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Shallowを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 2218



例文

To provide a stirrer preventing separation of a flow pattern, favorably mixing in the whole of a stirring tank coping with the variation in viscosity during stirring and a broad viscosity range, and stirring with no efficiency variation even in a shallow liquid depth.例文帳に追加

フローパターンの分離を防止し、攪拌途中の粘性変化や幅広い粘度範囲にも対応して攪拌槽全体で良好な混合を行うとともに、液深が低くなっても効率の変わらない攪拌をすることができる攪拌機を提供すること。 - 特許庁

In the bank 10, the whole recessed section 11a of the floating body 11 is submerged near the surface of the water (a) in large waves, and waves c2 of comparatively long period flowing in under the submerged state are broken by the recessed section 11a in shallow water.例文帳に追加

この浮消波堤10は、大波浪時には浮体11の凹状部11a全体が水面a近傍に水没し、この水没状態において流入する比較的長周期の波c2が凹状部11aによって浅水崩壊する。 - 特許庁

As a balance shaft 2 is rotated, lubricating oil in the oil groove 6 passes through the shallow bottom recess part 10 to be easy to flow in toward the end part side on both sides in the axis 9 direction of the slide surface (as illustrated with an arrow C), and formation of an oil film is promoted.例文帳に追加

バランスシャフト2の回転に伴い、油溝6中の潤滑油が浅底凹部10を通って摺動面の軸線9方向両側の端部側へ向かって流れ込みやすくなり(矢印C参照)、油膜の形成が促進されるようになる。 - 特許庁

Further, a protrusion amount of a lock protrusion part 12 from the inner peripheral surface of the cylinder part 11 is decreased to a value lower than the depth of the deepmost part of the eccentric groove 8 and increased to a value higher than the most shallow part of the eccentric groove 8.例文帳に追加

又、上記円筒部11の内周面に対する上記係止突部12の突出量を、上記偏心溝8の最も深い部分の深さよりも小さく、且つ、この偏心溝8の最も浅い部分の深さよりも大きくする。 - 特許庁

例文

To provide a charge trap type nonvolatile memory device which prevents the phenomenon in which threshold voltage distribution is varied by applying voltage detrapping electric charges shallow-trapped during applying program pulse voltage, and improves reliability of read-out, and also to provide its programming method.例文帳に追加

プログラムパルス電圧の印加時にシャロートラップされた電荷をデトラップ(detrap)させる電圧を印加してしきい値電圧分布が変化する現象を防ぎ、読み出しの信頼性を高めるチャージトラップ型不揮発性メモリ装置とそのプログラム方法を提供する。 - 特許庁


例文

In the method of manufacturing the vertical MOS transistor, two types of trenches of different width and depths are formed on the same substrate without increasing manufacturing steps to be used for a transistor for driving the shallow trench having a narrow width mainly, and the deep trenches having the narrow widths are used for a long term reliability deterioration countermeasure.例文帳に追加

幅と深さの異なる2種類のトレンチを製造工程増なく同一基板上に形成し、幅が狭く浅いトレンチをメインに駆動するトランジスタに使用し、幅が広く深いトレンチを長期信頼性劣化対策用に使い分ける。 - 特許庁

To enable an embedding receptacle for optical fiber to be housed with a margin, even in a shallow intra-wall embedded box and also to be installed in the box, even if the depth dimension of spacing where the receptacle is to be installed is small, by making a depth dimension become smaller in the embeding receptacle for optical fiber.例文帳に追加

埋込光ファイバケーブル用コンセントにおいてその奥行き寸法が小さくなるようにして、浅型の壁内埋込ボックスにも余裕を持って収納可能とし、設置するための空間の奥行き寸法が小さくても設置可能とする。 - 特許庁

Thereby, when both the housings 10, 20 are separated from the shallow fitting state, interference between the cam pin 14 and a start end part opening edge 29A of a cam groove 29 can be prevented by certainly turning the lever 23 to the regular waiting position.例文帳に追加

これにより、両ハウジング10,20を浅い嵌合状態から離間させるときには、レバー23を正規の待機位置まで確実に回動させることで、カムピン14がカム溝29の始端部開口縁29Aと干渉することを防止できる。 - 特許庁

