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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > Flow processの意味・解説 > Flow processに関連した英語例文

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Flow processの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 1657



例文

Because a passage guide section is installed in the exhaust pipe of the secondary cyclone section to reduce pressure loss caused by the turbulent flow generated in the exhaust process, the load of a vacuum blow source is reduced and electric power consumption required to operate the cyclone dust collecting device can be saved.例文帳に追加

2次サイクロン部の排気パイプに流路ガイド部を設置し、排気過程で発生する乱流流動による圧力損失を減少するので、真空吹込源の負荷が減少されてサイクロン集塵装置の作動に所要される消費電力を節減できる。 - 特許庁

To provide a light-emitting element assembly integrated (single chip) with a light-emitting element in which a regrowth process of a compound semiconductor layer is not required in structure and a protective means effective for breakdown due to overcurrent flow in the forward or reverse direction is provided.例文帳に追加

発光素子と一体化(1チップ化)され、構造上、化合物半導体層の再成長工程が不要であり、しかも、順・逆方向の過電流が流れることによって生じる破壊に対して有効な防護手段を有する発光素子組立体を提供する。 - 特許庁

For simple calculation, it is proposed that the flesh air filling amount or the pressure is calculated at, at least, one discrete time point in the process of one working cycle of the internal combustion engine in accordance with a thermodynamic equation and/or a flow equation.例文帳に追加

計算を簡単にするために、フレッシュ・エア充填量ないし圧力が、熱力学方程式によりおよび/または流動方程式により、内燃機関の1つの作業サイクルの間の少なくとも1つの離散時点において計算されることが提案される。 - 特許庁

In this construction, even if the fuse is incompletely cut during a process of cutting the fuse, the pull-up driver or the pull-down driver is turned off, thus preventing unnecessary current flow in advance.例文帳に追加

よって、前記半導体装置はヒューズを切断するプロセスが進行された後にヒューズが完全に切断されていなくてもプルアップ駆動手段またはプルダウン駆動手段をターンオフすることによって不必要な電流の流れることを事前に防止することができる。 - 特許庁

例文

To provide a method for highly efficiently conducting dephosphorization treatment, in a process of removing phosphor from molten pig iron on the condition of a top-blowing oxygen flow rate of 2.0-4.0 Nm^3/min/t by using an upper bottom-blowing converter and without using an auxiliary material which substantially contains fluorine as a dephosphorizing agent.例文帳に追加

上底吹転炉を用いて、脱燐剤に実質的にフッ素を含む副原料を使わずに、上吹き酸素流量が2.0〜4.0Nm^3/min/tの条件で溶銑から燐を除去する方法において、その脱燐処理を高能率かつ高効率で行う方法を提供する。 - 特許庁


例文

To provide a converter-type method of dephosphorizing molten iron having little scattering loss of CaO powder blown up even when up-blowing oxygen flow is increased to 2.0-5.0 Nm^3/min/molten iron t, and reducing [%P] in post-treatment molten iron to 0.015 mass% or lower while suppressing free CaO in the post-process slag.例文帳に追加

上吹き酸素流量を2.0〜5.0Nm^3/min/溶銑tに増加しても上吹きされるCaO粉体の飛散ロスが少なく,処理後スラグ中遊離CaOを抑制しつつ,処理後溶銑中[%P]を0.015質量%以下にまで低減する溶銑の転炉型脱燐方法を提供する。 - 特許庁

Prior to this, currents I_1 larger than the currents I_0 flowing in the detection process are made to flow through the light emitting diode in a predetermined time Tc.例文帳に追加

光センサの発光ダイオードに電流I_0を流入して発光ダイオードから射出される光を被検知物に照射して被検知物を検知する前に、検知工程時に流入する電流I_0よりも大きな電流I_1を発光ダイオードに所定時間Tc流入する。 - 特許庁

A first process gas admixture equipped with a silicon source gas and a first dilution gas mixture equipped with H_2 gas and inactive gas are made to flow into a deposition chamber at a first temperature, and thereby a polycrystalline silicon film 408 is formed on the amorphous silicon film.例文帳に追加

シリコンソースガスを備える第1のプロセスガス混合物と、H_2及び不活性ガスを備える第1の希釈ガス混合物とを第1の温度で堆積チャンバ内に流入させることによって、多結晶シリコン膜408が該非晶質シリコン膜上に形成される。 - 特許庁

