「upper table」に関連した英語例文の一覧と使い方(22ページ目) - Weblio英語例文検索

To simplify the configuration of a support clamp and enable accurate cutting in a cutting device for cutting a thin adhesive tape, particularly a cord tape, having the support clamp which includes an upper blade, a lower blade, a tensioning device for a tape part to be cut through the blades, and a magnet strip for fixing the tape, and can be mounted on the upper side of a table.例文帳に追加

上刃および下刃、切断すべきテープ部分を刃を通して引っ張るための張引装置、ならびにテープを固定するためのマグネットストリップを備えテープ上側に載置することのできる支持クランプ、を有する、薄い粘着性テープ、とりわけコードテープを切断するための切断装置において、支持クランプの構成を簡素化するとともに、正確な切断を可能にする。 - 特許庁

In the work table constituted of at least a pair of stepladder-like work tables 5 with handrails, and scaffolding boards 7 detachably bridged over the gap between tread 6a arranged on the work tables 5 with handrails, the scaffold boards 7 are made adjustable in the length and length-adjustable handrails 19 are detachably attached between support legs 1 forming the upper part of the work table 5 with handrails.例文帳に追加

少なくとも一対の手摺付脚立状作業台５と、該手摺付き脚立状作業台５の上部に配置される踏板６ａ間に着脱自在に架け渡す足場板７とで構成する作業台において、前記足場板７を長さ調節自在に構成し、長さ調節自在な手摺１９を手摺付脚立状作業台５の上部を形成する支柱脚１間に着脱自在に取り付けた。 - 特許庁

A specimen having a metallic thin film formed on the upper surface of the transparent electrode is disposed on a specimen stage in a chamber of a parallel flat plasma etching apparatus, a gas containing fluorine atom is introduced into the chamber, and applying a high frequency voltage between the specimen table, and an opposite electrode disposed to be faced to the specimen table so as to etch the metallic thin film with the plasma.例文帳に追加

本発明は、透明電極の上面に形成された金属薄膜を有する試料を平行平板型プラズマエッチング装置のチャンバ内の試料台上に配置し、該チャンバ内にフッ素原子を含むガスを導入し、該試料台と該試料台に対面して設置された対向電極との間に高周波電圧を印加して前記金属薄膜をプラズマエッチングする補助電極の形成方法である。 - 特許庁

When the chuck table 17 is moved at the supply/collection position by a stage 14, high pressure wash water is spurted from a bellows washing nozzle 50 disposed at the side of the extended bellows 15 toward the upper part of the bellows 15 to flush away the scraps deposited on the bellows 15.例文帳に追加

チャックテーブル１７がステージ１４によって供給・回収位置に移動させられた時に、伸びた蛇腹１５の側方に配した蛇腹洗浄ノズル５０から蛇腹１５上に向けて洗浄水を高圧で噴出させ、蛇腹１５上に堆積した切削屑を洗い流す。 - 特許庁

An upper part 3A of a closed box 3 disposed on a table T of a machine tool and a spindle 1 of the machine tool are complemented by a slidable sheet material 4, thereby securing high air tightness, and the sealed space is filled with inert gas G, thereby restraining oxidation reaction of the flammable work W and chips.例文帳に追加

工作機械のテーブルＴ上に配置した密閉箱３の上部３Ａと、工作機械の主軸１をスライド可能なシート材４で補完することにより高い気密性を確保し、この中に不活性ガスＧを充填することにより、可燃性ワークＷと切粉の酸化反応を抑制する。 - 特許庁

A laser beam displacement gage 20 disposed at the side part of a supporting table 22 can detect the distance (measured distance L) to a stage 18A by emitting the laser beam toward the upper surface side of the stage 18A and receiving the laser beam reflected on the stage 18A.例文帳に追加

支持台２２の側部に設置されたレーザ変位計２６は、レーザ光をステージ１８Ａの上面側に向かって発射すると共に、ステージ１８Ａにより反射されたレーザ光を受光することにより、ステージ１８Ａとの距離（測定距離Ｌ）を検出可能とされている。 - 特許庁

To surely pick up and extract the top end of a document discharged from an issue port installed in an almost vertical front panel with fingers of a user without bending or damaging the document even when it is brought into contact with an upper face of an operation table protruding forward from the front panel.例文帳に追加