The respective ports comprise a pair of downward extending tubular spigots 185 housed in respective recesses 190 formed in the base 110, with a shallow bridging recess between a pair of the recesses for receiving the bridging piece of a closure cap.例文帳に追加

各ポートは、基底部110に形成されたそれぞれの凹部190に収容された1対の下方に延長した筒状スピゴット185から成り、1対の凹部の間に閉鎖キャップの架橋部分を受容するための浅い架橋凹部が形成されている。 - 特許庁

例文

To provide a device including a PFET having an embedded SiGe layer, wherein the shallow portion of the SiGe layer is close to the PFET channel and the deep portion of the SiGe layer is farther separated from the PFET channel, and to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

埋設されたSiGe層を有し、そのSiGe層の浅い部分がPFETチャネルに近く、SiGe層の深い部分がPFETチャネルからさらに離れているPFETを含むデバイスと、その製造方法を提供する。 - 特許庁

例文

When a lock is driven, when the piston 15 goes beyond a set stroke range to go overstroke downward, the lock chamber 21 is communicated with a release charge/discharge passage 18 through a leak passage 50 comprising an engagement gap G in the piston 15 and a shallow groove.例文帳に追加

ロック駆動時において、上記ピストン(15)が設定ストローク領域を越えて下方へオーバーストロークしたときには、前記ロック室(21)を、上記ピストン(15)の嵌合隙間(G)と浅い溝からなる漏し路(50)とを経てリリース給排路(18)へ連通させる。 - 特許庁

To provide a mechanical parking area having a 180° inversible function of a vehicle capable of being incorporated in a shallow storage space in the mechanical parking area of the system inverting the vehicle 180° inside of the mechanical device in a plane reciprocation system.例文帳に追加

平面往復式で、車を機械装置内部で180度反転させる方式の機械式駐車場において、浅い格納空間に組み込み可能な車の180度反転機能を有する機械式駐車場を提供することを目的とする。 - 特許庁

In order to use a line sensor having shallow depth of field, this medium position detecting mechanism for an image forming device is structured to warp the medium to be carried into a loop shape, and structured to always make the medium abut on a sensor surface of the line sensor when obtaining the medium position attitude information.例文帳に追加

本発明は、被写界深度の浅いラインセンサの使用を可能にするために、搬送される媒体をループ形状に撓ませ、媒体位置姿勢情報を得る際、常にラインセンサのセンサ面に媒体を当接させる構成とした。 - 特許庁

A shallow recessed part 2h is provided in the upper surface of an upper half body housing 101 of a sleeve part 101, a switch panel 2A is disposed in the recessed part 2h, and the upper surface of the switch panel 2A is not projected over the upper surface of the sleeve part 101 in the periphery of the recessed part 2h.例文帳に追加

袖部101の上半部ハウジング101a’の上面に浅い凹部2hが設けられ、この凹部2h内にスイッチパネル2Aが配置され、スイッチパネル2Aの上面は凹部2hの周囲の袖部101の上面から非突出となっている。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device suitable for restraining a diffusion layer from increasing in sheet resistance due to segregation of impurities and forming an impurity diffusion layer of shallow junction depth without contaminating a substrate.例文帳に追加

基板の汚染を発生させることなく、不純物の偏析に起因する拡散層のシート抵抗値の増大を抑制することができ、浅い接合深さの不純物拡散層を形成するのに好適な半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

The minute, shallow depressions 2 and the depressions 3 deeper than these are individually formed through etching so that depressions 2 and 3 having different depth are accurately disposed on the rolling contact surface.例文帳に追加

動圧発生面を形成する微小な浅い凹部2と、この動圧発生面を形成する凹部2よりも深い凹部3を、それぞれエッチングによって形成することにより、転がり接触面に、二つの異なる深さの凹部2、3を精度良く配置できるようにした。 - 特許庁

An element separating region 24 comprising the first shallow buried element isolation insulating film 22 and the second buried element isolation insulating film 23 deeper than the first insulating film 22 is formed on the surface of a P type silicon substrate 11.例文帳に追加

たとえば、P型シリコン基板11の表面部に、浅い第一の埋め込み素子分離絶縁膜22と、この第一の埋め込み素子分離絶縁膜22よりも深い、第二の埋め込み素子分離絶縁膜23とからなる素子分離領域24を形成する。 - 特許庁