In the film formation process for a single film of the nitride compound semiconductor, the mole flow rate of ammonia and the organic nitrogen compound in the nitrogen material gas is controlled to change a supply mole ratio (R=x/(x+y)) of the organic nitrogen compound (x moles) and ammonia (y moles).例文帳に追加

この窒化物系化合物半導体の単一の膜の成膜プロセス中に、窒素原料ガス中のアンモニアと有機窒素化合物のモル流量を制御して、有機窒素化合物(xモル)とアンモニアの(yモル)の供給モル比(R=x/(x+y))を変化させる。 - 特許庁

例文

The activation rate is inferred based on the exhaust gas flow rate of exhaust gas passing through the oxidation catalyst 28a, the temperature of exhaust gas flowing into the oxidation catalyst 28a, and the injection time and the injection amount of the expansion process injection F1 injected immediately before it.例文帳に追加

そして、活性化率は、酸化触媒28a内を通過する排気ガスの排気ガス流速、酸化触媒28aに流入する排気ガスの温度、及び直前に噴射された膨張行程噴射F1の噴射時期及び噴射量とに基づいて、推定される。 - 特許庁

例文

To describe a differential part on the basis of a previously formed original scenario with high reusability for defining a new derived scenario when the time-series flow of business process is expressed as a scenario constructed of a series of scenes.例文帳に追加

業務プロセスの時系列的な流れが一連のシーンから構成されるシナリオとして表現されるときに、あらかじめ作成した再利用性の高い元シナリオをベースに、差分部分を記述することにより、新しく作成する導出シナリオを定義できるようにする。 - 特許庁

At stopping of a fuel cell 2, a control unit 5 controls a compressor 31 to set a flow volume of oxidization gas at a predetermined volume as a process on a cathode electrode side, and controls a back pressure regulation valve 34 to make a pressure of oxidization gas on the cathode electrode side to be pressure Pa.例文帳に追加

燃料電池2の停止時に、制御部5は、カソード極側の処理として、コンプレッサ31を制御して酸化ガスの流量を所定の流量にし、背圧調整弁34を制御してカソード極側の酸化ガスの圧力を圧力Paにする。 - 特許庁

To provide a high temperature small water-flow cleaning/coating film stripping process which eliminates difficulties in safety or sanitation by extremely decreasing the splash of dust or the splash of high pressure water due to scatter or rebounding does not unnecessarily damage a base and can be applied even to a relatively soft material such as wood or ALC.例文帳に追加

粉塵の飛散や跳ね返りによる高圧水の飛散を極度に少なくし、安全面や衛生面にも支障がなくなると共に、下地を必要以上に傷めることがなく、且つ木材やALC等比較的柔らかな個所にも対応施工できる。 - 特許庁

A void moving speed is calculated, using a hydrothermal power model, based on an output temperature distribution in a nuclear reactor core calculated by a process computer, and an inlet flow rate and an inlet temperature in the fuel channel, and an average void moving time is calculated based thereon.例文帳に追加

一方プロセス計算機により算出された原子炉炉心の出力分布と燃料チャンネル入口流量ならびに入口温度から熱水力モデルを用いてボイド移動速度を算出し、それから前記検出器間の平均ボイド移動時間を算出する。 - 特許庁

This assembling method of an exhaust gas reflux valve 1 as the gas flow rate control valve includes a process for press-fitting a second valve 27 into a valve shaft 29 in which a first valve 25 is press-fitted and fixed, while measuring a distance L2 to be equal to a distance L1.例文帳に追加

ガス流量制御弁としての排気ガス還流弁1の組立方法においては、第1バルブ25が圧入固定されたバルブシャフト29に第2バルブ27を距離L1とが等しくなるように距離L2を測定しながら圧入する工程を含める。 - 特許庁

To provide a cleaning apparatus that detects a wafer on which failures such as inadequate cleaning occurs and that determines chemical supply time, in a cleaning process where rise time to make flow rate stable accounts for a half or more of the chemical supply time.例文帳に追加

流量が安定するまでの立上り期間が、薬液供給時間に占める割合が半分以上であるような洗浄プロセスにおいて、洗浄不足などの異常発生ウェハの検知や薬液供給時間を決定する洗浄装置を提供する。 - 特許庁

Through plastic flow process of a sectional thickness of the steel work 30 into a recessed section 34 formed on the roll 32a, a projected section 28 is formed which becomes thinner in a distance from the middle part toward the toe portion 20 or the heel portion 22, whereby a face component 14 is manufactured.例文帳に追加

