「CONTACT PROCESS」に関連した英語例文の一覧と使い方(39ページ目) - Weblio英語例文検索

These wire- shaped semiconductor films 2a play the role as protective films to protect the leader wiring 14 and protect the leader wiring 14 from an etchant of a contact hole forming process step even in case of the occurrence of pinholes in insulating films 15 covering the leader wiring 14.例文帳に追加

この線状半導体膜２ａが引出し配線１４を保護する保護膜としての役割を果たすのであり、引出し配線１４を覆う絶縁膜１５にピンホールが生じた場合にも、コンタクトホール形成工程のエッチング液から引き出し配線１４を保護する。 - 特許庁

Then, the temperature rises in a deposition layer on the terminal pin 1 in the contact C melting it and, since no plating adhesion failure is produced, the elimination process for the plating adhesion failure after the press fitting of the terminal pin 1 is not necessary and all inconvenience due to plating adhesion failure S is eliminated.例文帳に追加

すると、接触部Ｃで端子ピン１のメッキ層が昇温して溶け、メッキ削れが生じることがないので、端子ピン１の圧入後にメッキ削れの除去工程を必要としないで、メッキ削れＳに起因する不都合を完全になくすことができる。 - 特許庁

The method of manufacturing the cellulose inclusion for which the content of the calcium carbonate is reduced includes a process of bringing carbon dioxide into contact with the cellulose inclusion containing the calcium carbonate and dissolving the calcium carbonate in the cellulose inclusion.例文帳に追加

本発明によって、炭酸カルシウムを含むセルロース含有物に二酸化炭素を接触させ、セルロース含有物中の炭酸カルシウムを溶解させる工程を含む、炭酸カルシウムの含有量が低減されたセルロース含有物を製造する方法が提供される。 - 特許庁

The method of modifying fluorine resin film includes a process of causing a fluorine resin film to contact with a gas containing fluorine atom and either one of a gas containing oxygen atom or inactive gas to provide hydrophilicity to the surface of the fluorine resin film.例文帳に追加

フッ素樹脂フィルムの改質方法は、フッ素樹脂フィルムに、フッ素原子を含むガスと、酸素原子を含むガス又は不活性ガスの少なくとも何れか一方とを含有する処理ガスを接触させることにより、当該フッ素樹脂フィルムの表面に親水性を付与する。 - 特許庁

By applying sintering on the green sheet applied with heat treatment by placing a mounting member having a prescribed flatness in contact face with green sheet, warping by sintering can be suppressed and polishing process after sintering can be suppressed to a minimum.例文帳に追加

本発明において、加熱処理が施されたグリーンシートに、グリーンシートとの接触面が所定の平坦度を有する載置部材を載せて焼結することにより、焼結による反りを抑制することができ、焼結後の研磨加工を最小限に抑えることができる。 - 特許庁

This production method for the composition for forming the liquid immersion upper layer film includes a process for bringing a monomer for a liquid immersion upper layer polymer or a polymerization solution obtained by polymerizing the monomer, into contact with an ion exchange resin having a cation exchange group.例文帳に追加

液浸上層膜用重合体の単量体または前記単量体を重合して得られた重合溶液を、カチオン交換基を有するイオン交換樹脂に接触させる工程を含む液浸上層膜形成用組成物の製造方法である。 - 特許庁

To provide a process for producing a synthetic resin molding having a more excellent photocatalysis by increasing the area of contact of photocatalyst particles with the external organic substances by subjecting a synthetic resin article to an operation of exposing the photocatalyst particles to the surface of the article.例文帳に追加

合成樹脂物品表面に光触媒粒子を露出せしめる操作を施すことにより、光触媒粒子と外部有機物との接触面積を増大させて、より優れた光触媒作用を有する合成樹脂成形品の製造方法を提供する。 - 特許庁

As the soil spreading composition, nitrolime alone or a mixture of nitrolime with a decomposition inhibiter suppressing the decomposition of cyanamide produced as an intermediate product in the decomposition reaction process in which nitrolime is decomposed by the contact with water can be used.例文帳に追加

土壌散布用組成物として石灰窒素のみ、またはこの石灰窒素と、この石灰窒素が水と接触して分解される分解反応過程で中間生成物として生成されるシアナミドの分解を抑制する分解抑制剤との混合物であってもよい。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor light element capable of preventing the reduction of contact area between a semiconductor layer in a waveguide ridge top and an electrode by a simple process, and preventing the semiconductor layer in the waveguide ridge top from being damaged by etching.例文帳に追加

