「difference between」に関連した英語例文の一覧と使い方(447ページ目) - Weblio英語例文検索

The element 3 for duplex is closely attached to the mouth piece 1 of the equipment in parallel to the mouth piece 1 and the element 2 for simplex is obliquely attached to the mouth piece 2 so that the speech receiving S/N at the other station may be fixed by performing level correction in transmitting by utilizing the sensitivity difference between the two elements 2 and 3.例文帳に追加

複信用のマイクエレメントは送話口に対して密着して平行に取付け、一方、単信用のマイクエレメントは送話口に対して傾斜をつけた形で取付け、２つのマイクエレメントの感度差を利用して送話時のレベル補正を行ない、相手局の受話Ｓ／Ｎの一定化を図る。 - 特許庁

The beam sources is implemented using a Zeeman-split laser (12a, 12B), a laser (12C, 12D) containing a birefringent element, a pair of phase-locked lasers (602, 604), and/or a variety of configurations of electro-optic or acousto-optic crystals operated to create or enhance the frequency difference between the beam components.例文帳に追加

ビーム源は、ゼーマン分裂レーザ(12A、12B)、複屈折要素を含むレーザ(12C、12D)、位相ロックレーザ(602、604)の対、及び／又はビーム成分間で周波数差を生成または強化するように動作する種々の電気光学結晶または音響光学結晶の構成を使用して実現され得る。 - 特許庁

A calculation part adds up the flow rates of all the identification numbers to calculate a synthetic flow rate, and calculates a difference between the first and second allowable power transmission amount and the synthetic flow rate in the electrical power routes in the first and second directions respectively, and calculates the first and second empty capacities.例文帳に追加

算出部は、すべての識別番号の流量を合算して総合流量を算出し、第１及び第２の方向の電力の経路の第１及び第２の送電可能量と総合流量との差をそれぞれ求め、第１及び第２の空容量を算出する。 - 特許庁

By moving the first tightening member 3 in the tightening direction in the tightening member housing room 2a, the difference of the height between the first tightening member 3 and connecting parts 6, 7 of a conductive path is absorbed, and the first connecting part 6 and the second connecting part 7 are tightened and fixed to the terminal board 1.例文帳に追加

第１締付け部材３を締付け部材収容室２ａ内で締付け方向に移動させることによって、第１締付け部材３と導電路の接続部６，７との高さの差を吸収し、第１接続部６と第２接続部７とを締め付けて端子台１に固定する。 - 特許庁

To solve the problem of a conventional system that a period, while the operation state of an inverter is a zero vector, becomes shorter than well-known triangular wave PWM processing, when controlling a difference between a current, which flows actually in a rotating machine, and its command into a tolerance by operating a switching element for an inverter IV.例文帳に追加

インバータＩＶのスイッチング素子を操作することで回転機を実際に流れる電流とその指令値との差を許容領域内に制御するに際し、インバータの操作状態をゼロベクトルとする期間が周知の三角波ＰＷＭ処理と比較して短くなること。 - 特許庁

To keep pressure difference between an intermediate pressure of an intermediate-pressure refrigerant of which a pressure is risen by a first compressing mechanism and a high pressure of a refrigerant discharged from a second compressing mechanism at a proper value with a simple constitution in a refrigerating cycle device comprising a two-stage pressure rise-type compressor.例文帳に追加

２段昇圧式圧縮機を備える冷凍サイクル装置において、簡素な構成で、第１圧縮機構にて昇圧された中圧冷媒の中圧圧力と第２圧縮機構から吐出された吐出冷媒の高圧圧力との圧力差を適切な値に維持する。 - 特許庁

Thus, thee deposit deposited over a bottom side surface 48 and the bottom surface 21 of the thermal expansion member 46 is sheared by a difference in the expansion and the contraction between the thermal expansion member 46 and the needle valve 3, and separation from the bottom surface 21 and the bottom side surface 48 is urged.例文帳に追加

これにより、熱膨張部材４６の底側表面４８と底面２１とに跨って堆積したデポジットは、熱膨張部材４６とニードル弁３との膨張および収縮の差により剪断されて底面２１や底側表面４８からの剥離が促される。 - 特許庁

To provide an air-conditioning control system capable of providing a sleeping environment to allow a sleeper to have a good sleep regardless of individual difference of sleepers by performing the different temperature controls between a time of non-REM sleeping condition and a time of a REM sleeping condition without time lag at the boundary of both times.例文帳に追加