鋼製ワーク30の肉がロール32aに設けられた凹部34に塑性流動することにより、中心部からトゥー部20またはヒール部22に向かうに従って肉厚が小さくなる凸部28が設けられ、フェース部材14が作製される。 - 特許庁

To provide a resist composition having a broad process window in contact hole formation in microphotofabrication using far ultraviolet light, particularly ArF excimer laser light, and capable of suppressing pit formation in flow baking, and to provide a method of forming a pattern using the same.例文帳に追加

遠紫外光、とくにArFエキシマレーザー光を使用するミクロフォトファブリケ−ションに於いて、コンタクトホール形成において広いプロセスウインドウをもち、かつフローベーク時のピット形成を抑制出来るレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

This process flow provides a direct body tie contact 222 to mitigate floating body effects but also eliminates hysteresis and transient upset effects common in non-direct body tie contact configurations, without the critical alignment requirements and critical dimension control of the layout.例文帳に追加

このプロセスフローは、浮遊ボディ効果を緩和するように直接ボディ・タイ・コンタクト222を提供するが、臨界的なアライメント要求ならびにレイアウトの臨界的な寸法制御なしで、非直接ボディ・タイ・コンタクトに共通のヒステリシスおよび過渡アップセット効果をも除去する。 - 特許庁

To provide an engine ignition device capable of stably supplying a mixture from an electrode pair with a short distance between the electrodes to an electrode pair with a long distance between the electrodes using the flow of the mixture flowing into an auxiliary chamber from a nozzle hole, produced by a compression process of an engine.例文帳に追加

エンジンの圧縮工程によって生じる噴口から副室内へ流入する混合気の流れを用いて、電極間距離の小さい電極対から大きい電極対へと混合気を安定的に供給できるエンジンの点火装置を提供する。 - 特許庁

To provide a turbine for an external combustion engine enabling operation at a low temperature by utilizing latent heat while eliminating an overheating process according to selection of a heating medium, capable of efficiently converting energy of flow of a gas phase medium into motive power.例文帳に追加

熱媒体の選択により過熱行程を省略し、潜熱を利用することで低温での運転を可能とした外燃機関において、気相媒体の流動によるエネルギーを効率良く動力に変換することが出来る外燃機関用タービンを提供するものである。 - 特許庁

Whether or not to preserve processed data generated in a work flow is judged according to data inputted in an input process, and the performance of the workflow including preservation processing and the performance of the workflow without preservation are switched according to the judged result.例文帳に追加

入力工程にて入力されたデータに従って、ワークフローにて生成された処理済みデータを保存するか否かを判定し、当該判定結果に従って、保存処理を含むワークフローを実行するか、保存することなくワークフローを実行するかを切り替える。 - 特許庁

Each of a plurality of liquid materials is supplied in the equal flow rate, thereby mixing the liquid materials in a mixing ratio to provide the required predetermined ratio for the process in the amount of substances of a plurality of materials to be supplied to a processing chamber 22 per unit time.例文帳に追加

複数の液体材料の各々は、等しい流量で供給されることにより、単位時間当たりに処理室22に供給する複数の材料の物質量が処理に要求される所定の比率となるような混合比で混合される。 - 特許庁

To develop a control method for obtaining a stable concentration of generated ozone even when a gas flow volume varies in an ozone generating system having branched lines in accordance with the number of chambers or process tanks to supply ozone responding to diversification of processes in recent years.例文帳に追加

近年のプロセスの多様化に伴って、供給するチャンバーまたは処理槽の数に応じてラインを分岐させたオゾン発生システムにおいて、ガス流量に変動が生じた場合であっても安定した発生オゾン濃度が得られるような制御方法を開発する。 - 特許庁

The gable structure prevents solvents from dripping in between cells and to facilitate it to flow into the neighboring cell, and the process of field assembly of this invention is applicable to rotary solvent extirpation equipment of the type other than that having the gable structure. 例文帳に追加

切妻部材は、隣接セル間に液体が落下しないためと隣接セルへ液体が移動するのを助けるために設けられたもので、本発明の現場組立法は、切妻形以外の形状の部材を有する回転溶剤抽出装置にも適用し得る。 - 特許庁

(6) The drawings, according to the provisions of paragraph (1), shall not contain texts, except for a word or some isolated words strictly necessary, such as: "water", "steam", "open", "closed", and for the flow sheets and diagrams illustrating the process steps, keywords absolutely necessary for understanding them.例文帳に追加