To provide a laser machining device in which a laser beam with a deep light convergence point is impeded by the other laser beam having a shallow light convergence point even when a laser beam is converged on two light convergence points displaced on the same optical axis.例文帳に追加

レーザ光線を同一光軸上に変位した2つの集光点に集光させても、集光点が浅い一方のレーザ光線によって集光点が深い他方のレーザ光線が阻害されることのないレーザ加工装置を提供する。 - 特許庁

A gate electrode 143 which functions as a front gate and an N-type shallow well region 123 which functions as a back gate are formed on upper and lower surfaces of a channel region 161 via a gate oxide film 141 and a silicon oxide film 142 respectively.例文帳に追加

チャネル領域161の上下には、夫々ゲート酸化膜141及びシリコン酸化膜142を介して、フロントゲートの役割を果たすゲート電極143及びバックゲートの役割を果たすN型の浅いウェル領域123が形成されている。 - 特許庁

To provide a system in a combine harvester or the like, designed to control regulating output so as to avoid excessive regulation when the threshing depth for grain culms to be fed to a threshing device is regulated to deep threshing side in making a high-level reaping on a levee edge and then subjected to reverse regulation to shallow threshing side.例文帳に追加

コンバイン等において、畦際での高刈り時に脱穀装置へ供給される穀稈の扱深さを深扱ぎ側へ調節後、浅扱ぎ側へ復帰調節させる際に調節過剰とならないよう調節出力を制御する。 - 特許庁

The battle called the Battle of Fujito was also described in the "Heike Monogatari (The tale of the Heike)," and according to the Heike Monogatari, Moritsuna, who got information from a fisherman about a ford which was shallow enough for horses to cross, rode across the sea by cutting through the waves and took the lead in invading an island to which Yukimori confined himself. 例文帳に追加

この合戦は藤戸合戦と呼ばれ、『平家物語』にも描かれており、島に篭もる行盛に対し、漁師から馬でも渡れる浅瀬を聞き出した盛綱が、波を馬で乗り越え先陣を切って攻め入ったとされる。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

In most cases, dotaku were excavated at a foot of a hill or a bit lower area than the top of it outside of a village and found laid down sideways in a relatively shallow hole with several tens of centimeters in depth (there are two cases of upside down burying). 例文帳に追加

埋納状況については村を外れた丘陵の麓、或いは頂上の少し下からの出土が大部分であり、深さ数十センチメートルの比較的浅い穴を掘って横たえた物が多い(逆さまに埋められた物も二例ある)。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

To provide a method and an apparatus for evenly depositing silicon oxide layer having a low permittivity used for a gap filling layer in a sub- micron element, a premetal dielectric layer, an intermetal dielectric layer, shallow trench separating dielectric layer and the like.例文帳に追加

サブミクロン素子におけるギャップ充填層、プリメタル誘電体層、インターメタル誘電体層、浅いトレンチ分離誘電体層等として使用するための低誘電率を有する酸化珪素層を均一に堆積するための方法と装置とを提供する。 - 特許庁

When incorporating a Schottky junction into a MOSFET, the Schottky junction is positioned at a place distant from a p-body region 6 and a gate electrode 10 of the MOSFET so that the ends of the Schottky junction are surrounded by p-type shallow junctions.例文帳に追加

MOSFETにショットキー接合を内蔵させるときに、ショットキー接合はMOSFETのpボディ領域6とゲート電極10と隔てられた場所に配置し、ショットキー接合の端部をp型の浅い接合によって囲まれるようにする。 - 特許庁

To provide a semiconductor integrated circuit having an effective MOS transistor with a layout structure taking into account the fluctuating characteristics of a transistor due to stress strain through STI (Shallow Trench Isolation).例文帳に追加

STI(Shallow Trench Isolation)から受ける応力歪みによって変動するトランジスタの特性を考慮したレイアウト構造に適用して有効な、MOSトランジスタを有する半導体集積回路を提供する。 - 特許庁

To provide a mesa isolation monolithic light emitting diode in which leakage of light from a mesa etching step part is prevented by forming a shallow mesa etching trench not to isolate an emission layer and each individual electrode can be led out also from a reverse mesa part.例文帳に追加