ほぼ垂直な前面パネルに設けられた発行口から排出された書類の先端縁が、前面パネルから前方へ突出された操作テーブルの上面に当接した場合においても書類を折り曲げたり損傷することなく利用者の指により確実に摘んで取り出すことができる。 - 特許庁

A rotary blade 14 is installed on a table 12 attached to the upper part of a frame 11, and on the left of the rotary blade 14 when viewed from the working position W, a meat box 16 to hold the meat lump is installed in such a way as capable of reciprocating approximately parallel with the blade 14.例文帳に追加

架台１１上部に取り付けたテーブル１２の上に、回転刃物１４を設け、作業者の作業位置Ｗ側から見て回転刃物１４の左方側に、肉塊を保持する肉箱１６を回転刃物１４とほぼ平行方向に往復移動可能に設ける。 - 特許庁

The box-shaped case 16 is housed in the box-shaped space 9, and either one or both of the deck 2 and the side frames 7 and 8 are constituted so as to be capable of seeing through the inside of the box-shaped space 9 from either one or both of the table upper surface side or the outer peripheral side.例文帳に追加

そして上記箱状のスペース９内に箱状のケース１６を収容し、上記甲板２と側枠７，８のいずれか一方又は両方を、テーブル上面側又は外周側のいずれか一方若しくは両方より箱状のスペース９内を透視することが可能な構成としている。 - 特許庁

An upper electrode 3 and a lower electrode 4, used both for a mounting table, are arranged in a processing vessel 2, and an inside ring 6 is provided so as to surround a wafer W on the lower electrode 4 while an outside ring 7 made of quartz is provided so as to surround the inside ring 6.例文帳に追加

処理容器２の内部に上部電極３と載置台を兼用する下部電極４とを配置し、前記下部電極４上のウエハＷを取り囲むように内側リング６を設け、この内側リング６を取り囲むように石英製の外側リング７を設ける。 - 特許庁

Cylindrical filters 16, 17 are provided in a lower side of a roaster 2 installed in a table 1, an aqueous alkaline solution A is made to flow down from supply parts 22, 23 in upper parts of the filters 16, 17, and liquid drops or liquid films are formed on filter faces 16a, 17a to pass combustion gas and exhaust gas therethrough.例文帳に追加

テーブル１に設置されたロースター２の下方に円筒状のフィルタ１６，１７を設け、フィルタ１６，１７上部の供給部２２，２３からアルカリ性水溶液Ａを流下させ、フィルタ面１６ａ，１７ａに液滴または液膜を形成させて焼煙及び排気ガスを通過させるようにした。 - 特許庁

A DSRC (Dedicated Short Range Communication) onboard device changes a value of the upper limit SMAX of retransmitting data from the DSRC onboard device to the radio communication device for facility based on content of AID data (a value specifying kinds of applications) in a received BST (Beacon Service Table) signal from the radio communication device for facility.例文帳に追加

ＤＳＲＣ車載器は、ＤＳＲＣ車載器から施設側無線通信機への送信データの再送信回数の上限回数ＳＭＡＸの値を、施設側無線通信機から受信したＢＳＴ信号中のＡＩＤデータの内容に基づいて変化させる。 - 特許庁

To provide an alignment method for precisely aligning each one of shots S1 to S32 a substrate P with a pattern image of a mask M by obtaining an array of the shots S1 to S32 based on the condition of a temperature distribution on upper surface of a first holding section 26 of a substrate table PT.例文帳に追加

基板テーブルＰＴの第１保持部２６上面の温度分布に基づいた条件で、ショットＳ１〜Ｓ３２の配列を求めることで、基板ＰのショットＳ１〜Ｓ３２の各ショットと、マスクＭのパターン像とを高精度に位置合わせする位置合わせ方法を提供する。 - 特許庁

By moving the brush shutters onto the dies D indexed and positioned to machining positions and then lifting the brush shutters corresponding to the dies D (lifter pipes) to be used in machining, the brush shutters are made to enter openings 31a of a fixed table 31, and the upper edges of the brushes are aligned with a pass line PL of a work W.例文帳に追加

加工に使用するダイＤ（リフタパイプ）に対応するブラシシャッタを、加工位置に割り出し位置決めされたダイＤ上に位置させた後、上昇させることで、該ブラシシャッタを固定テーブル３１の開口部３１ａに入り込ませ、ブラシの上端をワークＷのパスラインＰＬに一致させる。 - 特許庁

