「surface portion」に関連した英語例文の一覧と使い方(281ページ目) - Weblio英語例文検索

The aperture 5 is formed to provide the relationship of C < ϕA < B among a clearance C in the surface direction opposing to the area between the ends 7a of two projected portions 7, a gap B in which interval distance between the opposite surfaces including the projected portion 7, and the diameter ϕA of the lead wire.例文帳に追加

開口部５は、二つの突出部７の先端７ａの間の対向する面方向のクリアランスＣと、突出部７を含む対向する面同士の間隔距離が最小となるギャップＢと、リード線の直径φＡとの関係が、Ｃ＜φＡ＜Ｂになるように形成される。 - 特許庁

To provide a powder coating composition which neither causes a coating film failure such as a coating film crater even when coated on a material such as a magnesium alloy and the like having a defective portion such as a void and a fine groove on its metallic surface nor cause a coating sag on baking, and a metallic material provided with powder coating.例文帳に追加

マグネシウム合金等の、金属表面に巣孔や細かい溝等の欠陥部が存在する素材に塗装しても塗膜ワキ等の塗膜欠損を生ずることがなく、また、焼付時の塗料ダレのない粉体塗料組成物、および粉体塗装した金属材料を提供する。 - 特許庁

In the manufacturing method of the hot-rolled steel plate, the temperature distribution on the entire surface of a sheet bar 4 is measured by a width-direction thermometer 10 before a sheet bar after the rough rolling is subjected to the finish rolling, and a portion where the temperature deviation from the representative temperature exceeds a predetermined range is determined as a perforation.例文帳に追加

熱延鋼板の製造方法において、粗圧延後のシートバーが仕上げ圧延される前までに、シートバー４全面の温度分布を幅方向温度計１０で測定し、その代表温度との温度偏差が所定範囲を超えて外れた部分を穴開きとして判定する。 - 特許庁

While supplying the SPM at least to the surface of the wafer W, a water curtain WC is formed at an upper portion of the cup 8, and the internal space of the water curtain WC including the internal space of the cup 8 is cut off from the external space of the water curtain WC by the water curtain WC.例文帳に追加

少なくともウエハＷの表面へのＳＰＭの供給中は、カップ８の上方に水カーテンＷＣが形成され、水カーテンＷＣによって、カップ８の内側の空間を含む水カーテンＷＣの内側の空間と水カーテンＷＣの外側の空間とが遮断される。 - 特許庁

An inclined plate 11 inclined toward the hinge section 7 direction is protruded from the surface of the lid body 6, the lid body 6 is released from the opening portion 4 by a centrifugal force acting toward the hinge section 7 direction via the inclined plate 11 during the rotary fan 10 rotates to enable the fragrance emission outside.例文帳に追加

また、蓋体６の表面にヒンジ部７方向に傾斜する傾斜板１１を突出し、回転ファン１０の回転時には傾斜板１１を介してヒンジ部７方向に加えられる遠心力によって、蓋体６を開口部４から開放し、外部への発香を可能とする。 - 特許庁

After the lens 13 is fixed on the surface of light receiving side of the panel portion 12 by adhesion or fusion, the back side of the panel 12 is covered with a back cover 32, and the surrounding of the back cover 32 and the surrounding of the lens 13 are sealed by a proper means such as heat fusion, adhesive etc.例文帳に追加

そして、パネル部１２の受光側の面にレンズ部１３を接着、融着等により固着した後、パネル部１２の裏面側に裏カバー３２を被せて、該裏カバー３２の周縁部とレンズ部１３の周縁部とを熱融着、接着剤等の適宜の方法で封止する。 - 特許庁

Otherwise the detoning blade has a steel member having a length, width and thickness and a coating including chromium embedded with diamond on at least a portion of the steel member, in which the coating has a thickness ranging from 2.5 microns up to 7.5 microns and has surface hardness up to the maximum 90 Rockwell C.例文帳に追加

あるいは、長さ，幅，及び厚さを有するスチール部材、及び、スチール部材の少なくとも一部分の上の、ダイヤモンド埋め込みのクロムを含む被覆、を備えるデトニングブレードであって、被覆が、2.5ミクロンから7.5ミクロンまでの範囲の厚さを有し、最大90 Rockwell Cまでの表面硬度を有する、デトニングブレード。 - 特許庁