メサエッチング溝を浅く形成して発光層を分離しないようにして、メサエッチング段部からの光漏れを防止すると共に、逆メサ部からも個別電極を導出することができるメサ分離型モノリシック発光ダイオードアレイを提供すること。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing semiconductor device suppressing channeling in ion implantation for forming source region/drain region, forming low resitant and shallow impurity diffusion region, and having micro MOS transistor advantageous to short channel effect.例文帳に追加

ソース領域/ドレイン領域を形成するためのイオン注入時のチャネリングを抑止し、低抵抗で浅い不純物拡散領域が形成され、短チャネル効果に対して有利な微細MOSトランジスタを有す半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

Yugake has a shallow bump (tsurumakura, a part of a yugake glove to set a string) which is enough to set a string at the base of thumb, and they set a string this part and put the middle finger for mitsugake, or the annular finger for yotsugake on the tip of a thumb and add an appropriate twist to the wrist and then the string comes to be held. 例文帳に追加

ユガケの親指根には弦が引っかかる程度の浅い段差(弦枕)が付けられており、ここに弦を掛け、三ツガケは中指、四ツガケなら薬指を親指先に掛け、手首に適度な捻りを加える事により弦は保持される。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス

To provide a WORM (write-once/read-many-times) type optical recording medium capable of corresponding to a blue laser wavelength region and utilizing a shallow groove substrate having satisfactory transferability, free from change of recording characteristics, reflectance and the like and utilizing an organic material.例文帳に追加

青色レーザ波長領域に対応可能であり、転写性のよい浅溝基板が利用でき、記録再生波長の変動に対し、記録特性や反射率等の変化が少ない、有機材料を用いた追記型光記録媒体の提供。 - 特許庁

On one side of first metal plate 33, first and second shallow recesses 22a and 23a defined by a bottom plate 35 and a pair of sidewalls 36 and 36 projecting from the circumferential edge of the bottom plate 35 in the stacking direction of the first metal plate 33 are provided.例文帳に追加

第一金属板33の片面に、底板部35と、この底板部35の周縁部に設けて、第一金属板33の重ね合わせ方向に突出する1対の側壁部36、36とから成る、第一、第二浅凹部22a、23aを設ける。 - 特許庁

The shallow groove 26 is arranged so that a regular hexagon is formed as a basic unit when the tread of the block 20 is plan-viewed, and each ridge of the regular hexagon shares one ridge of an adjacent regular hexagon, and formed in a mesh on the whole.例文帳に追加

浅溝26はブロック20の踏面を平面視したときに正六角形を基本単位とし、正六角形の各々の辺が隣接する正六角形と1辺を共有するように配置され、全体として網目状に形成されている。 - 特許庁

Furthermore, as each of substituents (R^1, R^2, Ar^3, and α^3) in general formula (G1), a substituent from which a compound having a deep HOMO level and a shallow LUMO level is derived by substituting a bond thereof with hydrogen is used.例文帳に追加

なお、一般式(G1)における置換基(R^1、R^2、Ar^3及びα^3)としては、当該置換基の結合手を水素で置換した化合物のHOMO準位が深く、LUMO準位が浅い置換基をいずれも用いるものとする。 - 特許庁

To provide a cutting insert, which can perform a cutting process under a wide cutting condition from a small feed to a large feed in a finish work region of shallow depth of cut even in the case of work particularly for a viscous material, that is, excellent in general purpose usability.例文帳に追加

、特にねばい材料を加工する場合でも、浅い切り込みの仕上げ加工領域において小さい送りから大きな送りまでの広い切削条件で切屑処理が可能な、すなわち汎用性に優れた切削インサートを提供する。 - 特許庁

To provide an automotive lower car body structure capable of reduc ing NVH (noise, vibration and coupled vibration) by improving a car body strength, making the depth of a diaphragm portion shallow, and simultaneously facilitating machining and reducing costs.例文帳に追加

車体強度を向上して、NVH(ノイズ、振動、連成振動)の低減を図ることができ、しかも、絞り部の深さを浅くすることができ、加工の容易化とコストダウンとの両立を図ることができる自動車の下部車体構造を提供する。 - 特許庁

To provide a P&S seismic wave measuring system which enables velocity logging down to large depth according to a boring process, irrespective of the presence or the absence of water inside a hole, by using inexpensive conventional equipment and materials for the velocity logging of a downhole system for shallow layer.例文帳に追加