就寝者の個体差に依らず、ＮＯＮＲＥＭ睡眠状態の時期とＲＥＭ睡眠状態の時期とで異なる温度の制御を、両者の境界でタイムラグ無く行って、就寝者が安眠できるような就寝環境を実現できる空調制御システムを提供する。 - 特許庁

At this time, the torque applied to the steering shaft 103 depends on the product of the difference of rotation angle between the steering shaft 103 and the stepping motor 106, and the torsional spring constant of the elastic body, therefore, the rotation angle of the stepping motor 106 for obtaining the target torque can be obtained and the stepping motor 106 is rotated at this angle.例文帳に追加

このときステアリングシャフトに与えられるトルクは、ステアリングシャフトとステッピングモータとの回転角度差と弾性体のねじれバネ定数との積によることから、目標のトルクを得るためのステッピングモータの回転角が得られ、この角度でステッピングモータを回転させる。 - 特許庁

A lamp impressing power is controlled based on a voltage variation value ΔVL which is a difference between a voltage of a lamp just after switching on of a mercury-less (free) lamp and a present lamp voltage and, furthermore, based on a first variation value and a second variation value in consideration of the over-shoot and the under-shoot.例文帳に追加

水銀レス（フリー）のランプの点灯直後のランプの電圧と、現在のランプ電圧との差である電圧変化値ΔＶＬに基づいて、さらにオーバーシュートとアンダーシュートとを鑑みた第１の変化値と第２の変化値とに基づいてランプ印加電力を制御する。 - 特許庁

To provide a ring magnet, which has little difference between the turning torque of the magnet and the turning torques of alnico and ferrite magnets even though the magnet is combined with the alnico and ferrite magnets and has a sufficient temperature dependence from the viewpoint of the performance of an electron beam adjusting device, and to provide a method of manufacturing the ring magnet and the electron beam adjusting device using that magnet.例文帳に追加

アルニコ系、フェライト系のマグネットと組み合わせても回転トルクの差が少なく、電子ビーム調整装置の性能上充分な温度依存性をもったリング状マグネットならびにその製造方法、および該マグネットを使用した電子ビーム調整装置を提供する。 - 特許庁

A supporting body for retaining a detecting film is formed from a plurality of substances having mutually different thermal expansion coefficients, and a temperature difference is provided between the temperature of the supporting body when the detecting film is mounted on the supporting body and the using environment temperature of the optical sensor to apply tension to the detecting film by a thermal deformation of the supporting body.例文帳に追加

検知膜を保持する支持体を、熱膨張係数の異なる複数の物質から形成し、支持体に検知膜を設置した時の支持体の温度と、光学方式センサの使用環境温度との間に温度差を設け、支持体の熱変形により検知膜に張力を付加する。 - 特許庁

Sound collection signals from four microphones 12-15 disposed within an equal distance from a speaker 11 are paired two by two, adapters 41, 42 for correction a path difference from the speaker to the microphones are integrated into each pair, and phases are inverted and added in each of the pairs by adders 51, 52, thereby reducing acoustic echo between the speaker and the microphones.例文帳に追加

スピーカ11から等距離に配置された４個のマイクロホン12〜15による収音信号を２個の対とし、各対にスピーカからマイクロホンまでの経路差を補正する適応器41，42を組み込み、加算器51，52で各対にて位相反転加算することによってスピーカ−マイク間の音響エコーを低減する。 - 特許庁

To provide a digital broadcast signal transmitter that eliminates the time difference between a transmission time of a program information signal and the transmission time of a data broadcast signal caused at program switching so as to prevent occurrence of a rate-over in the case of multiplexing the program information signal with the data broadcast signal in a digital broadcast program and transmitting the multiplexed signal.例文帳に追加

デジタル放送の番組情報信号とデータ放送信号とを多重化して送出する場合に、番組切替時に生じる番組情報信号の送出時間とデータ放送信号の送出時間との時間差をなく、レートオーバの発生を防止する。 - 特許庁

An electric signal at this time is inputted to the control device 24, and the control device 24 stops the rotation of the rotor 14 and stores a detection angle α2, and at the same time calculates the residual torsion of the cord 12 from the difference between the detection angles α1 and α2, and displays the result on a display 26 of an operation section 28.例文帳に追加