簡単な工程により導波路リッジ頂部の半導体層と電極の接触面積の減少を防ぎ、導波路リッジ頂部の半導体層がエッチングによって損傷を受けるのを防ぐことができる半導体光素子の製造方法を得る。 - 特許庁

To provide a piston simplifying a surface finishing process for reducing frictional resistance of a skirt part and reducing frictional resistance, in both of a solid contact area with deteriorated oil lubrication condition and a complex lubrication area in which oil is circulated.例文帳に追加

スカート部の摩擦抵抗を低減するための表面処理工程を簡易化すると共に、オイルの潤滑状態が悪い固体接触領域と、オイルが循環する複合潤滑領域との両領域において、摩擦抵抗を低減できるピストンを提供する。 - 特許庁

To provide a nitride-based semiconductor laser of high reliability and high output by forming a window region without deteriorating contact resistance, in a laser process where a nitrogen material gas containing a hydrazine derivative is used for crystal growth of p-type layer of a nitride semiconductor.例文帳に追加

窒化物半導体のｐ型層の結晶成長にヒドラジン誘導体を含む窒素原料ガスを用いたレーザプロセスに於いてコンタクト抵抗を劣化させること無く窓領域を形成して、信頼性の高い高出力の窒化物半導体系レーザを得る。 - 特許庁

To provide a semiconductor device, and its fabricating method, in which a diode having a negative resistance and a Schottky diode having good Schottky characteristics can be integrated on the same substrate by a simple fabrication process without causing any deterioration of contact resistance or epitaxial structure.例文帳に追加

製造プロセスが容易でコンタクト抵抗の劣化やエピタキシャル構造の劣化のない負性抵抗を有するダイオードと良好なショットキー特性を持つショットキーダイオードを同一基板上に集積することができる半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

The method of treating plants or plant parts contains a process for bringing the plants or plant parts into contact with at least one composition containing at least one double bond-added cyclopropene compound.例文帳に追加

本発明は、一般には、植物または植物部分の処理方法であって、当該植物または植物部分を少なくとも１つの二重結合付加シクロプロペン化合物を含有する少なくとも１つの組成物と接触させる工程を含む方法に関する。 - 特許庁

To provide a foamed molded product which certainly brings the end part of a skin into close contact with a core material to prevent the leak of a foamable material and capable of omitting a process which cuts the unnecessary skin after a foam layer is formed, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

表皮の端部を芯材に確実に密着させて発泡性材料の漏れを防止するとともに、発泡層形成後に不要な表皮をカットする工程を省略することが可能な、発泡成形品及びその製造方法を提供すること。 - 特許庁

In the phosphor forming process, a nozzle 200 is positioned at the upper part of the guide barrier rib 127, and a phosphor paste is made to contact the guide barrier rib 127, then, the nozzle 200 is moved to form the end part of the phosphor layer on the guide barrier rib 127.例文帳に追加

蛍光体形成工程において、ノズル２００をガイド隔壁１２７の上方に位置させ、蛍光体ペーストをまずガイド隔壁１２７に接触させてから、ノズル２００を移動させることにより、蛍光体層の端部をガイド隔壁１２７上に形成した。 - 特許庁

The process (II) comprises steps of: (6) adding strong alkaline agent to a dissociated solution of rare earth carbonate to generate, condense and recover ammonium; and (7) bringing ammonium into contact with generated carbon dioxide to form ammonium bicarbonate solution and to recycle the welding as a precipitant for forming rare earth carbonates.例文帳に追加

工程（ＩＩ）は、（６）炭酸希土の分離溶液に強アルカリ剤を添加してアンモニアを発生・凝縮して回収し、（７）発生炭酸ガスと接触させ重炭酸アンモニウム溶液を形成、当該溶液を炭酸希土類形成の沈殿剤として再利用する。 - 特許庁

A process to open contact holes 26, 27 on a passivation film 32 includes: a step to pattern form a photoresist on the interlayer insulating film; and a step to apply dry-etching to the passivation film 32 with the photoresist being used as a mask not through a step for post-baking the photoresist.例文帳に追加

