択的に強化した球状黒鉛鋳鉄を鋳放しで得るようにした球状黒鉛鋳鉄鋳物の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a crosslinkable elastomer composition in which generation of HF under high temperature conditions can be reduced, a change in weight to both NF_3 plasma treatment and O_3 treatment in a semiconductor manufacturing process is small and generation of foreign substances (particles) in these treatments is suppressed significantly.例文帳に追加

高温下でのＨＦの発生を低減でき、半導体の製造工程で曝されるＮＦ_3プラズマ処理およびＯ_3処理に対してともに重量変化が小さく、これらの処理において異物（パーティクル）の発生を顕著に抑制し得る架橋性エラストマー組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a PTT poly(trimethylene terephthalate) carpet improved in quality, functionality and workability by optimizing respective step-by-step process conditions so as to match PTT in manufacturing the carpet by cabling, heat setting, tufting, dyeing, becking and shearing.例文帳に追加

本発明はケーブリング、熱固定、タフティング、染色、ベッキング、及びシヤリングしてカーペットを製造するにおいて、各段階別工程条件をＰＴＴに適合するように最適化することによって品質、機能性、及び作業性を向上させたＰＴＴカーペットの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a repair method of a tunnel wall face capable of securing safety of a tunnel to be open by suspending working in a halfway process of repair working and proceeding the working according to conditions of workers when the wall face of the tunnel is repaired.例文帳に追加

本発明は、トンネルの壁面の補修をする際に、補修作業の途中の工程で作業を中断してトンネルの安全性を確保して開放することができ、作業者の事情に合わせて作業を進行することができるトンネル壁面の補修方法を提供すること課題とする。 - 特許庁

To obtain polyester staple fiber woven or knitted fabrics having excellent pill resistance, high softness, bulkiness, water absorption, quick drying property, UV-blocking property, or the like and having high practical strength in no need of use of a modified polyester fiber of extremely strength-decreased fiber strength and in no need of special dying process conditions.例文帳に追加

特別に繊維強度の低い変性ポリエステル繊維を用いることなく、特別な染色加工条件を採用することなく、抗ピル性に優れ、ソフトで嵩性や吸水速乾性、ＵＶカット性等を有し、実用強力を有するポリエステル短繊維織編物を得る。 - 特許庁

To provide a coating cable and an electric wire which can be manufactured at the almost same process as the manufacture of a regular coating cable or a covered conductor specialized in using on normal conditions, do not have a demerit by a rust preventive effect grant and the occurrence of a copper damage is prevented, and also to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

通常使用条件での使用に特化した、通常の被覆ケーブル・被覆電線の製造と殆ど同じ工程で製造することができ、かつ、防錆効果付与によるデメリットがない、銅害発生が防止された被覆ケーブル・電線とその製造方法とを提供する。 - 特許庁

To provide a TIG welding wire that dispenses with a process for coating active flux on the surface of an object to be welded at the time of welding, to be able to obtain deep penetration characteristic even under ordinary TIG welding conditions, and allows highly efficient TIG welding, regardless of the kind of steel of the object to be welded.例文帳に追加

被溶接物の鋼種に関係なく、溶接時に被溶接物表面に活性フラックスを塗布する工程を省略し、通常のＴＩＧ溶接条件でも深い溶け込みが得られ、高能率なＴＩＧ溶接を可能とするＴＩＧ用溶接ワイヤを提供する。 - 特許庁

To provide a container filled with a content and a manufacturing method thereof for increasing the welding strength of a parting section during a manufacturing process more than usual cases without lowering the easily peeling and opening properties of a final product, widening the selection range for processing conditions of respective processes and improving the productivity.例文帳に追加

最終製品のイージーピールオープン性を低下させることなく製造工程中の仕切部の溶着強度を従来より高くして、各工程の処理条件の選択範囲を広げて生産性を向上することができる内容物入り容器及びその製造方法を提案する。 - 特許庁

When byproducts having boiling points higher than ethylidene- tetracyclododecene are treated by pyrolysis and recycled to a reactor and a separation process, the pyrolysis is carried out under the conditions of a temperature of ≥200°C and ≤500°C and a retention time of 1 sec to 10 hr, and the pyrolytic products are recycled.例文帳に追加

エチリデンテトラシクロドデセンより高い沸点を有する副生物を熱分解し反応器、分離工程へ再循環する際に、熱分解を温度２００℃以上５００℃以下、かつ１秒〜１０時間の滞留時間、の条件で熱分解し、循環使用することにより、上記課題を解決した。 - 特許庁

In the photolithographic process in which existing processing conditions are set, a resist film on a wafer W is exposed using a mask for applying extinction of a predetermined extinction rate to only the 0-order light of a light source to allow the light to pass, and after that, the resist film is heated and developed to reduce the resist film on the wafer W.例文帳に追加

既存の処理条件の設定のフォトリソグラフィー工程において，光源の０次光のみを所定の減光率で減光させて透過させるマスクを用いて，ウェハＷ上のレジスト膜を露光し，その後加熱し，現像して，ウェハＷ上のレジスト膜を減少させる。 - 特許庁