The upper limb rehabilitation exercise system 1 is composed of a display 4 which displays an exercise program for a trainee 5 to view, a training grip 2 to be moved on the table for an exercise, a controller 3 to control the display 4 and the training grip.例文帳に追加

上肢リハビリテーション訓練システム１は，被験者５が見るための訓練プログラムを表示するディスプレィ４と，テーブル上で移動させながら訓練するトレーニンググリップ２と，ディスプレィ２とトレーニンググリップを制御するためのコントローラ３から構成されることを特徴とする上肢リハビリテーション訓練システム。 - 特許庁

A substrate suction area where a great number of substrate suction holes 14C for sucking a substrate SW are opened is formed in the center of an upper face of an exposure table 13; and a suction hole line 14P for sucking a substrate fixing sheet is opened outside the substrate suction area.例文帳に追加

露光テーブル１３の上面の中央には基板ＳＷを吸着するための多数の基板吸着用吸引孔１４Ｃが開けられた基板吸着領域が形成され、当該基板吸着領域の外側には、基板固定シート吸着用吸引孔列１４Ｐが開けられている。 - 特許庁

A cooking sales unit 1 has a showcase unit 10 placed at the upper part, a warm-air supply unit 20 placed thereunder to control environmental conditions inside the showcase unit 10, and a cooking table unit 50 placed behind the warm-air supply unit 20.例文帳に追加

調理販売ユニット１は、上部に配置されたショーケースユニット１０と、その下に配置され、ショーケースユニット１０の内部の環境条件を制御するための温風供給ユニット２０と、温風供給ユニット２０の後方に配置された調理台ユニット５０とを有する。 - 特許庁

In a data driven status table memory 120, a next status is stored in an address where each upper and lower bits is composed of a state and a data stream element, a packet including an address and a data stream identifier is inputted, and a packet including the next state and a data stream ID is outputted.例文帳に追加

データ駆動型状態テーブルメモリ１２０には、上位及び下位をそれぞれ状態及びデータストリーム要素とするアドレスに次状態が格納され、アドレスとデータストリーム識別子とを含むパケットが入力され、次状態とデータストリームＩＤとを含むパケットが出力される。 - 特許庁

Reception channels are changed in order under the control of a control section 4 based on the judgment processing result to perform judgment processing on all the channels, all judgment processing results are held in a table 5, and the completion of the judgment processing is notified to the upper layer 20.例文帳に追加

この判定処理結果に基づいた制御部４の制御により、受信チャンネルが順に変更されてチャンネル数の全ての判定処理が行われ、この全ての判定処理結果がテーブル５に保持されると共に、判定処理の完了が上位レイヤ２０へ通知される。 - 特許庁

In such a case, the air nozzle 20 for supplying the air onto the upper surface of the web 2 is retreated from the upside of a conveying table to the side part and, after the nose of the U-shaped steel sheet pile 1 enters, the air nozzle 20 is moved above the U-shaped steel sheet pile 1 and air blast cooling is started.例文帳に追加

この場合、ウェブ２上面に空気を供給するエアーノズル２０を、搬送テーブル上から側方に退避させておき、Ｕ形鋼矢板１の先端が進入した後にＵ形鋼矢板１の上方にエアーノズル２０を移動させて、送風冷却を開始する。 - 特許庁

This invention relates to a cutting machine comprising at least: one moving type cutting table 1, in which the plastic material to be cut 2 is placed; a plurality of lower electromagnets 3 and a plurality of upper electromagnets 4 a ferromagnetic sphere 5; microwave emitting means 6; and computer numerical control means 7.例文帳に追加

カットされるプラスチック材料２が置かれる少なくとも一の動作型の切削テーブル１と、複数の下部の電磁石３及び複数の上部の電磁石４と、強磁性の球体５と、マイクロ波を放射する手段６と、コンピューター数値制御手段７と、を含む裁断機に関する。 - 特許庁

Further the clearance gap is formed between the work space 3 and the work table 2, the gutter is disposed on one of opposed faces of the clearance gap, and a projecting part 24 is disposed at an upper part of the gutter on the other face to allow the cleaning/antiseptic solution sprayed in the work space 3 to flow into the gutter 18.例文帳に追加