パッシベーション膜３２にコンタクトホール２６，２７を開口する工程は、層間絶縁膜上にフォトレジストをパターン形成する工程と、フォトレジストをポストベークする工程を経ることなく、フォトレジストをマスクとしてパッシベーション膜３２にドライエッチングを施す工程と、を備える。 - 特許庁

When the intermediate transfer belt 11 leaves process units 20Y, 20C, 20M, acceleration moment occurs by energizing force of the spring 65 in the eccentric cam 63, but it is canceled by a brake means 66 provided integrally in the movable member 62 and coming into contact with a cam face.例文帳に追加

中間転写ベルト１１をプロセスユニット２０Ｙ、２０Ｃ、２０Ｍから離間させるとき、偏心カム６３にはバネ６５の付勢力で加速モーメントが生じるが、可動部材６２に一体に設けられた、カム面に接触するブレーキ手段６６により打ち消される。 - 特許庁

The method for producing the glycidyl ether comprises the following process: A specified halohydrin ether as a compound of the general formula(I) and an alkali-containing aqueous solution are made to flow through a flow path with a cross-section area of 300-50,000μm^2 to carry out a reaction under the mutual contact of the compound and the alkali with each other.例文帳に追加

流路断面積が３００〜５０，０００μｍ^2の流路に、所定のハロヒドリンエーテルとアルカリを含有する水溶液とを流通させ、一般式（Ｉ）で示される化合物とアルカリとを接触させて反応を行うグリシジルエーテルの製造方法。 - 特許庁

To provide a cassette-type substrate carrier that can transport the substrates among processing apparatuses in a vacuum state, as are, without making the contact the atmosphere, and realize automation and performance improvement in a flat panel display manufacturing process, and to provide a processing method that uses the substrate carrier.例文帳に追加

基板を、大気に接触させずに真空状態のまま処理装置間で搬送することができ、フラットパネルディスプレイ製造工程の自動化と性能向上とを可能とするカセット式基板搬送装置及びこれを用いた基板の処理方法を提供する。 - 特許庁

The exposure apparatus includes a cleaning device which has a first supply port capable of supplying a plasma produced from a process gas, and cleans a member to be cleaned by bringing the plasma supplied from the first supply port into contact with the member to be cleaned.例文帳に追加

露光装置は、プロセスガスより生成されたプラズマを供給可能な第１供給口を有し、第１供給口から供給されたプラズマと洗浄対象部材とを接触させて、洗浄対象部材をクリーニングするクリーニング装置を備えている。 - 特許庁

To provide a method of forming a pattern of a semiconductor device, in which a photoresist pattern of a line pattern is formed, and by using a resist flow process, a further finer line pattern can be formed, wherein the photoresist pattern of the line pattern is formed by overlapping a plurality of contact hole patterns on a line.例文帳に追加

本発明は、複数のコンタクトホールパターンが重なりながら一列に形成されたラインパターンのフォトレジストパターンを形成することにより、レジストフロー工程時にさらに微細なラインパターンを形成することができる半導体素子のパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To simplify the structure and production process of an IC card by providing a terminal board for IC card that the corrosion resistance in atmosphere, etc., required for frequent contact with the terminal of external equipment and satisfactory bonding property capable of directly brazing a wire are made compatible.例文帳に追加

外部機器の端子と頻繁に接触するために必要な大気中での耐食性等と，直接にワイヤを鑞付けできる優れたボンディング性とを両立したＩＣカード用端子板を提供し，ＩＣカードの構造および製造工程を簡略化させること。 - 特許庁

Consequently, even if the mold releasing layer rises in a transfer process, the contact of the rising part with an opposing base or a thin membrane 105 transferred already on the opposing base is avoided, and predetermined pressure is applied on the whole face of the thin membrane 105.例文帳に追加

これにより、転写工程において離型層が隆起しても、その隆起した部分が対向基板、あるいは対向基板に既に転写された薄膜１０５に接触するのを避けることができ、薄膜１０５全面に所定の圧力を印加することができる。 - 特許庁

In a process of inserting the first leg section 20 into the hole 51, the end side-leg portion 32 is in slidable contact with the peripheral surface of the shaft 50 and twisted in a direction separating from the virtual plane P while the base end-side leg portion 31 is opened and deformed with the turning-back portion 40 as a fulcrum.例文帳に追加