(6) (1)の規定による図面は文言を含まないものとするが,ただし,厳格に必要な場合における「水」,「蒸気」,「開」,「閉」等の単語又は孤立した語句,工程表及び工程を示す図表,それらを理解するために絶対的に必要なキーワードは例外とする。 - 特許庁

The stable and process-independent RC time constant for the precise frequency response of automatic tuning is generated by using a feedback loop, which uses a voltage-control type resistor forcibly making a current equal to a reference current flow through an output node.例文帳に追加

自動同調における精密周波数応答のための安定な処理独立性RC時定数が、出力ノードを介して基準電流に等しい電流を強制的に流す電圧制御型抵抗器を使用するフィードバックループを使用して発生される。 - 特許庁

At the second process flow, plural concave grooves 34 are formed on an inner radius face of the small diameter hole by pressing the first punch 15 into the small diameter hole for plasticity deformation of the material, wherein the plural projected stripes 16 are formed on the peripheral face of the punch 15 along the axial line direction.例文帳に追加

第2の工程では、外周面に軸線方向に沿って複数の突条16が形成された第1パンチ15を素材の小径穴に押し込むことにより、素材を塑性変形させて小径穴の内周面に複数の凹溝34を形成する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a cylindrical substrate for an electrophotographic photoreceptor having no flow trace of an abrasive (abrasive grains) or a polishing liquid on the substrate surface without requiring to maintain the cleanliness of the dried substrate high in the drying process after rinsing the substrate.例文帳に追加

基体洗浄後の乾燥工程において、乾燥媒体の清浄度を高く保つことを必要とせずに、研磨剤(砥粒)や研磨液が基体表面を流れた痕跡等の無い電子写真感光体用円筒状基体の製造方法を提供することにある。 - 特許庁

After performing work for enabling the atmosphere outside the heat treating device 10 to flow into the transfer chamber 40, a transfer chamber inner wall heating process is executed for heating the inner wall of the transfer chamber 40 to a temperature lower than the temperature of the heat treatment performed in the heat treating chamber 40.例文帳に追加

搬送室40内に熱処理装置10外の雰囲気が流入可能となる作業を行った後は、搬送室40の内壁を、熱処理室40で行う熱処理温度に比べて低い温度に加熱する搬送室内壁加熱工程を行う。 - 特許庁

The method for manufacturing a wiring board 1 is provided with an electrolytic Cu plating process for dipping a board 51 having a via hole 19 opened on the surface 53 of the board 51 into an electrolytic Cu plating solution 105, allowing a current to flow into the solution 105, and forming a field via 21 in the via hole 19.例文帳に追加

配線基板1の製造方法は、基板表面53に開口するビア孔19を有する基板51を電解Cuメッキ液105中に浸漬し、電流を流してビア孔19内にフィルドビア21を形成する電解Cuメッキ工程を備える。 - 特許庁

During the treatment of the substrate W by the treatment liquid, a fluctuation is imparted to a process parameter by the control of liquid introduction valves 41-44, flow rate adjustment valves 101-104, a pure water supply source valve 51, a warm pure water supply source valve 52 and a pure water valve 5, etc.例文帳に追加

処理液による基板Wの処理中に、薬液導入バルブ41〜44、流量調整バルブ101〜104、純水供給源バルブ51、温純水供給源バルブ52、純水バルブ5などの制御によって、プロセスパラメータに揺らぎが付与される。 - 特許庁

Lastly, in the installation process, stone-filled cages 4 transported are suspended by using a suspending device or the like by means of a construction machine 6, and are sequentially stacked against the face of slope 2 at the job site and the stone-filled cages 4 are laid so as to prevent the flow of sediment for the whole of the face of slope.例文帳に追加

最後に、設置工程 では、建設機械6などを用いて、運搬された石詰めカゴ4を吊り用具7などを介して吊り上げ、施工現場の法面2に順次設置し、法面全体の土砂の流れを防止するように石詰めカゴ4を敷き詰める。 - 特許庁

To entrust at least one partial function of remote medical health care service by a simple method and to monitor the provision of the partial function for controlling and monitoring the process flow of remote medical health care service provided by a central data processor.例文帳に追加

中央のデータ処理装置から提供する遠隔医学的な健康サービスのプロセス進行を制御・監視するため、簡単な方法で遠隔医学的な健康サービスの少なくとも1つの部分機能の提供を委託し、かつ部分機能の提供を監視可能とする。 - 特許庁