安価な従来の浅層用ダウンホール方式の速度検層用機材を利用して、孔内水の有無にかかわらず掘削工程に合わせて大深度までの速度検層を可能とするP&S地震波測定システムを提供する。 - 特許庁

An engraving depth of a photogravure roll is made to be laterally symmetrical from around a central part toward around both ends and to be stepwise shallow, and an amount of gas barrier composition coated on an inorganic oxide vapor phase deposition membrane is reduced at the end parts.例文帳に追加

グラビアロールの彫刻の版深を、中央部近傍から両端部近傍に向けて左右対称、かつ段階的に浅くなるように設け、無機酸化物の蒸着膜上に塗布するガスバリア性組成物の端部の塗布量を減少させる。 - 特許庁

An opening part directed outward of the vehicle of the outer race of the constant velocity joint 130 integrated with the wheel hub 120 is wide and shallow, and the cage 134, the balls 132, 133 and the inner race 131 are assembled to each other and easily stopped by a snap ring 135.例文帳に追加

ホイールハブ120と一体成形される等速継手130のアウタレースの車両外側に向く開口部は、広く浅いのでケージ134とボール132,133とインナレース131とを組付け、スナップリング135で止めるのが容易である。 - 特許庁

By circulating exhaust emission to the engine, reduce oxygen concentration in intake air is reduced, the compression ratio of the engine is reduced, a longitudinal gas velocity in a combustion chamber is reduced by a shallow piston cavity, and combustion is controlled such that in- cylinder maximum pressure becomes 12 MPa or less.例文帳に追加

エンジンに排気還流して吸気の酸素濃度を低減し、エンジンの圧縮比を下げ、浅いピストンキャビティにより燃焼室内の縦方向ガス速度を低減し、筒内最高圧が12MPa以下となるよう燃焼を制御する。 - 特許庁

To provide a method of sealing a metallic container with wettability of an adhesive for a glass plate increased by carrying out corona discharge to make the glass plate difficult to peel when sticking the glass plate to a flange of the metallic container formed like a shallow pan.例文帳に追加

浅鍋状の金属容器のフランジ部にガラス板を接着して密封する際に、コロナ放電処理を行うことで接着剤のガラス板に対する濡れ性を増して、ガラス板が剥がれにくいようにする金属容器の密封方法を提供する。 - 特許庁

Since a temperature in a deep region in the surface of the substrate can be raised to an activation temperature or above without overheating a shallow region, activation of junction in the deep region can be carried out without causing warpage or cracking of the substrate.例文帳に追加

これにより、基板表面の浅い領域を必要以上に加熱することなく深い領域をも活性化温度以上に昇温することができ、基板に反りや割れを生じさせることなく深い接合の活性化を行うことができる。 - 特許庁

In a coupling structure of this shaft and yoke 3, an inside wall of a shaft inserting part 1 of the yoke 3 is tapered from a radial opening side toward a bottom part 11 and a bent shallow groove 10 bent from a radial direction in an axial direction is formed.例文帳に追加

この軸とヨークの結合構造は、ヨーク3の軸挿入部1の内側壁6,7に、径方向開口側から底部11に向かって先細り形状になっていて、径方向から軸方向に折れ曲がっている折曲浅溝8,10が形成されている。 - 特許庁

The coating film 11 made of a thermoplastic resin is formed on the surface of a base material 10 which has a plate shape of an MDF or the like, and the recess section 13 (engraving) corresponding to a specified pattern is formed with a shallow depth by laser-processing the surface internal section of the coating film 11.例文帳に追加

MDF等の板状をなすベース材10の表面に、熱可塑性樹脂からなる塗膜11を形成し、当該塗膜11の面内部分をレーザー加工して所定の文様に対応する凹部13(彫り込み)が浅い深さで形成される。 - 特許庁

A second high-dose ion implantation is made by implanting arsenic As+ with a high concentration to the silicon substrate from a direction perpendicular to the silicon substrate to the source region 20a and the drain region 22a each having a shallow junction and both formed on both sides of the gate electrode (Fig.1 (c)).例文帳に追加