According to the present invention, the cast strip having different concentration of the solute between the surface portion and the inner can be easily and continuously cast without using a plurality of kinds of molten steel.例文帳に追加

これと同時に、浸漬ノズル２を挟む前記両短辺１ａ側の対称位置の溶鋼３中に下端部を浸漬させたストレートノズル４の底部に設けた１つの吐出孔４ａから、鉄以外の成分を１０質量％以上含有させた溶融鉄合金５を、鉛直下方に向けて添加する。 - 特許庁

To provide a garment with color changing property enabling clearly recognizing the pattern and color of a portion under ultraviolet rays in the daytime and enabling a different design and color to come to the surface in the dark through letting a pattern part accumulating sunlight and illumination light spontaneously emit light.例文帳に追加

日中の紫外線下においては、一部の図柄や色彩が明確に認識でき、また暗闇においては、太陽光や照明光を蓄光した図柄部分が自然発光することで、異なったデザインや色彩を浮き出させることができる変色性衣服を提供すること。 - 特許庁

In the common mold choke coil where pluralities of coils are wound at a specific site in an eye-glasses shaped core formed integrally by sharing one portion in two annular magnetic circuits, a roller section where the wiring of the core is provided is formed in a square pillar shape, and the outer-periphery surface at both ends of the roller section is chamfered.例文帳に追加

２つの環状磁気回路が一部を共通にして一体的に形成されたメガネ型コアの所定部位に複数の巻線を施したコモンモードチョークコイルであって、メガネ型コアの巻線を施す巻軸部分を角柱状に形成し、巻軸部分両端の外周面を面取りした。 - 特許庁

Since the qualities of the patterned conductive layers 36 are stabilized by removing the burrs 38, the width of each patterned conductive layer 36 so does not exceed the width of each patterned black layer 35 as to be able to suppress preventively the deteriorations of the blackness of the front surface of a panel and the transmittance of a light projected from a light emitting portion.例文帳に追加

導電層３６のバリ３８を除去して品質を安定させるので、黒色層３５よりも導電層３６の幅が拡大せず、パネル前面の黒色度が悪化したり、発光部から照射される光の透過率が悪化するのを抑制防止できる。 - 特許庁

In the table 1 with the panel wherein the panel 5 turning from side to side is provided above the rear portion of a top plate 3, the panel 5 is supported by supports 9 erected upward from the right and left portions of the top plate 3 while at least a part of the lower end of the panel 5 is separated upward from the top surface of the top plate 3.例文帳に追加

天板３の後部上方に左右方向を向くパネル５を設けたパネル付きテーブル１において、パネル５は、天板３の左右から上方に向けて立設した支柱９に支持されるとともに、パネル５の下端部の少なくとも一部が、天板３の上面から上方に離間される。 - 特許庁

An end face 23a of a boss 23 in a silk-hat-shaped flexible external gear 20 with an outer tooth of the fluctuant gearing device 1 and an end face 22a of a diaphragm 22 are taken as a continuous flat surface located on a coplanar and strain gauge 41 is affixed on a boundary portion of the end faces 23a, 22a.例文帳に追加

波動歯車装置１のシルクハット形状の可撓性外歯歯車２０におけるボス２３の端面２３ａとダイヤフラム２２の端面２２ａは、同一平面上に位置する連続する平坦面とされ、端面２３ａ、２２ａの境界部分に歪みゲージ４１が貼り付けられている。 - 特許庁

The travel limiter comprises a valve seat 67a formed in an inner surface of a cylindrical member 67 fixed within a hole 20e of the tip portion 20, a ball valve 70, a retainer 100, a guide member 102 fixed on an opening of the cylindrical member 67, and a spring 104 disposed between the retainer 100 and the guide member 102.例文帳に追加

トラベルリミッタは、先端部の孔２０ｅ内に固定された円筒部材６７の内面に形成されている弁座６７ａと、ボール弁と、リテーナ１００と、円筒部材の開口部に固定されたガイド部材１０２と、リテーナとガイド部材の間に配置されたスプリング１０４とを備えている。 - 特許庁

To maintain an adequate value for a pressure at which a vane thrusts a cylinder surface by sufficiently supplying a lubricant to a bearing portion of a rotor shaft, regardless of the rotating speed of a rotor, and controlling an oil pressure to be supplied to a high pressure hole, through which a back pressure is supplied to the vane, according to the rotating speed of the rotor.例文帳に追加