In this way the process gas is made to flow into the regions vertically different to each other, and the partial pressure is held uniformly, so the selectivity of seeding in the vertical direction of the reactive tube 22 can be held uniformly, and uniform HSg-Si can be formed.例文帳に追加

反応管内の高さ方向に相互に異なる領域にプロセスガスを流出させて、反応管のプロセスガスの分圧を一様に保持することにより、反応管内高さ方向のSeeding の選択性を均一に維持し、均一なHSG−Siを形成することができる。 - 特許庁

The gas-liquid mixture is introduced into a plurality of the gas-liquid separators 2a and 2b having introducing amount regulation valves 4a and 4b to be subjected to gas-liquid separation in the gas-liquid separation process, and separated sludge is supplied to mutually different positions along the flow of the liquid in the aeration tank 10.例文帳に追加

気液分離工程では気液混合物を、導入量調節弁4a、4bを有する複数の気液分離装置2a、2bに導入して気液分離し、分離汚泥を曝気槽10の槽内液の流れに沿って互いに異なる位置に供給する。 - 特許庁

To provide a method for obtaining a processor by the separation of a control flow code capable of relaxing a penalty for a branch prediction mistake, and reducing an amount of an unnecessary process to reduce the electric power consumption of the processor and to speed up the processor, and to provide a microprocessor using it.例文帳に追加

分岐予測ミスのペナルティを緩和し、無駄となる処理の量を低減してプロセッサの消費電力の低減と高速化を図ることができる制御フローコードの分離によるプロセッサの実現方法及びそれを用いたマイクロプロセッサを提供する。 - 特許庁

In the protrusion process of a lens OL of a resin molded product MP, compressed gas is made to flow out of an opening 73 formed at the tip of a tip surface of a movable metal mold 42 to easily protrude the lens OL from the movable metallic mold 42.例文帳に追加

樹脂成形品MPのレンズOLの突き出し工程において、圧縮された気体を可動金型42の先端面先端に設けられた開口73から流出させることにより、レンズOLを可動金型42から容易に突き出すことができる。 - 特許庁

Upon this process, the solution inside the mixing flow channel 146 is irradiated with microwaves from a microwave generator 160, so as to increase the diffusion speed of the molecules of the solutions inside the mixing channel 146 to efficiently promote the mixture and the chemical reaction accompanying the mixture.例文帳に追加

このとき、マイクロ波発生器160からのマイクロ波がミキシング流路146内の溶液に照射されるので、ミキシング流路146内における溶液の分子の拡散速度を増大させて混合及び混合に伴う化学反応を効率的に促進できる。 - 特許庁

It is preferable that an average particle diameter of solid in the soymilk passing the micronizing process is20 μm and a standard deviation thereof is ≤0.35, and a flow passage cross-sectional area of the narrow tube is1 mm^2 and a longitudinal size thereof is ≥3 mm.例文帳に追加

微細化工程を経た豆乳中の固形分の平均粒径は20μm以下であり、標準偏差は0.35以下であることが好ましく、細管の流路断面積が1mm^2以下であり、細管の長手方向寸法が3mm以上であることが好ましい。 - 特許庁

Although the company had automated its production plant in Japan, it only introduced machinery and equipment and did not automate its production facility in Vietnam due to the low labor cost. Rather, the company assigned workers individually to each step in the production process, achieving the “one-piece flowtechnique of production.例文帳に追加

日本の生産工場においては、機械化やオートメーション化が進んでいたが、ベトナムでは、人件費の安さというメリットを考え、機械装置は導入したもののオートメーション化はせず、工程ごとに人員を配置し、1 個流しという生産手法を実現した。 - 経済産業省

The channel guide member thus reduces the pressure loss caused by the turbulent flow generated in the exhaust process of the purified air so as to lessen the load of the vacuum suction source and reduce the power consumption for use in the actuation of the cyclone dust collector.例文帳に追加

これにより、流路ガイド部材が浄化された空気の排気過程で生じる乱流流動による圧力損失を低減させるので、真空吸入源の負荷が小さくなりサイクロン集塵装置の作動に用いられる消費電力を減らすことができる。 - 特許庁

Plasma is generated by performing vacuum arc discharge in a vacuum atmosphere into which a reactive gas is introduced if necessary, and the plasma is allowed to flow into the plasma machining part T, and the work 30 placed there T is subjected to a surface treatment process with plasma.例文帳に追加