ゲート電極の両側に形成された浅い結合のソース領域20a及びドレイン領域22aとに、シリコン基板10に対して垂直の方向からヒ素As^+を高濃度でイオン注入して、2回目の高濃度イオン注入を行う(図1(C))。 - 特許庁

A ball shooting driving part of a Pachinko machine is constituted of a combination of a flat coil and a flat magnet, and a turning arm, a ball shooting part and the shooting rail are formed flush with a turning driving body, thus providing this ball shooter having the shallow depth and a simple structure.例文帳に追加

パチンコ機の玉発射の駆動部を扁平なコイルと扁平な磁石の組み合わせで構成し且回動駆動体と同一面内に回動アームと打球部と発射レール部を設けて.奥行き寸法が小さくて簡素な構造の玉発射装置を提供する。 - 特許庁

In the inner circumferential surface 5 as the slide surface of a half-split bearing 4, plural shallow and thin grooves 10 are formed to be diagonally extended from both sides of a width of the circumferentially extended oil groove 6 toward end parts on both sides in an axis 9 direction of the inner circumferential surface 5.例文帳に追加

半割軸受4の摺動面となる内周面5に、周方向へ延びる油溝6の幅方向両側から当該内周面5の軸線9方向両側の端部に向けて斜め方向に延びる複数の浅い細溝10を形成する。 - 特許庁

To provide a technique for improving the breakdown voltage of a semiconductor device having a structure where a buried insulator is formed at a bottom section of a trench, and insulating films are formed on both side surfaces of a shallow section of the trench not filled with the buried insulator.例文帳に追加

トレンチの底部が埋込絶縁体で充填されているとともに、埋込絶縁体で充填されていないトレンチ浅部領域の両側面に、絶縁膜が形成されている構成を有する半導体装置の耐圧を向上する技術を提供する。 - 特許庁

To provide a device for preparing account subject itemized statement and corporation business summary description for corporation tax application, with which an application form can be speedily and exactly filled and input work efficiency is high while being linked with a financial account system even with shallow tax matter knowledge and experiences.例文帳に追加

税務知識と経験が浅くても迅速に且つ正確に申告書作成が行え、財務会計システムと連動して入力作業効率が高い法人税申告用の勘定科目内訳明細書及び法人事業概況説明書作成装置の提供。 - 特許庁

Since silicon used for the formation of titanium silicide films 31a and 31b is supplied from a polysilicon film 29 in addition to the source 17a and drain 17b, it is possible to form the silicide films 31a and 31b thick even if the source 17a and drain 17b are shallow.例文帳に追加

チタンシリサイド膜31a、31b形成に使われるシリコンは、ソース17a、ドレイン17bから供給されるほか、ポリシリコン膜29からも供給されるので、ソース17a、ドレイン17bが浅くても、シリサイド膜31a、31bを厚くすることが可能となる。 - 特許庁

METHOD FOR BURYING HEAT INSULATING SHEET AROUND CONSTANT TEMPERATURE ZONE IN SHALLOW PART UNDERGROUND AND RIGHT UNDER BUILDING FOR DEVELOPING CONSTANT TEMPERATURE ZONE, METHOD FOR BURYING OR BUILDING WATER TANK IN CONSTANT TEMPERATURE ZONE TO ACCUMULATE CONSTANT TEMPERATURE WATER AS HEAT MEDIUM, AND HEAT INSULATION SHEET USED THEREIN例文帳に追加

恒温地帯造成のために、地下浅部及び、建造物直下の恒温地帯周囲に断熱シートを埋設する方法、及び、恒温地帯に水タンクを埋設、又は造成し、恒温水を蓄え、熱媒体とする方法、及び、これに使用する断熱シート。 - 特許庁

例文

To provide an abrasive that is used for super-precision polishing in the planarization process of a substrate surface in manufacturing semiconductor devices and the formation process of especially shallow trench separation, increasing the polishing speed ratio of a silicon oxide film to a silicon nitride film, and having little contamination of alkali metal.例文帳に追加

半導体デバイス製造時の基板表面の平坦化工程、特にシャロートレンチ分離の形成工程の超精密研磨で使用し、酸化珪素膜と窒化珪素膜との研磨速度比を大きくし、アルカリ金属の汚染の少ない研磨剤を提供する。 - 特許庁




  
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