この時の電気信号が制御装置２４に入力され、制御装置２４がロータ１４の回転を停止し、検出角α２を記憶すると共に、検出角α１と検出角α２との差からコード１２の残留トーションを演算し、操作部２８のディスプレイ２６に表示する。 - 特許庁

During the fuel injection amount change, a target opening θt is calculated, on the basis of a correction amount Δθ based on a difference between the actual rotation speed and the target idle rotation speed, a learning value θg in accordance with the correction amount, and a correction value θa for correcting at least one of them.例文帳に追加

燃料噴射量変更時には、実際の回転数と目標アイドル回転数との差分に基づく補正量Δθ、補正量に応じた学習値θｇ、およびこれらのうちの少なくとも一方を補正する補正値θａに基づき、目標開度θｔを算出する。 - 特許庁

Then, the offset of the manuscript reflectance-reading brightness characteristics of the rear face reading part is controlled for each color component so as to reduce the color difference between the front face reading part and the read face reading part based on the image data of a color chart read by the front face reading part and the rear face reading part.例文帳に追加

続いて、表面読取部及び裏面読取部により読み取られたカラーチャートの画像データに基づいて、表面読取部と裏面読取部の色差が軽減されるように、裏面読取部の原稿反射率−読取輝度特性のオフセットを色成分毎に制御する。 - 特許庁

Then, the internal parameter A and the external parameters [R, t] are optimized so that the total difference in all pixel values between a projection gray scale image PG_n aligned to the direction of a reference viewpoint and a gray scale image G_0 in the reference viewpoint may be minimized by the rotary vector RV_n and the translation vector tv_n.例文帳に追加

そして、回転ベクトルＲＶ_ｎと並進ベクトルｔｖ_ｎとを用いて基準視点に向きを合わせた射影グレースケール画像ＰＧ_ｎと基準視点におけるグレースケール画像Ｇ_０との総ての画素値の差の総和が最小となるように内部パラメータＡと外部パラメータ［Ｒ，ｔ］とを最適化する。 - 特許庁

To provide a base radio station, etc., in which a transmission quality characteristic does not deteriorate even when there is a time difference between a point time for performing channel estimation for time slots UL#1 to UL#N for an up-link and a point time for transmitting transmission data through time slots DL#1 to DL#N for a down-link.例文帳に追加

上りリンク用タイムスロットＵＬ＃１乃至ＵＬ＃Ｎに対するチャネル推定を行う時点と、下りリンク用タイムスロットＤＬ＃１乃至ＤＬ＃Ｎを介して送信データを送信する時点との間で時間差がある場合であっても、伝送品質特性の劣化しない無線基地局等を提供する。 - 特許庁

A credit line calculated from the ratio of the outstanding debt to the customer's annual income may be corrected according to a history of repayments in the credit information, and it may be determined whether the difference between the customer's annual income and an average annual income in an annual income statistics database 15 is within an allowable range.例文帳に追加

顧客の年収と残債務額との比から算出された与信額を、信用情報における過去の入金履歴を基に修正し、顧客の年収と年収統計データベース１５の平均年収との乖離が許容範囲であることを判定してもよい。 - 特許庁

An optimum solution is found when initial values for the parameter are generated over multiple patterns by means of a random number generating mechanism, and on each of the initial values, automatic parameter extraction is carried out for selecting a combination of parameters giving a minimum difference between a final calculated value and an actual measurement value.例文帳に追加

乱数発生機構によってパラメータの初期値を多数のパターンにわたって生成し、それぞれの初期値に対して自動パラメータ抽出を実行し、最終的な計算値と実測値の差が最も小さくなるようなパラメータの組み合わせを選ぶことで、最適解を求める構成とした。 - 特許庁

Subsequently, the difference ΔT between a T1 calculated from the I_0, V_out, T2, and the like, and an irradiation time T1 preset in an irradiation time generating circuit 16 is determined, and the error is added to the time T1 set in the time generating circuit 16, thus correcting the irradiation time.例文帳に追加

次に、Ｉ_０_，Ｖ_ｏｕｔ_，Ｔ２等から算出したＴ１と、照射時間発生回路１６にあらかじめ設定した照射時間Ｔ１との誤差ΔＴを求め、その誤差を照射時間発生回路１６に設定された設定時間Ｔ１に加算することで、照射時間の補正が可能となる。 - 特許庁