第１脚部２０の孔５１への挿入過程では、基端側脚部３１が折り返し部４０を支点として開き変形しつつ先端側脚部３２がシャフト５０の外周面を摺接して仮想平面Ｐから離れる向きにねじれる。 - 特許庁

To provide a structure which is superior in air tightness without causing a sealing face to deteriorate contact pressure on a tank body even if clamping a flange or the like of an attached part for a pump module, a fuel gauge, a valve or the like, and which lowers a manufacturing cost and simplifies a manufacturing process and further reduces weight.例文帳に追加

ポンプモジュール、フューエルゲージ、バルブ等の装着部品のフランジ等を締結しても、タンク本体へのシール面の面圧低下を招かない気密性の良好な、製造コストを低下させ、製作工程を簡略化、更に、軽量化させる構造を提供する。 - 特許庁

This adiposity-inhibiting ability assaying method is characterized by (1) having the first process for measuring the activity of nicotinamide phosphoribosyl transferase in the contact system of the nicotinamide phosphoribosyl transferase with a test substance and (2) the second process for evaluating the adiposity-inhibiting ability of the substance on the basis of a difference obtained by comparing the activity measured in the first process with the activity of a control.例文帳に追加

脂肪蓄積抑制能力の検定方法であって、（１）ニコチンアミドホスホリボシルトランスフェラーゼと被験物質との接触系内における前記ニコチンアミドホスホリボシルトランスフェラーゼの活性を測定する第一工程、及び（２）第一工程により測定された活性と対照における活性とを比較することにより得られる差異に基づき前記物質の脂肪蓄積抑制能力を評価する第ニ工程、を有することを特徴とする脂肪蓄積抑制能力の検定方法等が提供可能になった。 - 特許庁

To provide an antenna board for a non-contact IC medium which dispenses with extra steps of an anti-sticking and an increase in production costs, the anti-sticking process preventing non-antenna-element areas of a substrate from sticking to each other when a plurality of the antenna boards are stacked, and to provide a non-contact IC medium using the same.例文帳に追加

本発明は、非接触ＩＣ媒体用のアンテナ基板において、複数枚のそのアンテナ基板が積み重ねられた場合に、基材のアンテナ類が無い部分が貼り付いてしまう現象を低減する、余分な工程を必要とせず、製造コストの上昇を招くことのない貼り付き低減処理が施された非接触ＩＣ媒体用アンテナ基板およびそれを用いた非接触ＩＣ媒体を提供する。 - 特許庁

This composite is obtained by the following process: an elastomeric polymer such as a raw rubber crosslinkable with a peroxide or thermoplastic elastomer and a thermosetting resin curable with a peroxide are brought to mutual contact followed by crosslinking at least such a part of the elastomeric polymer as to be in contact with the thermosetting resin along with curing the thermosetting resin to effect integration of the elastomer and the thermosetting resin.例文帳に追加

過酸化物で架橋可能な原料ゴムや熱可塑性エラストマー等のエラストマー性ポリマーと、過酸化物で硬化可能な熱硬化性樹脂とを、互いに接触した状態とするとともに、過酸化物により、エラストマー性ポリマーのうちの少なくとも前記熱硬化性樹脂に接触している部分を架橋すると同時に熱硬化性樹脂を硬化することによって、エラストマーと熱硬化性樹脂とが合体した複合体を得る。 - 特許庁

A process for manufacturing the friction driving belt includes a step of hot molding an elastomer composition in which hollow particles 18 are blended, thereby forming a belt body preform, and a step of cutting the formed belt body preform, thereby partially cutting away the hollow particles 18 blended into the elastomer composition to form the pulley contact part 13 with a multiplicity of cellular pits 15 composed on the pulley contact surface.例文帳に追加

摩擦伝動ベルトの製造方法は、中空粒子１８が配合されたエラストマー組成物を加熱成形することによりベルト本体前駆体を形成するステップと、形成されたベルト本体前駆体を切削して、エラストマー組成物に配合された中空粒子１８の一部が切除されることにより多数のセル状凹孔１５がプーリ接触表面に構成されたプーリ接触部分１３を形成するステップとを備える。 - 特許庁