また、作業空間３と作業台２の間に隙間を設け、その隙間の相対する面の一方に雨樋を、他方の面であって雨樋上部に突起部２４を設け、作業空間３内で散水した清掃・消毒液が雨樋１８に流れ込むようにする。 - 特許庁

In the state with a first pressure reducing hole 15 and a second pressure reducing hole 16 communicating with each other as shown by the arrow C, a recording paper P is sucked by a plurality of suction holes 17 as shown by the arrows D so that the recording paper P is sucked and held on the upper surface of the movable table 12.例文帳に追加

第１の減圧孔１５と第２の減圧孔１６とが符号Ｃの矢印で示した如く連通した状態で、複数の吸引孔１７に符号Ｄの矢印で示した如く記録紙Ｐが吸引されて、可動テーブル１２の上面に記録紙Ｐが吸着保持される。 - 特許庁

The positions of alignment marks 33 and 34 are detected while mutually pressurizing an upper surface plate 13 and a lower surface plate 12 by a pressurizing motor 27 and the position of the lower surface plate 12 is adjusted by a position adjustment table 26 so that the position deviation becomes within 0.3 μm for instance.例文帳に追加

加圧モータ２７により上定盤１３と下定盤１２とを互いに加圧しながら、アライメントマーク３３及び３４の位置を検出し、それらの位置ずれが、例えば０．３μｍ以内となるように位置調整テーブル２６により下定盤１２の位置を調整する。 - 特許庁

The data table is prepared, on the basis of experiment result, so that the upper limit of the CPU temperature for keeping a pump in a stopped state is made as high as possible, speed for operating the pump can be made as low as possible and the pump can be operated at high speed only when preventing the overheat state of the CPU.例文帳に追加

データテーブルは実験結果を基に、ポンプを停止状態にしておくＣＰＵ温度の上限を可能な限り高くすること、ポンプを動作させる場合でもできるだけ低速にすること、ＣＰＵの過熱状態を防ぐときのみポンプを高速動作させるように作成する。 - 特許庁

In a mounting structure of the rotary table and the casing drive adapter in an earth drill, the lower peripheral side face of a sleeve provided with a driving rib at the internal wall and a mounting bracket attached to the upper part of a flange adapter are fixed together by a plurality of fixing tools inserted in the radial direction of the sleeve.例文帳に追加

アースドリルにおけるロータリーテーブルとケーシングドライブアダプタとの取付構造であって、内壁に駆動用リブを備えたスリーブの下部周側面とフランジアダプタの上部に設けた取付ブラケットとをスリーブの半径方向に挿入する複数本の固着具で固着するようにした。 - 特許庁

A movable member 8X is made not to move in the direction of Y axis for an X motor main body 6X, so that the displacement of a lower table 10X in Y axis direction caused by friction between the upper and a lower tables 10X and 10Y is prevented even the weight of the carried object is big.例文帳に追加

Ｘ可動子８ＸをＸモータ本体６Ｘに対しＹ軸方向に移動不能としたので、上部テーブル１０Ｙや載置物の重量が大きい場合にも、両テーブル１０Ｘ・１０Ｙの間の摩擦力に起因する下部テーブル１０ＸのＹ軸方向への位置ずれを防止できる。 - 特許庁

A row sorting part 20 detects a section, in which rows having the same number of cells are longest continued in the column direction on the basis of the table structure data, compares the leading row with its upper row by using a difference between the widths of the rows, an interval between the rows, etc., and detects a row to be used as an item row.例文帳に追加

行分類部20は表構造データに基づいて同じセル数の行が列方向に最も長く連続する区間を検出して、その先頭行とその上の行を行の幅の差および行間隔などを用いて比較して、項目行となる行を検出する。 - 特許庁

To provide a compact and light-weight table for a portable electronic device and a method for using it in which an operability is improved when the portable electronic device such as a note type personal computer, a video image display device and a game machine is operated while raising an upper part of the body and stretching out legs with less fatigue of the body.例文帳に追加

上体を起こし、足を投げ出した姿勢で、ノートパソコン、ビデオ映像表示装置、ゲーム機等の携帯型電子機器を操作する場合の操作性が向上し、かつ身体の疲労が少なく使用できる小型軽量な携帯型電子機器用のテーブルとその使用方法を提供する。 - 特許庁