In the armature shaft 12, the outer diameter of the end 12a supported via the bearing is smaller than the outer diameter of a body shaft portion 12c to which an armature iron core is serration-fitted in a pressed-in condition and a level difference 12d is formed between the body shaft portion 12c and the end 12a.例文帳に追加

また、電機子軸１２は、電機子鉄心が圧入状態でセレーション嵌合する本体軸部１２ｃの外径より、軸受に支持される端部１２ａの外径の方が小さく設けられ、本体軸部１２ｃと端部１２ａとの間に段差１２ｄが形成されている。 - 特許庁

Between the position of the powder chamber of a gun barrel and a choke formed to constrict the muzzle, a parallel part of specified level difference of stroke tapered toward the muzzle is provided in order to protect the gun barrel against damage even when a bullet having high hardness is loaded.例文帳に追加

銃身の薬室位置と、銃口を絞るように形成されたチェーク部との間に、銃口に向かって先細りとなるテーパを両側に備えた所定のストロークの段差の平行部を設け、高硬度の散弾でも銃身の破損等を起こさせないようにしたことを特徴とする散弾銃。 - 特許庁

As a result, an angle of a reflection coefficient Γs 2fo of the second harmonic wave when an input matching circuit side is seen from an input end of the transistor T becomes a range of 170 to 270° in a polar chart, and phase difference between the fundamental wave of the base current and the second harmonic wave is reduced.例文帳に追加

その結果、トランジスタＴの入力端から入力整合回路側を見たときの２次高調波の反射係数Γｓ２ｆｏの角度が、ポーラチャート上で１７０°〜２７０°の範囲となり、ベース電流の基本波と２次高調波との位相差が小さくなる。 - 特許庁

In a state in which water is not distributed to the water supply circuit 9 for mist, when an atmospheric temperature near the water supply solenoid valve 13 reaches a prescribed temperature or higher, the water supply solenoid valve 13 is opened to reduce a pressure difference between the upstream side and the downstream side of the water supply solenoid valve 13.例文帳に追加

ミスト用給水回路９に水が流通していない状態で、給水電磁弁１３近傍の雰囲気温度が所定温度以上になると、給水電磁弁１３を開弁して、給水電磁弁１３の上流側と下流側との圧力差を低減する。 - 特許庁

When the difference between two fields in the block is small (correlation is high), the block is encoded by a frame encoding method, where all lines in the block are subjected to sequential scanning, i.e., by using an effectively designed inter-frame movement compensating method and intra-frame subsampling method of color data (6).例文帳に追加

ブロック内の２フィールド間の差が小さければ（相関が高ければ）、そのブロックは、ブロック内の全ての線が順次走査されるフレーム符号化方法により、従って効率的に設計されるインタフレーム動き補償方法および色データのイントラフレーム・サブサンプリング方法を用いて、符号化される（６）。 - 特許庁

To effectively carry out an endoscope operation by making transmitting and receiving of information possible to be surely performed and discrepancy of display information possible to be minimized, even though there is a difference between an information renewal speed among peripheral devices and a centralized control system and an information renewal speed among mobile devices and the centralized control system.例文帳に追加

周辺機器と集中制御装置間の情報更新速度と、モバイル装置と集中制御装置間の情報更新速度に差があっても、確実に情報の送受信ができるようにし、表示情報のずれを少なくし、効率的に内視鏡手術を行う。 - 特許庁

To solve problems in a conventional vehicle detector erroneously detecting existence of a vehicle in the case of a great difference from a vehicle pattern as a whole because the conventional detector calculates a correlation coefficient between a partial area edge image and a vehicle edge pattern for each partial area independently to find a maximum value of the correlation coefficient.例文帳に追加

従来の車両検出装置は、部分領域のエッジ画像と車両エッジパターンとの相関係数算出を、各部分領域で独立に行い、相関係数の最大値を求めるため、全体として車両パターンと大きく異なる場合でも誤って車両ありと判定する。 - 特許庁

When the resultant compact is divided into seven equal parts to a uniaxial pressing direction, the difference between the full width at half maximum in the X-ray diffraction peak of the main crystal face in the divided pieces of both edges and the full width at half maximum in the divided pieces near the center is <0.05°.例文帳に追加

成形される成形体は、一軸加圧方向に７等分以上に分割した際に、両端の分割片における主要な結晶面のＸ線回折ピークの半値全幅と、中央付近の分割片における前記半値全幅との差が０．０５°未満である。 - 特許庁