The communication muting apparatus in the voice conference system is provided with a contact sensor device 104 mounted on an external surface of a housing to permit the plurality of near end communicators to make contact operation, and a communication muting means 301 for executing and suspending communication muting process to communication speech of the near end communicator to far end communicators.例文帳に追加

音声会議システムにおける送話ミュート装置は、複数の近端話者が接触操作できるように筐体外面に設けられた接触センサ装置１０４と、通話時に接触センサ装置１０４から入力する接触検知情報に基づき近端話者の遠端話者への送話音声に対して送話ミュート処理の実行とその停止とを行う送話ミュート手段３０１とを備えている。 - 特許庁

The method for preventing scaling in an open circulatory cooling water system, wherein the cooling water is made to flow through an apparatus including means to make the cooling water contact inorganic matter same as or similar to the scale produced in the cooling water system, is characterized in that the cooling water passes through an electrolyzing process prior to its contact with the inorganic matter same as or similar to the scale.例文帳に追加

開放循環式冷却水系において、冷却水を該冷却水系で発生するスケール物質と同一又は類似の無機物と接触させる手段を備えた設備に通水するスケール付着防止方法において、スケール物質と同一又は類似の無機物と接触させる前に、該冷却水を電気分解する工程に通すことを特徴とする冷却水系のスケール付着防止方法。 - 特許庁

To provide a surface treatment method of an elastic member by which a coefficient of kinetic friction of a surface of the elastic member used in an image forming apparatus using an electrophotographic process is lowered and reduction in a contact angle of the surface of the elastic member to water can be suppressed.例文帳に追加

本発明は、電子写真プロセスを利用した画像形成装置に用いる弾性部材の表面の動摩擦係数を下げて且つ弾性部材の表面の水に対する接触角の低下を抑える事ができる弾性部材の表面処理方法を提供する。 - 特許庁

A boat 1 (the holder for liquid phase growth) is used for in a liquid phase epitaxial growth process comprising bringing a growth liquid 5 into contact with the main surface of a semiconductor substrate 2 and forming an epitaxial layer on the main surface of the semiconductor substrate 2, and the base body 1a of the boat 1 is made of graphite.例文帳に追加

ボート１（液相成長用治具）は、半導体基板２の主表面に成長溶液５を接触させ半導体基板２の主表面にエピタキシャル層を形成する液相エピタキシャル成長に用いられ、基体１ａが主にグラファイトにてなる液相成長用治具である。 - 特許庁

Regarding the cleaning apparatus having the cleaning member 3 for removing residual toner remaining on a photoreceptor 1 after a transfer process from the photoreceptor 1, the position of the cleaning member 3 with reference to the photoreceptor 1 is decided by making a positioning member 4 arranged on the cleaning member 3 side come in contact with the photoreceptor 1.例文帳に追加

感光体１上の転写残トナーを感光体１から取り除く為のクリーニング部材３を有するクリーニング装置において、感光体１に対するクリーニング部材３の位置はクリーニング部材３側に取り付けた位置決め部材４と感光体１が接することで決まるようにした。 - 特許庁

To provide felt materials to be applied for such a photographic image formation process or various working equipment as an electronic copying machine, a laser beam printer and a facsimile machine for achieving the leakage prevention of toner and the scraping of residual toner by bringing it close contact with the peripheral faces of a photoreceptor drum, developing roller and fixing roller or the like.例文帳に追加

フェルト材として主に電子複写機、レーザビームプリンタ、ファクシミリのような写真画像形成プロセスまたは各種の作業機器に適用し、感光ドラム、現像ローラや定着ローラなどの周面に密接することにより、トナーの漏出防止および残トナーの掻き取りなどを達成する。 - 特許庁

To provide an electrophotographic apparatus and a process cartridge capable of suppressing the occurrence of charged memory due to friction between an electrophotographic photoreceptor and a contact charging member, capable of maintaining high charge uniformity through a long duration, and capable of suppressing occurrence of image defects.例文帳に追加

電子写真感光体と接触帯電部材との摩擦による帯電メモリーの発生を抑制することができ、また、耐久を通して高い帯電均一性を維持することができ、画像不良の発生を抑制することができる電子写真装置およびプロセスカートリッジを提供する。 - 特許庁

This method of improving the efficiency of establishing the iPS cell includes a step of bringing, into contact with somatic cells, one or more compounds selected from a group composed of a compound expressed by formula (1) in the nuclear initialization process, and salts, solvates and prodrugs thereof which are allowed in view of pharmacology.例文帳に追加