ロータの回転数の大小に関わらずロータ軸の軸受部に潤滑油を充分に供給する共に、ベーンに背圧を供給する高圧穴に供給される油圧をロータの回転数により制御し、ベーンがシリンダ面を押圧する圧力を適正値に保つこと。 - 特許庁

A sludge adhesion suppressing structure for the internal combustion engine according to the present invention is characterized in that a sludge suppression layer 35B, which suppresses build-up or adhesion of the sludge, is formed on a surface of a portion inside the internal combustion engine where the oil is not constantly supplied and with which oil mist is in contact.例文帳に追加

本発明に係る内燃機関のスラッジ付着抑制構造は、オイルが常時行き渡らず且つオイルミストが接触される内燃機関内部の部位の表面に、スラッジの生成又は付着を抑制するためのスラッジ抑制層３５Ｂを形成したことを特徴とする。 - 特許庁

In the vicinity of the vertex 13 of a top end portion 12 of the nail 10 used for the framework wall method of construction or the conventional framework construction method, a flat surface 14 having a diameter in the range of 20% to 35% of the diameter of a shank 11 and a width in the range of 1 mm to 1.5 mm.例文帳に追加

枠組み壁工法或いは在来軸組工法に用いられる釘１０の先端部１２の頂点１３近傍に、軸１１の直径に対して２０％〜３５％であって直径１ｍｍ〜１．５ｍｍ範囲内の幅を有する平坦面１４を形成した。 - 特許庁

In the pneumatic tire with a TOS structure, a side reinforcing rubber layer 11 is provided on a side wall portion 3, and the height h1 in a radial direction of the boundary point P between the tread rubber Gt and the side wall rubber Gs on a tire surface is 0.3 to 0.75 times as high as the height H of a tire cross section.例文帳に追加

ＴＯＳ構造の空気入りタイヤであって、サイドウォール部３に、サイド補強ゴム層１１を設けるとともに、タイヤ表面におけるトレッドゴムＧｔとサイドウォールゴムＧｓとの境界点Ｐの半径方向高さｈ１を、タイヤ断面高さＨの０．３〜０．７５倍とした。 - 特許庁

The plastic flow of a caulked portion 8b to a fore end side of an end of the bearing holder 8 is suppressed by the caulking performed by a roller 24 having a pressing circumferential surface 26b of the conical shape, and the plastic flow is promoted on a circumferential wall part on the opposite side without any folding.例文帳に追加

加圧周面２６ｂの形状を円錐面とするローラ２４によるかしめ加工により、ベアリングホルダ８の端部先端側へのかしめ部８ｂの塑性流動が抑制され、このことで折り曲げられていない反対側の周壁部において塑性流動が促進される。 - 特許庁

The leg body 72 has an insertion hole 734 into which the projecting portion 712 is inserted at one end of the leg body, and a screw thread 731 engaging with the screw groove 717 on the inner circumferential surface of the insertion hole 734, and changes the projection length L by changing the screwing state with the support member 71.例文帳に追加

脚部本体７２は、一端に突出部７１２が挿入される挿入穴７３４を有し、挿入穴７３４の内周面にねじ溝７１７と螺合するねじ山７３１が形成され、支持部材７１との螺合状態が変更されることで前記突出長さＬを変更する。 - 特許庁

This platen is equipped with a steel sheet 2 placed by a unit cargo via a sheet pallet, and a fitting means 3 provided on the sheet 2 and detachably locked to base end rising portion (b) in the claw (a) of a fork lift; and the means 3 is to have a height dimension not to protrude downward from the lower surface of the claw (a).例文帳に追加

シートパレットを介してユニット貨物が乗せ置かれる鋼板２と、鋼板２に設けられてフォークリフトの爪ａにおける基端立ち上がり部分ｂに着脱可能に係止する取付手段３とを備え、取付手段３は爪ａの下面から下方に突出しない高さ寸法にした。 - 特許庁

The fixed iron core 6 is constituted such that one end on the opposite side to the movable iron core 7 in the moving direction of the movable iron core 7 penetrates the yoke 5 and that a collar part 32 projected from the whole periphery of the peripheral surface is formed at a portion, projected from the yoke 5, of the one end.例文帳に追加

固定鉄芯６は、可動方向７の移動方向における可動鉄芯７とは反対側の一端部が継鉄５を貫通するとともに、当該一端部の継鉄５から突出した部分には周面の全周から突出する鍔部３２が形成されている。 - 特許庁