To provide a combine harvester which can compactly dispose a tailings-returning mechanism on one side of a thresher and can disperse and return tailings to the upper side of a shaking table sorter to improve a tailings sorting capability.例文帳に追加

脱穀装置の一側に二番還元機構をコンパクトに配置して揺動選別盤の選別処理能力を向上できるものでありながら、揺動選別盤の上面側に二番物を分散させるように戻して、二番物の選別処理能力を向上できるようにしたコンバインを提供するものである。 - 特許庁

Since a suction table is brought down only at the passage position of the tool of the head of the head structure to separated from a plate to be processed, a board on the upper surface of a suction block is protected from damage, and the plate can be mounted directly on the board of the suction block.例文帳に追加

かくしてヘッド構造体のヘッドの工具の通過位置だけ吸着テーブルを下降させて被加工板から離れるように構成したので、吸着ブロックの上面のボードを傷付けることがないために、被加工板を直接吸着ブロックのボードの上に載置することができる。 - 特許庁

A memory 11 decides the upper and lower strip coolant flow rates on the basis of the table stored in accordance with the rolling speed determined from the rotating speed measured with a roll tachometer 12 of the last stand and the target surface roughness of the cold-rolled steel sheet, and sends the signal to a valve opening controller 13.例文帳に追加

記憶装置１１は、最終スタンドのロール回転速度計１２で計測される回転速度より求められる圧延速度と冷延鋼板の目標表面粗さより、記憶したテーブルに基づいて上下ストリップ・クーラント流量を決定し、弁開度調整装置１３に送信する。 - 特許庁

An air conditioner control part 10 receives issuance of an operation instruction from an upper input/output device 7 and a building centralized administration device 9, and generates and outputs an instruction for operating the operating condition of the air conditioners 5 such as operation/stop to an air conditioner operation information table 17.例文帳に追加

空調機制御部１０は、上位の入出力装置７およびビル集中管理装置９から操作指示の発令を受けて、空調機５の運転／停止等の運転状態を操作するための指示を生成して空調機操作情報テーブル１７へ出力する。 - 特許庁

The base 1 has a bottom portion 3 to be fixed to a table of a machine tool and a supporting portion 4 projecting upward from one end thereof, on which the guide bar 6 is mounted at the upper parts or the intermediate parts of both the supporting portion 4 and the fixed jaw 2 at their projection heights for guiding the movable jaw.例文帳に追加

基台１は工作機械のテーブルに固定される底部３と、その一端側から上方に突出する支持部４とを備えており、支持部４及び固定顎２の突出高さの上部ないし中間部両側に可動顎を案内するガイドバー６が装架されている。 - 特許庁

Flat surface, capable of disposing cable bear (R) 11X on the upper part of the cross section is formed, and the apex parts of the polygonal section formed by dividing the cross section are made thick to enable to tool a screw down hole at the thick section for connecting the end of the moving beam 14 to the Y-axis table.例文帳に追加

断面の上部にはケーブルベア（登録商標）１１Ｘが配設可能な平面を形成し、さらに断面を区分して形成された多角形部の頂点を肉厚部とし、この肉厚部に移動ビーム１４を端部においてＹ軸テーブルと結合するためのねじ締結孔を加工可能とする。 - 特許庁

To control, even when the number of error messages to be output to an external display device in error occurrence during operation exceeds an upper limit, the number of the error messages to be output only by the definition of an error information table in a software processing system preliminarily created by an information processor.例文帳に追加

情報処理装置によって予め作成されているソフトウェア処理系において、動作中にエラーを生じたときに外部表示装置へ出力するエラーメッセージ数が上限を超える場合であっても、エラー情報テーブルの定義のみで、出力されるエラーメッセージ数を制御できるようにする。 - 特許庁

To provide a moving table enabling stacking in a multiplex multi-stage that allows many objects 13 to be placed three-dimensionally in a narrow space using an upper space in display or gardening in a store, and allows many vehicle bodies 1 to be stacked and stored in a small space.例文帳に追加

この発明は、店舗のディスプレーや園芸に於いて、上部空間を利用し狭いスペースでしかも沢山の物１３が立体的に置けるようにし、又、使用しない時、車体１を多数重ね合わせる事により、小スペースで沢山保管出来る多重多段可能な移動台を提供する。 - 特許庁