The intensity of a received electric wave is measured simultaneously, respectively by a reference antenna 10 and by one of antenna elements A11-A1N selected successively, and the phase difference between each received wave by the reference antenna 10 and by the selected antenna element A1i is detected by a post-stage incoming direction estimation processing part 50.例文帳に追加

リファレンスアンテナ１０と順次選択されるアンテナ素子Ａ１１〜Ａ１Ｎのうちの一つとそれぞれ同時に受信電波の強度を測定し、後段の到来方向推定処理部５０でリファレンスアンテナ１０と選択されているアンテナ素子Ａ１ｉの受信波間の位相差を検出する。 - 特許庁

A control data generating part 12 calculates a Gain amplifying the difference between the MAX and the MIN to the width of the dynamic range and an Offset giving a DC level shifting amount with which the input video signal to be amplified by the Gain is kept within the output dynamic range of a DC level adjusting part 13B.例文帳に追加

制御データ生成部１２は、ＭＡＸとＭＩＮとの差をダイナミックレンジ幅まで増幅するＧａｉｎと、Ｇａｉｎにより増幅する入力映像信号がＤＣレベル調整部１３Ｂの出力ダイナミックレンジ内に収まるＤＣレベルシフト量を与えるＯｆｆｓｅｔとを求める。 - 特許庁

To solve the problem such that unnaturalness occurs as if there were a gradation difference between pixels differing little in gradation, in a half-tone display method of a display device using a sub-field method in which plural binary pictures with weighted moving pictures each having half-tone are superim posed in time.例文帳に追加

中間調を持つ動画像のそれぞれ重み付けられた複数の２値画像を時間的に重ねあわせて表示するサブフィールド法を用いた表示装置の中間調表示方法において、輝度差がほとんどない画素間であたかも輝度差があるかのような不自然さが発生する。 - 特許庁

When a difference between a frequency Fmes of an acceleration high-frequency signal at finish of beam acceleration and a target frequency Fdes is in a tolerance range of ±Ferr, an energy compensation device 27 sequentially calculates compensation frequency data of a time-wise smooth change to make the frequency Fmes the target frequency Fdes.例文帳に追加

エネルギー補正装置２７は、ビーム加速終了時の加速高周波信号の周波数Fmesと目標周波数Fdesの差が許容範囲±Ferr内にある場合、周波数Fmesを目標周波数Fdesにするための時間的に滑らかな変化の補正周波数データを逐次算出する。 - 特許庁

In the paper feeding operation, the loading tray 11 is lifted up to the reference position when a value of a difference between the vertical directional position of the other end part of the uppermost surface sheet 2A on the loading tray 11 detected by the position detecting analog sensor 16 and the reference position data is a predetermined value or more.例文帳に追加

給紙動作中には、位置検出アナログセンサ１６が検出している積載トレイ１１上の最上面シート２Ａの他端の部分の鉛直方向位置と、基準位置データとの差の値が所定の値以上であるときに積載トレイ１１を基準位置まで上昇させる。 - 特許庁

The evaluation parameter for changing the basic ability value on the basis of a difference between the basic evaluation value and the discretionary evaluation value of the respective player characters is calculated, and the play action of the player character is stipulated by a discretionary ability value for which the basic ability value is changed by the evaluation parameter in the versus game.例文帳に追加

各選手キャラクタの基本評価値と裁量評価値との差に基づいて基本能力値を変更する評価パラメータが算出され、対戦ゲームにおいて、選手キャラクタは対戦行動がその基本能力値を評価パラメータで変更された裁量能力値で規定される。 - 特許庁

When the start switch 82 is turned on, and an angular difference between the "angle of rotation to this time angle" detected by the output angle detecting means at that time and the stored "previous angle" is not a fixed value, the ECU 9 inhibits the operation of the starter relay 89, and inhibits the start of the engine.例文帳に追加

ＥＣＵ９は、起動スイッチ８２のＯＮ時に、その時の出力角検出手段が検出する「回転角度→今回角度」と、記憶している「前回角度」との角度差が一定値以内でない場合に、スタータリレー８９の作動を禁止してエンジンの始動を禁止する。 - 特許庁

To surely maintain a state of electric conduction to an electronic component to be mounted by effectively absorbing stress generated owing to a difference between a coefficient of thermal expansion of the electronic component to be mounted and that of a wiring board, and to contribute to cost reduction by substantially eliminating curvature of the wiring board after mounting.例文帳に追加