The holding portion has a holding hole for inserting the feeding pin therein, at least three clamping portions becoming convex toward the inside from the inner circumferential surface of the holding hole in order to clamp the feeding pin inserted into the holding hole, and a space between and among at least the three clamping portions.例文帳に追加

そして、保持部は、給電ピンが挿入される保持穴と、保持穴に挿入された給電ピンを挟持するため、保持穴の内周面から内側に凸となる少なくとも３つの挟持部と、少なくとも３つの挟持部のそれぞれの間を空間とする空間部とを備える。 - 特許庁

For the implantation part 35, a length portion close to a driving depth D from the distal end is formed in a tapered conical shape coaxial to the shaft part 32 to provide a sharp point part 36 and projection parts 38 in a wedge shape in the cross sectional view are formed on the outer peripheral surface of the cone of the sharp point part 36.例文帳に追加

植設部３５は、先端から打ち込み深さＤに近い長さ部分が同軸部３２と同軸の先細円錐状に形成されて尖頭部３６が設けられるとともに、この尖頭部３６の円錐外周面に断面視楔状の突起部３８を形成して構成される。 - 特許庁

To form each left and right intermediate image component, separate left and right image generation systems (70) each comprises the resonant fiber scanner (137) that itself comprises a resonant cantilever portion (139) of optical fiber (138) that directs a modulated beam onto a curved surface (40) for projection by the ball lens assembly (30).例文帳に追加

左右中間画像要素の各々を形成するために、別々の左右画像生成システム（７０）は、各々、変調光線をボールレンズアセンブリ（３０）によって投影用曲面（４０）上へ向ける、光ファイバ（１３８）の共振カンチレバー部（１３９）を含む、共振ファイバ・スキャナ（１３７）を含んでいる。 - 特許庁

Furthermore, a circular folded portion is provided, or a groove of an arcuate, triangular or rectangular section is formed on the lower surface of the casing so that the flatness of the casing and the gap between a diaphragm and a backplate are uniformly maintained against outer pressure applied during a curling process in the processes for manufacturing the variable capacitance microphone.例文帳に追加

また、ケースの下面に円形の折曲部を設けるか、または、円弧形、三角形、四角形の溝を形成して、可変容量マイクロフォンの製造工程におけるカーリング工程中に加わる外圧に対し、ケースの平坦度と振動板と固定電極との間のギャップを一定に維持する。 - 特許庁

To improve coupling stability between a cover and an actuator base after assembling without obstructing size reduction by allowing a wall of the cover to exhibit elasticity for giving resilient force to a latching claw engaged with an engaging surface in a coupling portion between the cover and the actuator base.例文帳に追加

カバーとアクチュエータベースとの結合箇所で、係合面に係合した係止爪に復帰力を与えるための弾性をカバーの壁部によって発揮させることによって、小形化を阻害することなく、組立て後のカバーとアクチュエータベースとの結合安定性を向上させる。 - 特許庁

In the method wherein the water-soluble binder is coated on the surface of the welding portion of brazing parts, the powder brazing material is sprayed on the binder, and after the water-soluble binder is dried, a welding mating member is overlapped thereon and brazing treatment is applied thereto, the powder brazing material having higher temperature than room temperature is sprayed.例文帳に追加

ろう付け部品の接合部表面に水溶性バインダーを塗布した後、該バインダー上に粉末ろう材を散布し、その後水溶性バインダーを乾燥させてから接合する相手材と重ね合せてろう付け処理する方法において、室温より高い温度の粉末ろう材を散布する。 - 特許庁

This inkjet recorder comprises a cleaning mechanism for cleaning the surface of the inkjet head by moving in a non-contact manner, and a control mechanism for performing sucking after moving the ink used in the cleaning to a portion out of the discharge nozzle of the inkjet print head.例文帳に追加

インクジェットプリントヘッド表面を非接触で移動しながらクリーニングを行うクリーニング機構と、クリーニングを行う際に使用したインクをインクジェットプリントヘッドの吐出口以外の場所まで移動させた後、吸引を行う制御機構を有することを特徴とするインクジェット記録装置。 - 特許庁

The upstream tip end of the suppressing belt means 18 protrudes to the outside of the tunnel main body 10, the downstream tip end is located at a predetermined position of the inside of the tunnel main body and the portion contacting the upper surface of the intermediate packaged item 13 moves accompanying the transfer of the intermediate packaged item 13.例文帳に追加