A swivel and swing arm 9 provided in a polishing means swivels between a load buffer and an unload buffer of an index table device 3 and two surface plates 10 in the polishing means 10 so as to carry a wafer, and swings while presses the wafer against the upper surfaces of the surface plates during polishing.例文帳に追加

研磨装置に設けられた旋回揺動アームは、インデックステーブル装置のロードバッファおよびアンロードバッファと、研磨装置の２つの定盤との間を旋回してウエハを搬送するとともに、研磨作業中にウエハを定盤の上面に押圧した状態で揺動させるようにした。 - 特許庁

The island kitchen comprises a main counter 2 with a cooker 1, an auxiliary table 3 rotatable around a prescribed rotation axis R1 located near one end of the main counter, and the circular sink 7 mounted on the upper end of a cylindrical post 5 around the prescribed rotation axis.例文帳に追加

加熱調理具（１）が設けられたメインカウンター（２）と、メインカウンターの一端近傍に位置する所定回転軸線（Ｒ１）を中心として回転可能な補助テーブル（３）と、所定回転軸線を中心とする円柱部（５）の上端に設けられた円形状のシンク（７）とを備えている。 - 特許庁

A high-frequency antenna 106 for generating an inductively coupled plasma and an annular upper moving-magnetic-field forming part 300 are provided via a ceiling wall 105 configured of a plate-like insulating member so as to face a placing table, provided inside a pressure-reducible treatment chamber 102.例文帳に追加

減圧可能な処理室１０２内に設けられた載置台に対向するように，板状絶縁部材で構成した天井壁１０５を介して誘導結合プラズマを生成するための高周波アンテナ１０６と環状の上部移動磁場形成部３００とを設けた。 - 特許庁

Support members 10 and 16 are arranged freely to elastically turn around a turning shaft 14 on a horizontally arranged base 4 and freely to elastically move along the turning shaft 14 direction, and a distribution table member 20 is provided in an upper part of the support member 16.例文帳に追加

ほぼ水平に配置されたベース４上の旋回軸１４の回りに弾性的に旋回可能にかつ旋回軸１４の方向に沿って弾性的に移動可能に支持部材１０、１６が配置され、この支持部材１６の上部に分散テーブル部材２０が設けられている。 - 特許庁

A high lift work car is provided with an upper operating device 10 installed on a working table, and a lower operating device 20 installed on a car body, and actuators 51, 52, 53 are operated in response to the operation of either one of these operating devices to control the operations such as turning derricking, telescoping and of a boom of the high lift work car.例文帳に追加

作業台に配設された上部操作装置１０および車体に配設された下部操作装置２０を備えるとともに、いずれかの操作装置の操作に応じてアクチュエータ５１，５２，５３を作動させ、高所作業車のブームの旋回、起伏、伸縮等の作動を制御する。 - 特許庁

A peeler 10 is provided with a table 31 for holding a wafer W with which a protecting tape C is adhered on the upper part thereof, adhered on the partial area of a dicing tape T, and a peeling head part 72 for clamping a peeling tape A adhered on one terminal side of the protecting tape C.例文帳に追加

ダイシングテープＴの一部領域に貼着されるとともに上部に保護テープＣが貼着されたウェハＷを保持するテーブル３１と、保護テープＣの一端側に接着された剥離テープＡを把持する剥がしヘッド部７２とを備えて剥離装置１０が構成されている。 - 特許庁

Position of the splash card when the integrated flow rate of a third integration flowmeter is largest and the integrated flow rate of a second integrating flowmeter is smallest is determined as the third chemical fly-in upper position and written on a table stored in a memory.例文帳に追加

第３積算流量計の計測積算流量が最も多く、かつ、第２積算流量計の計測積算流量が最も少なくなるときのスプラッシュガードの位置が第３薬液飛入上位置に決定され、その位置がメモリに格納されたテーブルに書き込まれる。 - 特許庁

In an exposure device which employs immersion exposure, an immersion region ALq is formed of a liquid supplied to between a wafer W and a projection optical system PL, on an upper surface of the wafer W; and a plurality of encoders 60A to 60D are disposed on a moving table holding the wafer W.例文帳に追加

液浸露光方式の露光装置において、投影光学系ＰＬとの間に供給される液体によってウエハＷ上面に液浸領域ＡＬｑが形成され、そのウエハＷを保持する移動テーブル上に、複数のエンコーダヘッド６０Ａ〜６０Ｄが配置されている。 - 特許庁