実装する電子部品との間に熱膨張係数の違いに起因した応力が発生した場合でもその応力を有効に吸収し、電子部品との電気的導通状態を確実に維持すると共に、実装後の基板の反りを実質的に無くし、コスト低減に寄与すること。 - 特許庁

Mask data for making the number of light exposure in respective regions for a photo-sensitive material 12 same in accordance with beam locus information of a laser light to the photo-sensitive material 12, or making the difference in the number of light exposure between respective regions small, are formed in a mask data preparing part 82.例文帳に追加

感光材料１２に対するレーザ光のビーム軌跡情報に従い、感光材料１２の各領域での露光点数を同一とし、あるいは、各領域間での露光点数の差を小さくするためのマスクデータがマスクデータ作成部８２において作成される。 - 特許庁

A bias scanner 8 switches the potential of a bias line BS before the correcting operation to apply a coupling voltage to the source S of the drive transistor Trd via the auxiliary capacitor Csub, and then performs initialization so that the potential difference between the gate G and source S of the drive transistor Trd becomes larger than the threshold voltage Vth.例文帳に追加

バイアススキャナ８は、補正動作の前にバイアス線ＢＳの電位を切り換えて補助容量Ｃｓｕｂを介してカップリング電圧をドライブトランジスタＴｒｄのソースＳに加え、以ってドライブトランジスタＴｒｄのゲートＧとソースＳの電位差を閾電圧Ｖｔｈよリ大きくなる様に初期化する。 - 特許庁

A convex lens (light condensing means) 12 is arranged just in front of the reflection type light valve 11, and the optical axis of the convex lens 12 is deviated in a direction so that a mutual optical path length difference between a plurality of optical paths reaching the reflection type light valve 11 through the convex lens 12 may become small.例文帳に追加

反射型ライトバルブ１１の直前には凸レンズ（集光手段）１２を配置してあり、凸レンズ１２を通過して反射型ライトバルブ１１に到達するまでの複数の光路長の互いの差が小さくなる方向へ、凸レンズ１２の光軸をずらしてある。 - 特許庁

A means for supplying the coating material into a spray nozzle consists of utilizing the vibration of a piezoelectric element or consists of scanning a spray nozzle in a manner that only the angle of the nozzle is changed while the difference between the level of the center of the nozzle and that of the liquid surface in the coating material storage section is kept constant.例文帳に追加

また、スプレーノズルへ塗料を供給する手段として圧電素子の振動を利用する方法を用いるかまたはスプレーノズル中心と塗料貯蔵部液面との高低差を一定に保ちながらノズルの角度だけを変化させてスプレーノズルを走査することにより塗布する。 - 特許庁

This method determines that DEF does not occur, when the difference between the relative strength of ettringite in the hydrated sample of the cement composition before the reception of high-temperature ageing and that of ettringite in the hydrated sample of the cement composition after the reception of high-temperature ageing is 5% or below.例文帳に追加

高温養生を受ける前のセメント組成物の水和試料中のエトリンガイトの相対強度と、高温養生を受けた後のセメント組成物の水和試料中のエトリンガイトの相対強度との差が５％以下の場合に、ＤＥＦが発生しないと判断する判定方法である。 - 特許庁

A recording strategy is optimized by setting a pulse response so as to minimize a difference between a reproducing waveform obtained by recording/reproducing a recording pulse signal in which a high-frequency pulse is superposed on recording data on an optical recording medium and a waveform obtained by subjecting the recording data and a pulse response to convolutional calculation.例文帳に追加

記録データに高周波パルスを重畳した記録パルス信号を光記録媒体上に記録再生して得られた再生波形と、記録データとパルス応答とを畳込み演算した波形との差が最小になるようにパルス応答を定めることによって記録ストラテジを最適化する。 - 特許庁

By performing dry etching in a dry etching step, while controlling the temperature of the lower electrode of an etching device equal with or lower than 10°C, volatilization of a subproduct is suppressed, more stable sidewall protection effect can be obtained, and a uniform etching shape reducing the working shape difference between a coarse portion and a tight portion can be obtained.例文帳に追加

前記ドライエッチング工程にて、エッチング装置の下部電極温度を１０℃以下に制御しドライエッチングを行うことにより、副生成物の揮発を抑制し、より安定した側壁保護効果が得られ、疎部、密部における加工形状差の少ない均一なエッチング形状が得られる。 - 特許庁