抑えベルト装置は、その上流側の先端はトンネル本体の外部に突出し、下流側の先端はトンネル本体の内部所定位置に位置するように配置し、かつ、中間包装体の上面に接触した部分は、その中間包装体の搬送に伴って移動するようにした。 - 特許庁

After a device isolation groove is formed in a device isolation region on a semiconductor substrate 1, thermal oxidation treatment is then applied to the semiconductor substrate 1 to form a liner oxide film on an inner wall surface of the device isolation groove, and a silicon oxide film is continuously embedded within the device isolation groove to form a separated portion SGI.例文帳に追加

半導体基板１の素子分離領域に素子分離溝を形成した後、半導体基板１に熱酸化処理を施して素子分離溝の内壁面にライナー酸化膜を形成し、続いて素子分離溝の内部に酸化シリコン膜を埋め込むことにより分離部ＳＧＩを形成する。 - 特許庁

In the separator 44 of the liquid fuel type fuel cell 2, air supply grooves 106 formed on the surface of a separator body plate 101 being an integrated injection molding are communicated with air inlet ports 114 formed in the rectangular frame portion 103 on the outer circumference side of the separator body plate.例文帳に追加

液体燃料形燃料電池２のセパレータ４４では、一体射出成形品であるセパレータ本体板１０１の表面に形成した空気供給溝１０６が、セパレータ本体板の外周側の矩形枠状部分１０３に形成した空気取り込み口１１４に連通している。 - 特許庁

To provide technology which can deposit a solid electrolyte membrane over the surface of an entire electrode compact without causing a non-deposited portion to occur when forming a solid electrolyte membrane, making it possible to offer a nonaqueous electrolyte battery in which shorting between cathode and anode by a Li dendrite is restricted.例文帳に追加

固体電解質膜の形成に際して未成膜部が生じることなく、電極成形体の全面に固体電解質膜を成膜させることができ、Ｌｉデンドライトによる正負極の短絡が抑制された非水電解質電池を提供することができる技術を提供する。 - 特許庁

To prevent a resin material 5 from invading and prevent a lens part 2 from being deformed by the injection pressure during secondary injection, in the case of butting the primarily shaped lens part 2 and housing 4 each other and secondarily injecting the resin material 5 in the butt surface portion to shape a lamp 1.例文帳に追加

一次成形されたレンズ部２とハウジング４とを互いに突合せた後、該突合せ面部位に樹脂材５を二次射出してランプ１を成形するに際し、二次射出時の射出圧を受けて、樹脂材５の侵入を防止すると共に、レンズ部２が変形しないようにする。 - 特許庁

On the surface of a semiconductor substrate 301 at the lower portion of the connection electrode 308, p-type impurities are introduced selectively, thus forming a high-concentration p-type impurity region 310 having a p-type impurity concentration that is higher than that of the pixel separation region 306.例文帳に追加

また、接続電極３０８の下方における半導体基板３０１の表面には、Ｐ型不純物を選択的に導入することによって、画素分離領域３０６よりＰ型不純物濃度が高い高濃度Ｐ型不純物領域３１０が形成されている。 - 特許庁

A backrest for the patient chair has a back shell with a substantially rigid S-shaped central portion at the center and laterally extending wing portions which have sufficient flexibility to allow deflection toward the front surface upon application of a force.例文帳に追加

本発明により、実質的な剛性を有する中央のS字形中央部と、力がかけられたときに前面の方へ撓むのを可能にするのに十分な可撓性を持つ横方向に延びているウィング部とを含む背もたれシェルを有する患者用椅子の背もたれが提供される。 - 特許庁

To provide a method for utilizing a member formed of embrittled carbon steel which is used in an ammonium manufacturing process, hydrocyanic synthesis, an acrylonitrile manufacturing process by and ammoxidation of propylene and the like with a surface portion nitrided by nascent nitrogen generated by decomposition of high-temperature and high-pressure ammonium by restoring the ductility thereof.例文帳に追加

アンモニアの製造プロセス、青酸合成、プロピレンのアンモ酸化によるアクリロニトリルの製造プロセス等で使用し、高温高圧のアンモニアが分解して生じた発生期の窒素によって表面部が窒化し、脆化した炭素鋼からなる部材を、その延性を回復させ、利用する方法に関する。 - 特許庁