核初期化工程において、式（Ｉ）：で表される化合物並びにそれらの薬学上許容される塩、溶媒和物及びプロドラッグからなる群より選択される1以上の化合物を体細胞に接触させることを含む、iPS細胞の樹立効率改善方法。 - 特許庁

To provide a current breaker that does not need a connection conductor such as a nickel plate for connecting with an external terminal like battery or circuit board, so as to simplify the connection process as well as to diminish the possibility of contact failure.例文帳に追加

電池や電子基板や電池等の他の端子と接続する場合に、必ず必要とされたニッケルプレート等の接続用の導体が不要となり、接続工程の簡素化が可能で、接続不良の発生の可能性を低減することができる電流切断器の提供を図らんとする。 - 特許庁

In the container, the active mineral water is prepared by alternately repeating the following steps: a step for making water pressurized to 5-25 atom contact with and pass through a mineral inorganic substance selected from basalt, andesite, and magnetite; and a step for aerating the water obtained by the above process in an atmosphere less than the above atmosphere.例文帳に追加

活性化鉱水は、５〜２５気圧に加圧された水を玄武岩、安山岩、磁鉄鉱から選ばれる鉱物性無機物質に接触通過させる工程と、この工程を経た水を前記気圧未満の雰囲気下に曝気する工程を交互に繰り返して製造された活性化鉱水である。 - 特許庁

This insert-type barrier layer can prevent oxidation of a capacitor dielectric layer when the capacitor dielectric layer is deposited or in a high temperature process thereafter, resulting in preventing leakage and reliability problems which could be generated when the barrier layer and a memory electrode are brought into direct contact with each other.例文帳に追加

この嵌入式のバリア層は、コンデンサ誘電層を堆積する時、或いはその後の高温過程で、該コンデンサ誘電層が酸化するのを防ぐことができ、これにより、バリア層と記憶電極が直接接触する時に生じうる漏電や信頼度の問題を解決することができる。 - 特許庁

This radiation-sensitive resin composition is used for forming a resist film for use in a resist pattern formation method including a liquid dipping exposure process using bicyclohexyl as a liquid for liquid dipping exposure, and the static contact angle of a formed resist film to the hydroxyl is 30-90°.例文帳に追加

液浸露光用液体としてビシクロヘキシルを用いた液浸露光工程を含むレジストパターン形成方法で使用されるレジスト膜の形成に用いられ、形成されたレジスト膜の、ビシクロヘキシルに対する静的接触角が３０〜９０°である感放射線性樹脂組成物。 - 特許庁

To provide a transfer roller that dispenses with polishing process in manufacture, excels in a reduction in material loss and recyclability, has stable conveyance of paper, ensures uniform contact with a photoreceptor drum to provide satisfactory transferability, and to provide an image forming apparatus that uses the transfer roller.例文帳に追加

製造において研磨工程を必要とせず、材料のロス削減やリサイクル性に優れ、また安定した紙搬送性を有し、且つ感光ドラムに対しても均一な接触を確保して良好な転写性を得る転写ローラおよびその転写ローラを用いた画像形成装置を提供する事。 - 特許庁

To provide a surface modifying method and the device by performing a peening process without any contact between a workpiece to be modified and a vibration plate, to reduce a reaction force applied to the vibration plate and need no solid shot material used for other peening methods, resulting in a decreased cost, no need to collect peening material and superior executing performance.例文帳に追加

被改質材と振動板とを非接触とした状態でピーニング作用を行え、振動板に加わる反力が小さく、他のピーニングの様に固形のショット材が不要であり、大幅なコスト低下が図れるとともに、ピーニング材を回収する必要を無くし、施工性の優れたものとする。 - 特許庁

A polymerized wafer is placed at a position in a processing space between a first holding part and a second holding part, which is not in contact with the first holding part and the second holding part, by a lifting mechanism and an inactive gas is supplied into the processing space from a gas supply pipe (Process A1).例文帳に追加

第１の保持部と前記第２の保持部との間の処理空間内であって、当該第１の保持部と第２の保持部に接触しない位置に、昇降機構によって重合ウェハを配置し、ガス供給管から処理空間内に不活性ガスを供給する（工程Ａ１）。 - 特許庁