必要により反応性ガスを導入した真空雰囲気下で真空アーク放電を行なってプラズマを発生させて、該プラズマをプラズマ加工部Tに流入させ、該プラズマ加工部Tに配置された被処理物30をプラズマにより表面処理加工を行なう方法。 - 特許庁

To provide a fluid delivery device where a long storage service life and the suitable utilization efficiency of hydrogen in fluid delivery are attained, further, the flow-out of hydrogen from a gas chamber after that is possible without resistance, thus, even in a short time after the completion of a dispensing process, hydrogen hardly remains.例文帳に追加

長い棚持ち、流体送達に関して適切な水素の利用効率、およびその後の水素のガス室からの無抵抗の流出の結果、分与過程が完了した短時間後でも、僅かな水素のみ残留する流体送達装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electric earthing device of a float glass manufacturing apparatus which inhibits an interface reaction in the manufacturing process so that the flow of direct electric current depending on an electrochemical influence between a melting tank and a downstream float tank is at least minimized.例文帳に追加

製造過程における境界面反応を抑制して溶融タンクと下流のフロートタンク間における電気化学的影響に依存した直流電流の流れが少なくとも最小限に抑えられるフロートガラス製造装置の電気的設置装置を提供する。 - 特許庁

To process a section of a lower portion of an exhaust flue from a dust collector outlet without direct manual work by switching exhaust gas flow channels, and activating a special dust collector for cleaning and a special air exhauster, and to simplify dust removing work.例文帳に追加

排ガス流路の切換操作と別途清掃用集塵器および排風機を活用して、集塵器出口から煙突下部の区間を、人手を直接介在させることなく処理でき、除塵作業を容易にした集塵器下流ダクトの清掃方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of forming a pattern of a semiconductor device, in which a photoresist pattern of a line pattern is formed, and by using a resist flow process, a further finer line pattern can be formed, wherein the photoresist pattern of the line pattern is formed by overlapping a plurality of contact hole patterns on a line.例文帳に追加

本発明は、複数のコンタクトホールパターンが重なりながら一列に形成されたラインパターンのフォトレジストパターンを形成することにより、レジストフロー工程時にさらに微細なラインパターンを形成することができる半導体素子のパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

The interference measuring instrument supplies the temperature regulation water to the flow passages 110 and 111 by a process for decompressing the vacuum chamber 113 with a vacuum pump 117, and suppresses the temperature deterioration of the object to be measured W_1 and the TS lens 107 by controlling the temperature of the stages 105 and 106.例文帳に追加

真空チャンバー113を真空ポンプ117によって減圧する工程で、流路110、111に温調水を供給し、ステージ105、106の温度を制御することで、被測定物W_1 およびTSレンズ107の温度低下を抑制する。 - 特許庁

A recirculation flow is formed of a side-face intake port 201 which fluid-communicates with a process chamber at a stator, and a side-face recirculation discharge port which fluid-communicates with the inlet port 201 between the pump and the chamber, and thus the coagulation and the clogging at the process equipment is prevented by maintaining such a flow.例文帳に追加

前進空洞と、遠心端と、近接端と、前進空洞の少なくとも一部分を通って延伸する前進空洞ロータと、該前進空洞ロータを取り囲み且つ前進空洞の遠心端及び近接端との間に配置された前進空洞ステータ209とを有しており、ステータにプロセスチャンバと流体連通する側面吸入口201と、吸入口201と流体連通する側面再循環排出口とによって、ポンプとチャンバ間に再循環流を形成し、この種の流れを維持することによってプロセス設備の凝集及び目詰まりを防止する。 - 特許庁

例文

When an interlayer insulation film LI2 is formed by a plasma CVD method, the flow rate of porogen supplied into a CVD device is adjusted to 30% or more but not exceeding 60% of the total flow rate of porogen and methyl diethoxysilane to reduce the size of holes 10 formed within the interlayer insulation film LI2, thereby preventing an altered layer CL from being formed on the surface of the interlayer insulation film LI2 by process damage.例文帳に追加

プラズマCVD法によって層間絶縁膜IL2を形成する際にCVD装置内に供給するポロジェンの流量を、ポロジェンおよびメチルジエトキシシランの合計の流量の30%以上60%以下とすることで、層間絶縁膜IL2内に形成される空孔10の大きさを小さくし、プロセスダメージによって層間絶縁膜IL2の表面に変質層CLが形成されることを防ぐ。 - 特許庁




  
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