A body structure positioned below the gaps between side-part outer surfaces of the switch knob 10 and outer surfaces of the switch-knob set portion on the upper surface part of the body 12 is formed such that groove parts 30 wider and longer than the gaps cover areas positioned just under the gaps.例文帳に追加

そして、このスイッチノブ１０の側部外表面と前記ボディ１２上面部のスイッチノブ設置箇所の外表面との間の隙間の下方位置のボディ構造は、前記間隙よりも広い幅でかつ長い溝部３０がその間隙の真下位置の領域をカバーするように形成されている。 - 特許庁

The second wiring 26 covers substantially the entire surface of the semiconductor chip 21 except the first wiring 25 and an opening portion 27 enclosing the first wiring 25, and contributes to efficient conduction of heat generated by the semiconductor chip 21 to a circuit board through the second solder bump 32.例文帳に追加

第２配線２６は、第１配線２５および第１配線２５を囲む開口部２７を除いて、半導体チップ２１の表面のほぼ全体を覆っており、半導体チップ２１から発せられる熱を第２半田バンプ３２を介して回路基板に効率よく伝えるのに寄与する。 - 特許庁

To suppress degradation in water purification efficiency when the amount of water in a storage container is large, in a humidity controller increasing the amount of humidification water contacting active species on the water surface by using a gas-liquid contact member moved while its one portion is immersed in water.例文帳に追加

一部分が水に浸漬した状態で動かされる気液接触用部材を用いて、水面上で活性種に接触する加湿用の水の量を増やす調湿装置において、貯留容器の水量が多いときに水の浄化効率が低下することを抑制する。 - 特許庁

The aid 20 used when covering the stem 15 of the chemical injection port 11 by the proximal end part of the catheter 12 and attaching a catheter fixing member 13 to the outer periphery of the proximal end part is constituted of an aid body 21 and a pressurizing portion 22 formed on the outer peripheral surface of the aid body 21.例文帳に追加

薬液注入ポート１１のステム１５をカテーテル１２の基端部で被覆して、その外周にカテーテル固定部材１３を取り付ける際に用いられる補助具２０を、補助具本体２１と、補助具本体２１の外周面に形成された押圧部２２とで構成した。 - 特許庁

If, however, a water drop W adheres to the lens surface S as shown in (b), ruggedness is produced at the boundary with the air and since the way of refraction varies in the portion where the water drop W adheres and where the water drop does not adhere, parallel incident light L is not emitted in the parallel state any more.例文帳に追加

しかし、（ｂ）に示すように、レンズ表面Ｓに水滴Ｗが付いていると、空気との界面に凹凸ができ、水滴Ｗが付いている部分と付いていない部分とで屈折の仕方が異なるため、平行に入射した光Ｌが平行のまま出射しなくなる。 - 特許庁

Thus, the outer appearance of the end surface portion of the wafer W in the dry etching which is highly relevant to the occurrence of a defect in the device process is observed, so that it can be suitably evaluated whether the wafer W has a high possibility of defect occurrence in the device process.例文帳に追加

デバイスプロセスの欠陥の発生と関連性が強い、ドライエッチングを行った際のウェーハＷの端面部の外観を観察するようにしているので、ウェーハＷがデバイスプロセスにおいて欠陥を発生させる可能性が高いか否かを適切に評価することができる。 - 特許庁

Thermal environment within a furnace 4 for making single crystals can be stabilized, since a sapphire as a glass used on a window portion covering a heat radiating opening 5 of the furnace 4 for making single crystals rarely generates changes in the surface such as devitrification resulting from heat or others comparing to quartz.例文帳に追加

単結晶製造炉４の放熱孔５を覆う窓部に用いられるガラスとしてのサファイアは石英と比較して、熱等の影響による失透という表面の変化がほとんど発生しないので、単結晶製造炉４内の熱環境の安定化が図れる。 - 特許庁

A substrate support device is provided with an SiC susceptor 11 which horizontally supports only one wafer W and has a recessed substrate support section 13 on which the wafer W is placed on its upper surface and five through holes 14 at a portion including the peripheral edge section of the support section 13.例文帳に追加

基板支持装置は、ウェハＷを１枚だけ水平に支持するＳｉＣ製のサセプタ１１を備えており、このサセプタの上面部には、ウェハが載置される凹状の基板支持部１３が形成され、基板支持部の周縁部を含む部位には、５つの貫通穴１４が設けられている。 - 特許庁