To provide a magnetic encoder which can remedy problems such as the presence of an extremely thin section in a resin film at a press fitting process or the like, has superior resistance to corrosion and superior productivity, causes no problem of the formation of rust even for long-term use and for use under severe conditions, and enables its cost to be reduced.例文帳に追加

圧入時に樹脂塗膜の極端に薄い部分等の不具合が改善できて、耐食性に優れ、長期の使用，厳しい環境下の使用においても錆の発生の問題がなく、かつ生産性に優れ、低コスト化が図れる磁気エンコーダを提供する。 - 特許庁

The method for altering the intracellular presence rate of mtDNA having a specific mutation includes process: a cell culture medium is added with an active oxygen species such as hydrogen peroxide to bring the active oxygen species into contact with cells; and under appropriate culture conditions, the cells are put to culture.例文帳に追加

本発明は、過酸化水素などの活性酸素種を細胞の培地に添加するなどして、細胞に活性酸素種を接触させ、適当な培養条件下において、該細胞を培養し、特定の突然変異を有するｍｔＤＮＡの細胞内における存在比率を変化させる方法である。 - 特許庁

To provide a process cartridge and a developing device which prevent an image defect that melt fixing of toner to a developing toner control member in the last period of a cartridge lifetime hinders uniform toner coating to give stripes to an image, even after preserved in various preservation environments and distribution conditions.例文帳に追加

様々な保管環境及び物流状況下で保管されたとしてもカートリッジ寿命末期においてトナーが現像トナー規制部材に融着し、均一なトナーコートを妨げ画像上にスジが入ってしまうという画像欠陥を防ぐプロセスカートリッジ及び現像装置を提供すること。 - 特許庁

To provide technology which raises the efficiency of a reaction stage to delignify and to bleach pulp having 4-9 Kappa number under alkali conditions and reduces load of the subsequent bleaching reaction stages in a chemical pulp multistage bleaching process.例文帳に追加

本発明が解決しようとする課題は、ケミカルパルプ多段漂白工程中において、カッパー価が４〜９のパルプを、アルカリ性条件下で脱リグニン及び漂白処理する反応段の効率を高めると同時に、後続の漂白反応段の負荷を軽減できる技術を提供することにある。 - 特許庁

To provide a technology for preventing the diffusion of nitrous oxide to the atmosphere by investigating the conditions of the nitrification and denitrification processes without providing an additional process for decomposing nitrous oxide in a method for treating nitrogen-containing wastewater, including nitrification and denitrification processes.例文帳に追加

硝化工程と脱窒工程を有する窒素含有排水の処理方法において、別途亜酸化窒素分解の為の工程を設けることなく、硝化工程と脱窒工程の条件検討により亜酸化窒素の大気中への拡散を防止する技術を提供すること。 - 特許庁

if any trade or industry in Canada, or any person or class of persons engaged therein, is unfairly prejudiced by the conditions attached by the patentee, whether before or after the passing of this Act, to the purchase, hire, licence or use of the patented article or to the using or working of the patented process; or 例文帳に追加

カナダの商工業又はそれに従事する者若しくはこれに類する者が，本法律の成立の前後を問わず，特許物品の購入，賃借，ライセンス若しくは使用又は特許方法の使用若しくは実施について特許権者が課した条件により不公正に害されている場合 - 特許庁

To reduce the period of time and consumption of power required for field intensity detection that is executed, when detecting the communication conditions of a plurality of selectable wireless channels, and thereby to reduce the period of time and consumption of power required for a wireless channel selection process.例文帳に追加

選択可能な複数の無線チャンネルの通信状況を検出する際に実行される電界強度の検出に要する時間の短縮化及び省電力化を図り、無線チャンネルの選択処理に要する時間の短縮化及び省電力化を実現すること。 - 特許庁

To enable management of the usage state of each of keys which are used for conventionally, simply constructed locks requiring no authentication processing or the like for locking/unlocking process, even in the usage conditions where users are frequently shifted when using a plurality of identical keys.例文帳に追加

開錠や施錠の処理に当たり、認証処理などを必要としない従来の簡易な構造の錠前に使用する鍵であって、同一の鍵を複数に使用する際に、利用者が頻繁に変更するような使用条件であっても、鍵毎の使用状態を管理できるようにする。 - 特許庁

Further, regarding this method, an iridium oxide film is formed by a reactive sputtering process where, using a target comprising iridium, sputtering is performed while introducing an oxygen-containing gas under the conditions where film deposition temperature is 275 to 400°C and sputtering pressure is 0.69 Pa (5.2 mTorr) to 1.09 Pa (8.2 mTorr).例文帳に追加

また、イリジウムを含むターゲットを用い、酸素を含むガスを導入しながらスパッタリングする反応性スパッタリング法により、成膜温度が２７５℃以上４００℃以下の条件およびスパッタ圧力が０．６９Ｐａ（５．２ｍＴｏｒｒ）以上１．０９Ｐａ（８．２ｍＴｏｒｒ）以下の条件下で、イリジウム酸化膜を形成する方法である。 - 特許庁